光譜共焦測(cè)量原理是使用多透鏡光學(xué)系統(tǒng)將多色白光聚焦到目標(biāo)表面上。透鏡的排列方式是通過(guò)控制色差（像差）將白光分散成單色光。每個(gè)波長(zhǎng)都有一定的偏差（特定距離）進(jìn)行工廠校準(zhǔn)。只有精確聚焦在目標(biāo)表面或材料上的波長(zhǎng)才能用于測(cè)量。通過(guò)共焦孔徑反射到目標(biāo)表面的光會(huì)被光譜儀檢測(cè)并處理。漫反射表面和鏡面反射表面都可以使用光譜共焦原理進(jìn)行測(cè)量。共焦測(cè)量提供納米級(jí)分辨率，并且?guī)缀跖c目標(biāo)材料分開(kāi)運(yùn)行。傳感器的測(cè)量范圍內(nèi)有一個(gè)非常小的、恒定的光斑尺寸。微型徑向和軸向共焦版本可用于測(cè)量鉆孔或鉆孔內(nèi)壁的表面，以及測(cè)量窄孔、小間隙和空腔 。光譜共焦技術(shù)的精度可以達(dá)到納米級(jí)別。品牌光譜共焦按需定制

物體的表面形貌可以基于距離的確定來(lái)進(jìn)行。光譜共焦傳感器還可用于測(cè)量氣缸套的圓度、直徑、粗糙度和表面結(jié)構(gòu)。當(dāng)測(cè)量對(duì)象包含不同類型的材料（例如塑料和金屬）時(shí)，盡管距離值保持不變，但反射率會(huì)突出材料之間的差異。劃痕和不平整會(huì)影響反射度并變得可見(jiàn)。在檢測(cè)到信號(hào)強(qiáng)度的變化后，系統(tǒng)會(huì)創(chuàng)建目標(biāo)及其精細(xì)結(jié)構(gòu)的精確圖像。 除了距離測(cè)量之外，另一種選擇是使用信號(hào)強(qiáng)度進(jìn)行測(cè)量，這可以實(shí)現(xiàn)精細(xì)結(jié)構(gòu)的可視化 。通過(guò)恒定的曝光時(shí)間，可以獲得關(guān)于表面評(píng)估的附加信息，而這靠距離測(cè)量是不可能的。自動(dòng)測(cè)量?jī)?nèi)徑光譜共焦企業(yè)光譜共焦位移傳感器采用的是非接觸式測(cè)量方式，可以避免傳統(tǒng)測(cè)量方式中的接觸誤差。

光譜共焦位移傳感器基本原理如圖1所示，由光源、分光鏡、光學(xué)色散鏡頭組、小孔以及光譜儀等部分組成。傳感器通過(guò)色散鏡頭進(jìn)行色散，將位移信息轉(zhuǎn)換成波長(zhǎng)信息，使用光譜儀進(jìn)行光譜分解得出波長(zhǎng)的變化信息，再反解得出被測(cè)位移。其中色散鏡頭作為光學(xué)部分完成了波長(zhǎng)和位移的一一映射 ，實(shí)現(xiàn)了波長(zhǎng)和位移之間的編碼轉(zhuǎn)化。光譜儀則實(shí)現(xiàn)波長(zhǎng)的測(cè)量及位移反解輸出。當(dāng)光譜信息突破小孔的限制，借助平面光柵、凹面反射鏡進(jìn)行光線的衍射和匯聚，將反射出來(lái)的匯聚光照射在線陣CCD上進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換，借助光譜信號(hào)采集實(shí)現(xiàn)模數(shù)轉(zhuǎn)換，?通過(guò)解碼得到位移信息。

表面粗糙度測(cè)量方法具體流程如下 :(1)待測(cè)工件定位。將待測(cè)工件平穩(wěn)置于坐標(biāo)測(cè)量機(jī)測(cè)量平臺(tái)上，調(diào)用標(biāo)準(zhǔn)紅寶石測(cè)針測(cè)量其空間位置和姿態(tài)，為按測(cè)量工藝要求確定測(cè)量位置提供數(shù)據(jù)。(2)輪廓掃描。測(cè)量機(jī)測(cè)量臂更換掛載光譜共焦傳感器的光學(xué)探頭，驅(qū)動(dòng)探頭運(yùn)動(dòng)至工件測(cè)量位置，調(diào)整光源光強(qiáng)、光譜儀曝光時(shí)間和采集頻率等參數(shù)以保證傳感器處于較好的工作狀態(tài)，編輯掃描步距、速度等運(yùn)動(dòng)參數(shù)后啟動(dòng)輪廓掃描測(cè)量，并在上位機(jī)上同步記錄掃描過(guò)程中的橫向坐標(biāo)和傳感器高度信息，映射成為測(cè)量區(qū)域的二維微觀輪廓。(3)表面粗糙度計(jì)算與評(píng)價(jià)。將掃描獲取的二維微觀輪廓數(shù)據(jù)輸入到輪廓處理算法內(nèi)進(jìn)行計(jì)算，按照有關(guān)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)選擇合適的截止波長(zhǎng)，按高斯輪廓濾波方法對(duì)原始輪廓進(jìn)行濾波處理，得到其表面粗糙度輪廓，并計(jì)算出粗糙度輪廓的評(píng)價(jià)中線，再按照表面粗糙度的相關(guān)評(píng)價(jià)指標(biāo)的計(jì)算方法得出測(cè)量結(jié)果，得到被測(cè)工件的表面粗糙度信息。光譜共焦位移傳感器在微機(jī)電系統(tǒng)、醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)等領(lǐng)域中有著廣泛的應(yīng)用。

硅片柵線的厚度測(cè)量方法我們還用創(chuàng)視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器，TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)0.025 μm的重復(fù)精度，±0.02% of F.S.的線性精度，10kHz的測(cè)量速度，以及±60°的測(cè)量角度，能夠適應(yīng)鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面、多層玻璃等材料表面，支持485、USB、以太網(wǎng)、模擬量的數(shù)據(jù)傳輸接口。。我們主要測(cè)量太陽(yáng)能光伏板硅片刪線的厚度，所以我們這次用單探頭在二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上進(jìn)行掃描測(cè)量 。柵線測(cè)量方法：首先我們將需要掃描測(cè)量的硅片選擇三個(gè)區(qū)域進(jìn)行標(biāo)記如圖1，用光譜共焦C1200單探頭單側(cè)測(cè)量，柵線厚度是柵線高度-基底的高度差。二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)掃描測(cè)量（由于柵線不是一個(gè)平整面，自身有一定的曲率，對(duì)測(cè)量區(qū)域的選擇隨機(jī)性影響較大）光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的變形過(guò)程進(jìn)行精確測(cè)量，對(duì)于研究材料的變形行為具有重要意義。線光譜共焦找哪里

光譜共焦技術(shù)可以在醫(yī)學(xué)診斷中發(fā)揮重要作用；品牌光譜共焦按需定制

在實(shí)踐中，光譜共焦位移傳感器可用于很多方面，如：利用獨(dú)特的光譜共焦測(cè)量原理，憑借一只探頭就可以實(shí)現(xiàn)對(duì)玻璃等透明材料進(jìn)行精確的單向厚度測(cè)量。光譜共焦位移傳感器有效監(jiān)控藥劑盤(pán)以及鋁塑泡罩包裝的填充量。可以使傳感器完成對(duì)被測(cè)表面的精確掃描，實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的分辨率。光譜共焦傳感器可以單向?qū)υ噭┢康谋诤襁M(jìn)行測(cè)量:而且對(duì)瓶壁沒(méi)有壓力。可通過(guò)設(shè)計(jì)轉(zhuǎn)向反射鏡實(shí)現(xiàn)孔壁的結(jié)構(gòu)檢測(cè)及凹槽深度的測(cè)盤(pán) 。（創(chuàng)視智能已推出了90°側(cè)向出光版本探頭，可以直接進(jìn)行深孔和凹槽的測(cè)量）光譜共焦傳感器用于層和玻璃間隙測(cè)且，以確定單層玻璃之間的間隙厚度。品牌光譜共焦按需定制