光譜共焦位移傳感器基本原理如圖1所示，由光源、分光鏡、光學色散鏡頭組、小孔以及光譜儀等部分組成。傳感器通過色散鏡頭進行色散，將位移信息轉換成波長信息，使用光譜儀進行光譜分解得出波長的變化信息，再反解得出被測位移。其中色散鏡頭作為光學部分完成了波長和位移的一一映射 ，實現了波長和位移之間的編碼轉化。光譜儀則實現波長的測量及位移反解輸出。當光譜信息突破小孔的限制，借助平面光柵、凹面反射鏡進行光線的衍射和匯聚，將反射出來的匯聚光照射在線陣CCD上進行光電轉換，借助光譜信號采集實現模數轉換，?通過解碼得到位移信息。光譜共焦位移傳感器可以實現對材料的表面形貌進行高精度測量，對于研究材料的表面性質具有重要意義。國內光譜共焦生產商

物體的表面形貌可以基于距離的確定來進行。光譜共焦傳感器還可用于測量氣缸套的圓度、直徑、粗糙度和表面結構。當測量對象包含不同類型的材料（例如塑料和金屬）時，盡管距離值保持不變，但反射率會突出材料之間的差異。劃痕和不平整會影響反射度并變得可見。在檢測到信號強度的變化后，系統會創建目標及其精細結構的精確圖像。 除了距離測量之外，另一種選擇是使用信號強度進行測量，這可以實現精細結構的可視化 。通過恒定的曝光時間，可以獲得關于表面評估的附加信息，而這靠距離測量是不可能的。高頻光譜共焦供應商光譜共焦透鏡組設計和性能優化是光譜共焦技術研究的重要內容之一；

靶丸內表面輪廓是激光核聚變靶丸關鍵參數之一，需要進行精密檢測。本文基于白光共焦光譜和精密氣浮軸系，分析了靶丸內表面輪廓測量的基本原理，并建立了相應的白光共焦光譜測量方法。同時，作者還搭建了靶丸內表面輪廓測量實驗裝置，并利用靶丸光學圖像的輔助調心方法，實現了靶丸內表面低階輪廓的精密測量，獲得了準確的靶丸內表面輪廓曲線。作者在實驗中驗證了測量結果的可靠性，并進行了不確定度分析，結果表明，白光共焦光譜能夠實現靶丸內表面低階輪廓的精密測量 。

光譜共焦位移傳感器可以嵌入2D掃描系統進行測量，提供有關負載表面形貌的2D和高度測量數據。它的創新原理使傳感器能夠直接透過透明工件的前后表面進行厚度測量，并且只需要使用一個傳感器從工件的一側進行測量。相較于三角反射原理的激光位移傳感器，因采用同軸光，所以光譜共焦位移傳感器可以更有效地測量弧形工件的厚度。該傳感器采樣頻率高，體積小，且帶有便捷的數據接口，因此很容易集成到在線生產和檢測設備中 實現線上檢測 。由于采用超高的采樣頻率和超高的精度，該傳感器可以對震動物體進行測量，同時采用無觸碰設計，避免了測量過程中對震動物體的干擾，也可以對復雜區域進行詳細的測量和分析 。光譜共焦位移傳感器可以用于結構的振動、變形和位移等參數的測量。

光譜共焦位移傳感器是基于共焦原理采用復色光為光源的傳感器，其測扯精度能夠達到nm量級，可用于表面呈漫反射或鏡反射的物體的測匱。此外，光譜共焦位移傳感器還可以對透明物體進行單向厚度測量。由于其在測量位 移方面具有高精度的特性，對千單層和多層透明物體，除準確測量該物體的位移之外，還可以單方向測量其厚度。本文將光譜共焦位移傳感器應用于位移測量中，通過實驗驗證光譜共焦測量系統能夠滿足高精度的位移測蜇要求 ，對今后將整個 小型化、產品化有著重要的意義。線性色散設計的光譜共焦測量技術是一種新型的測量方法。高頻光譜共焦定做

光譜共焦技術具有軸向按層分析功能。國內光譜共焦生產商

基于光譜共焦技術的手機曲面外殼輪廓測量，是一種利用光譜共焦技術對手機曲面外殼輪廓進行非接觸式測量的方法。該技術主要通過在光譜共焦顯微鏡中利用激光在手機曲面外殼上聚焦產生的共聚焦點，實現對表面高度的快速、準確測量 。通過采集不同波長的反射光譜信息，結合光譜共焦技術提高空間分辨率，可以測量出手機曲面外殼上不同位置的高度值，得到完整的三維輪廓圖。相比傳統的機械測量和影像測量方法，基于光譜共焦技術的手機曲面外殼輪廓測量具有非接觸、快速、高精度、高分辨率和方便可靠等優勢，可以適用于手機外殼、香水瓶等曲面形狀復雜的產品的測量和質量控制。國內光譜共焦生產商