在硅片柵線的厚度測量過程中,創視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器被使用。TS-C系列光譜共焦位移傳感器具有0.025 μm的重復精度,±0.02%的線性精度,10kHz的測量速度和±60°的測量角度。它適用于鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面和多層玻璃等材料表面,支持485 、USB、以太網和模擬量數據傳輸接口。在測量太陽能光伏板硅片柵線厚度時,使用單探頭在二維運動平臺上進行掃描測量。柵線厚度可通過柵線高度與基底高度之差獲得,通過將需要掃描測量的硅片標記三個區域并使用光譜共焦C1200單探頭單側測量來完成測量。由于柵線不是平整面,并且有一定的曲率,因此對于測量區域的選擇具有較大的隨機性影響。光譜共焦技術的研究集中在光學系統的設計和優化,以及數據處理和成像算法的研究。高精度光譜共焦答疑解惑
光譜共焦傳感器作為一種新型高精密傳感器,其測 量精密度可達 土 0.02%。開始產生在法國的,相較于光柵尺、容柵 或電感器電臺廣播、電感器差動變壓器式偏移傳感器,其在偏移測量方面的優勢更加明顯。現如今,因為光譜共焦傳感器擁有高精密、,因而,其在幾何量高精密測量層面的應用愈來愈普遍,如漫反射光及平面圖反射面的偏移測量、平整度測量、塑料薄膜及透明材料薄厚測量、外表粗糙度測量等。在偏移測量層面,自光譜共焦傳感器面世至今,它基本功能就是測量偏移。馬敬等對光譜共焦傳感器的散射目鏡進行分析,制定了散射目鏡的構造,提升了光譜共焦傳感器的各項特性;畢 超 等 利 用光譜共焦傳感器完成了對飛機發動機電機轉子葉子空隙的高精密、高效率的測量。在平整度測量層面 ,位恒政等對光譜共焦傳感器的檢測誤差進行分析,在其中,對其平面圖檢測誤差科學研究時,利用光譜共焦傳感器對圓平晶的平整度開展測量,獲得了平面圖檢測誤差值。新品光譜共焦行情光譜共焦技術的精度可以達到納米級別。
光譜共焦技術主要包括成像和檢測。首先,通過顯微鏡對樣品進行成像,然后將圖像傳遞給計算機進行處理。接著,利用算法對圖像進行位置校準,以確定樣品的空間位置。通過分析樣品的光譜信息,實現對其成分的檢測。在點膠行業中,光譜共焦技術可以準確地檢測出點膠的位置和尺寸,確保點膠的質量和精度。同時,通過對點膠的光譜分析,還可以了解到點膠的成分和性質,從而優化點膠工藝。三、光譜共焦在點膠行業中的應用提高點膠質量:光譜共焦技術可以檢測點膠的位置和尺寸,避免漏點或點膠過多的問題。同時,由于其高精度的檢測能力,可以確保點膠的精確度和一致性。提高點膠效率:通過光譜共焦技術對點膠的迅速檢測,可以減少后續處理的步驟和時間,從而提高生產效率。此外,該技術還可以避免因點膠不良而導致的返工和維修問題。優化點膠工藝:通過對點膠的光譜分析,可以了解其成分和性質,從而針對不同的材料和需求優化點膠工藝。例如,根據點膠的光譜特征選擇合適的膠水類型、粘合劑強度以及固化溫度等參數 。
硅片柵線的厚度測量方法我們還用創視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器,TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠實現0.025 μm的重復精度,±0.02% of F.S.的線性精度,10kHz的測量速度,以及±60°的測量角度,能夠適應鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面、多層玻璃等材料表面,支持485、USB、以太網、模擬量的數據傳輸接口。。我們主要測量太陽能光伏板硅片刪線的厚度,所以我們這次用單探頭在二維運動平臺上進行掃描測量 。柵線測量方法:首先我們將需要掃描測量的硅片選擇三個區域進行標記如圖1,用光譜共焦C1200單探頭單側測量,柵線厚度是柵線高度-基底的高度差。二維運動平臺掃描測量(由于柵線不是一個平整面,自身有一定的曲率,對測量區域的選擇隨機性影響較大)光譜共焦厚度檢測系統可以實現厚度的非接觸式測量。
玻璃基板是液晶顯示屏必不可少的零部件之一,一張液晶顯示屏要用二張玻璃基板,各自做為底層玻璃基板和彩色濾底版應用。玻璃基板的品質對控制面板成品屏幕分辨率、透光性、厚度、凈重、可視角度等數據都是有關鍵危害。玻璃基板是組成液晶顯示屏元器件一個基本上構件。這是一種表層極為平坦的方法生產制造薄玻璃鏡片。現階段在商業上運用的玻璃基板,其厚度為0.7 mm及0.5m m,且將要邁進特薄厚度之制造。大部分,一片TFT-LCD控制面板需用到二片玻璃基板。因為玻璃基板厚度很薄,而厚度規格監管又比較嚴格,一般在0.01mm的公差,關鍵清晰地測量夾層玻璃厚度、漲縮和平面度。選用創視智能自主生產研發的高精度光譜共焦位移傳感器可以非常好的處理這一難題,一次測量就可以完成了相對高度值、厚度系數的收集,再加上與此同時選用多個感應器測量,不僅提高了效率,并且防止觸碰測量所造成的二次損害 。光譜共焦位移傳感器廣泛應用于制造領域,如半導體制造、精密機械制造等。原裝光譜共焦傳感器品牌
基于白光LED的光譜共焦位移傳感器是一種新型的傳感器。高精度光譜共焦答疑解惑
高像素傳感器設計方案取決于的光對焦水平,要求嚴格圖象室內空間NA的眼鏡片。另一方面,光譜共焦位移傳感器的屏幕分辨率通常采用光譜抗壓強度的全半寬來精確測量。高NA能夠降低半寬,提高分辨率。因而,在設計超色差攝像鏡頭時,NA應盡可能高的。高圖象室內空間NA能提高傳感器系統的燈源使用率,使待測表層輪廊以比較大視角或一定方向歪斜。可是,NA的提高也會導致球差擴大,并產生電子光學設計優化難度。傳感器檢測范圍主要是由超色差鏡片的縱向色差確定。因為光譜儀在各個波長的像素一致,假如縱向色差與波長之間存在離散系統,這類離散系統也會導致感應器在各個波長的像素或敏感度存在較大差別,危害傳感器特性。縱向色差與波長的線性相關選用線形相關系數來精確測量,必須接近1。一般有兩種方法能夠形成充足強的色差:運用玻璃的當然散射;應用衍射光學元器件(DOE)。除開生產制造難度高、成本相對高外,當能見光根據時 ,透射耗損也非常高。高精度光譜共焦答疑解惑