圖3a至圖3c示出了在弧矢(S)方向和(T)方向的MTF值被配置為滿足上述要求的情況下,被感光元件接收到的光斑的形狀。圖3a是被測物體在激光位移傳感器的best小量程處的情況下,感光元件接收到的光斑的形狀,OBJ:-2.1000mm,0.0000mm為物點(diǎn)在子午方向無偏離,在弧矢方向偏離-2.1mm,IMA:1.627,0.000mm為所成的像點(diǎn)在子午方向無偏離,在弧矢方向偏離1.627mm。圖3b是被測物體在激光位移傳感器的中間量程處的情況下,感光元件接收到的光斑的形狀,OBJ:0.0000,0.0000mm為物點(diǎn)在弧矢方向無偏離,在子午方向無偏離,IMA:-0.243,0.000mm為所成的像點(diǎn)在子午方向無偏離,在弧矢方向偏離-0.243mm。圖3c是被測物體在激光位移傳感器的比較大量程處的情況下,感光元件接收到的光斑的形狀,OBJ:2.1000,0.0000mm為物點(diǎn)在子午方向無偏離,激光位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)微米級的位移測量。寧波激光位移傳感器工廠
要想在工作范圍內(nèi)得到好的光斑質(zhì)量,可采用柱面鏡或非球面實(shí)現(xiàn),另外波前編碼和切趾法在延拓焦深方面也有很好的效果[3,4],但這樣的光學(xué)系統(tǒng)相對較復(fù)雜,元件較多,不宜裝調(diào),成本也會增長。因此,在精度允許的情況下,可考慮全部采用球面鏡,不考慮焦深延拓,用變倍的方法實(shí)現(xiàn)在40、45、50、55、60mm物距處光斑大小盡量均勻一致。根據(jù)光譜分布,設(shè)定中心波長權(quán)重為3,邊緣波長權(quán)重為1。要消掉少量的色差,系統(tǒng)至少需要兩片鏡片。根據(jù)以上要求選定了一個初始結(jié)構(gòu),經(jīng)過優(yōu)化得到以下best設(shè)計結(jié)果。圖2為優(yōu)化后的鏡頭結(jié)構(gòu)(像距在50mm處)。表1為effective工作范圍內(nèi)軸上視場的光斑大小分布。防護(hù)激光位移傳感器推薦廠家它可以用于測量建筑結(jié)構(gòu)的變形和振動。
傳統(tǒng)的接觸式平面檢測精度低、穩(wěn)定性差及對對象物檢測條件要求苛刻,已逐漸被現(xiàn)代非接觸式平面檢測所替代。非接觸式激光平面檢測系統(tǒng)以其高精度、高分辨率及不受對象物材質(zhì)、顏色或傾斜度的影響等優(yōu)點(diǎn),可對任何對象物進(jìn)行平面檢測。介紹系統(tǒng)結(jié)構(gòu)和激光位移傳感器的工作機(jī)理,并進(jìn)行平面定性檢測和定量檢測試驗(yàn),用OpenGI。繪制及擬合三維曲面。試驗(yàn)結(jié)果表明,該系統(tǒng)平面檢測結(jié)果較好地反映出對象物平面起伏情況,并且達(dá)到系統(tǒng)的精度要求。
激光位移傳感器根據(jù)入射光角度的不同可分為直入射式和斜入射式兩種[1],本設(shè)計采用的是直入射式,其光路結(jié)構(gòu)如圖1所示。整套光路可以分為兩部分,即整形系統(tǒng)和接收系統(tǒng)[2]。左邊部分是光束整形系統(tǒng),其作用是將激光器發(fā)出的光束匯聚在工作范圍內(nèi),使匯聚的光斑盡量小而均勻。光源為半導(dǎo)體激光器(LD),它經(jīng)整形系統(tǒng)在測量范圍50±10mm內(nèi)形成均勻的光斑。后面則是光束接收系統(tǒng),它將物體表面的漫反射光匯聚到光敏探測器上,使其精確成像。圖中α為被測面與成像透鏡光軸夾角,β為光敏探測器與光軸的夾角,do和di分別表示物距和像距。激光位移傳感器是一種非接觸式的測量設(shè)備,利用激光技術(shù)進(jìn)行精確的距離測量。
如權(quán)利要求4所述的激光位移傳感器檢驗(yàn)校準(zhǔn)裝置,其特征在于:所述電子測量儀包括一電子千分表以及一千分表夾持裝置;所述電子千分表夾持在所述千分表夾持裝置上,所述千分表夾持裝置一端抵接于所述延伸部,另一端抵接于所述橫向蝸桿上。如權(quán)利要求1所述的激光位移傳感器檢驗(yàn)校準(zhǔn)裝置,其特征在于:所述傳感器夾持裝置包括一縱向螺桿以及一夾持器;所述夾持器套設(shè)在所述縱向螺桿上,所述激光位移傳感器夾持在所述夾持器上。aaaaaaaaa它可以用于測量物體的形狀和輪廓,以提供準(zhǔn)確的幾何信息。青浦區(qū)激光位移傳感器制造廠家
無論是在工業(yè)生產(chǎn)、醫(yī)療診斷還是科學(xué)研究,它都發(fā)揮著巨大作用,為我們提供了準(zhǔn)確而可靠的測量數(shù)據(jù)。寧波激光位移傳感器工廠
從圖3所示的成像光學(xué)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖可看出,在整個物面并不垂直于光軸時,經(jīng)過系統(tǒng)成像以后得到的像面也不垂直于光軸,與光軸存在一定的夾角β,設(shè)計的lastβ優(yōu)化值取為60.4628°,此時像面上可得到比較理想的光斑分布。在工作范圍內(nèi)不同視場的散射光均能很好地成像于探測器。在圖4中可看到不同視場的成像光斑形狀,此點(diǎn)列圖表明成像光斑分布均勻,但還存在一定的剩余像差,主要為球差,光斑大小可見表2,光斑直徑在20μm左右。同時根據(jù)設(shè)計結(jié)果可得像距為33.092mm,經(jīng)計算tanα/tanβ=0.6137,di/do=0.6145,此物鏡設(shè)計基本滿足于Scheimpflug理想成像條件。寧波激光位移傳感器工廠