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非接觸式光譜共焦測量儀

來源: 發(fā)布時間:2024-04-13

客戶一直使用安裝在潔凈室的激光測量設備來檢查對齊情況,每個組件大約需要十分鐘才能完成必要的對齊檢查,耗時太久。因此,客戶要求我們開發(fā)一種特殊用途的測試和組裝機器,以減少校準檢查所需的時間?,F(xiàn)在,我們使用機器人搬運系統(tǒng)將閥門、閥瓣和銷組件轉移到專門的自動裝配機中。為了避免由于移動機器人的振動引起的任何測量干擾,我們將光譜共焦位移傳感器安裝在單獨的框架和支架上,盡管仍然靠近要測量的部件。該機器現(xiàn)已經(jīng)通過測試和驗證。光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)對材料的變形過程進行實時監(jiān)測,對于研究材料的力學行為具有重要意義。非接觸式光譜共焦測量儀

共焦位移傳感器是利用共焦原理和軸向色像差現(xiàn)象對測量對象的位移進行測量的光學測量裝置,共焦原理是指將從形成光源的像的成像面上接收到的光以縮小光圈的方式形成為反射光,軸向色像差現(xiàn)象是在光源的像中發(fā)生光軸方向上的顏色漂移的現(xiàn)象。共焦位移傳感器由作為點光源的使從光源出射的光出射的銷孔、在經(jīng)由銷孔出射的檢測光中引起軸向色像差并朝向測量對象會聚該檢測光的光學構件、以及使來自測量對象的反射光光譜分散并產生受光信號的分光器構成。作為檢測光,使用具有多個波長的光。在經(jīng)由光學構件照射到測量對象的檢測光中,銷孔允許具有在聚焦于測量對象的同時被反射的波長的檢測光穿過。根據(jù)軸向色像差,各波長的成像面的位置不同。因此,通過使穿過銷孔的檢測光的波長特定來計算測量對象的位移。國產光譜共焦測量方法激光位移傳感器的應用主要是用于非標的特定檢測設備中。

光譜共焦測量技術是共焦原理和編碼技術的融合。一個完整的相對高度范疇能夠通過使用白光燈燈源照明燈具和光譜儀完成精確測量。光譜共焦位移傳感器的精確測量原理如下圖1所顯示,燈源發(fā)出光經(jīng)過光纖,再通過超色差鏡片,超色差鏡片能夠聚焦在直線光軸上,產生一系列可見光聚焦點。這種可見光聚焦點是連續(xù)的,不重合的。當待測物放置檢測范圍內時,只有一種光波長能夠聚焦在待測物表層并反射面,依據(jù)激光光路的可逆回到光譜儀,產生波峰焊。全部別的波長也將失去焦點。運用單頻干涉儀的校準信息計算待測物體的部位,創(chuàng)建光譜峰處波長偏移的編號。該超色差鏡片通過提升,具備比較大的縱向色差,用以在徑向分離出來電子光學信號的光譜成份。因而,超色差鏡片是傳感器關鍵部件,其設計方案十分重要。

在工業(yè)領域,光譜共焦傳感器的應用可以幫助企業(yè)實現(xiàn)更高精度的加工,提高產品的質量和生產效率。首先,高精度光譜共焦傳感器可以實現(xiàn)對加工表面形貌的j精確測量。在精加工過程中,產品的表面形貌對產品的質量有著至關重要的影響。傳統(tǒng)的測量方法往往需要接觸式測量,不僅測量精度受限,而且容易對產品表面造成損傷。而光譜共焦傳感器能夠實現(xiàn)非接觸式的高精度測量,不僅可以實現(xiàn)對產品表面形貌的整體測量,而且對產品表面不會造成任何損傷,極大地提高了測量的精度和可靠性。傳統(tǒng)的檢測方法往往需要取樣送檢,耗時耗力,而且無法實現(xiàn)對加工過程的實時監(jiān)測。而光譜共焦傳感器能夠通過對反射光的分析,準確地獲取產品表面的顏色和成分信息,實現(xiàn)對加工過程的實時監(jiān)測和反饋,為企業(yè)提供了更加可靠的質量保證。高精度光譜共焦傳感器在精加工領域的應用還可以幫助企業(yè)實現(xiàn)對加工工藝的優(yōu)化和提升。通過對產品表面形貌、顏色以及成分等信息的完整獲取,企業(yè)可以更加深入地了解產品的加工特性,發(fā)現(xiàn)潛在的加工問題,并針對性地進行工藝優(yōu)化和改進,提高產品的加工精度和一致性,降低生產成本,提高企業(yè)的競爭力。光譜共焦位移傳感器可以實時監(jiān)測材料的變化情況,對于研究材料的力學性能具有重要意義。

光譜共焦傳感器是一種新型高精度傳感器,其測量精度可達到0.02%。相比于光柵尺、容柵、電感式變壓器偏移傳感器等傳感器,它在偏移測量方面具有更加明顯的優(yōu)勢。由于它的高精度特性,光譜共焦傳感器在幾何量高精度測量方面得到了廣泛應用,如漫反射光和平面反射面的偏移測量、平整度測量、塑料薄膜和透明材料薄厚測量、外表粗糙度測量等。在偏移測量方面,光譜共焦傳感器的主要功能就是測量偏移。研究人員對光譜共焦傳感器的散射目鏡進行了分析,并制定了相應的構造來提高其各項特性;也有研究人員利用光譜共焦傳感器對飛機發(fā)動機電機轉子葉片空隙進行了高精度和高效率的測量。在平整度測量方面,研究人員分析了光譜共焦傳感器的檢測誤差,并對平面圖檢測誤差展開了科學研究。通過利用光譜共焦傳感器對圓平晶的平整度展開測量,他們獲得了平面圖檢測誤差的數(shù)值。光譜共焦技術具有精度高、效率高等優(yōu)點。小型光譜共焦廠家現(xiàn)貨

該技術可以采集樣品不同深度處的光譜信息進行測量。非接觸式光譜共焦測量儀

該研究主要針對光譜共焦傳感器在校準時產生的誤差進行了研究。研究者使用激光干涉儀和高精度測長機分別對光譜共焦傳感器進行了測量,并使用球面測頭來保證光譜共焦傳感器的光路位于測頭中心,以確保安裝精度。然后更換平面?zhèn)阮^進行校準,并利用小二乘法對測量數(shù)據(jù)進行處理,得出測量數(shù)據(jù)的非線性誤差。研究結果表明:高精度測長機校準時的非線性誤差為0.030%,激光干涉儀校準時的分析線性誤差為0.038%。利用小二乘法處理數(shù)據(jù)及計算非線性誤差,可以減小校準時產生的同軸度誤差和光譜共焦傳感器的系統(tǒng)誤差,提高對光譜共焦傳感器的校準精度。非接觸式光譜共焦測量儀