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成都國內光譜共焦位移傳感器

來源: 發布時間:2024-06-03

被測物體表面反射的反射光通過探頭接收并由接收光纖選擇性的傳輸到光譜儀,光譜儀對反射光進行聚焦并通過設置在光譜儀中的感光元件對反射光進行量化處理,量化后的光波在光譜儀上產生一個光譜波峰,光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產生對應關系;光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應關系后進行分析,通過光譜波峰反推出被測物體的位移,實現利用光譜共焦原理測量位移的過程;因此本方案中的光譜共焦位移傳感器通過光譜共焦工作原理,避免使用激光直接照射到物體表面而呈現顆粒狀的散斑,克服不易確定像點的質心位置的缺陷。該傳感器可以用于微納加工、生物醫學、半導體制造等領域的精密測量。成都國內光譜共焦位移傳感器

在能夠以這種方式執行多點測量的光譜共焦傳感器中,需要能夠減少必要組件的數量的技術。有鑒于如上所述的情形,本發明旨在提供能夠利用少量的組件來執行多點測量的光譜共焦傳感器以及使用該光譜共焦傳感器的測量方法。為了實現上述目的,根據本發明實施例的光譜共焦傳感器包括光源部、多個光學頭、分光器和位置計算部。光源部射出具有不同波長的多個光束。多個光學頭將從所述光源部射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測量點反射的測量光。鎮江光譜共焦位移傳感器零售價格它可以實現對材料的表面形貌進行高精度測量,對于研究材料的表面性質具有重要意義。

根據權利要求1所述的光譜共焦傳感器,其中所述線傳感器是在使用預定基準軸作為基準的情況下布置的,以及所述光學系統是在使用所述預定基準軸作為基準的情況下配置的,并且所述光學系統包括所述多個測量光束入射的多個光入射口,其中所述多個光入射口在使用所述預定基準軸作為基準的情況下設置在不同位置處。根據權利要求2所述的光譜共焦傳感器,其中,所述預定基準軸與在使所述測量光從所述分光器的虛擬光入射口入射至所述光學系統的情況下的光軸相對應。

Preferencyly,在本實施例中發光件設置有2個,在保證良好提示效果的前提下,采用更少的發光件以減少發熱對探頭的影響,發光件左右對稱布置在光源耦合器中,通過卡扣和螺紋連接固定在光源耦合器中,導光光纖也設置有2個,分別通過插槽3400與發光件連接,兩個導光光纖的出光端在探頭殼體上呈左右對稱設置,發光件發出的指示光能通過導光光纖的傳導,從各個方向射出,使用者能從各個角度觀察到探頭工作情況。創視智能技術創視智能技術該傳感器可被應用于微納制造、生物醫學和半導體制造等領域中的精密測量。

入射光纖,接收光纖,多個導光光纖外表面套設有保護套,所述保護套一端固定設置在探頭殼體內。這樣通過保護套使入射光纖,接收光纖,多個導光光纖形成通過光源耦合器產生多色光,多色光在入射光纖中傳導到光譜共焦位移傳感探頭內。通過光譜共焦位移傳感探頭內的半透半反光學鏡和色散鏡頭使多色光發生光譜色散,不同波長的單色光聚焦到不同的軸向位置,使波長與被測物體的位移產生對應關系;被測物體表面反射的反射光通過探頭接收并由接收光纖傳輸到光譜儀,光譜儀對反射光進行聚焦并通過設置在光譜儀中的感光元件對反射光進行量化處理,量化后的光波在光譜儀上產生一個光譜波峰,光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產生對應關系;該傳感器的優點包括高精度、非接觸式、不受溫度和振動等影響。銷售光譜共焦位移傳感器的用途和特點

光譜共焦技術可以消除光學像差和色差的影響,提高測量精度。成都國內光譜共焦位移傳感器

在光源耦合器上可裝配連接有入射光纖,入射光纖固定連接在光源耦合器上后,入射光纖的入光端固定連接在光源耦合器中,入射光纖用于接收并傳導所述多色光光源所發出的多色光;,在入射光纖的出光端固定連接有光譜共焦位移傳感探頭,光譜共焦位移傳感探頭用于對入射光傳導的多色光進行軸向色散后將不同波長的光分別在聚焦于軸向不同高度,并對被測物體的反射光進行接收和傳導;在光譜共焦位移傳感探頭上固定連接有接收光纖,接收光纖的入光端固定設置在光譜共焦位移傳感探頭內,接收光纖的入光端用于選擇性的接收光譜共焦位移傳感探頭傳導的被測物體的反射光,接收到的反射光在接收光纖內進行傳導;成都國內光譜共焦位移傳感器