針對(duì)目前國(guó)內(nèi)自主研制的激光位移傳感器精度低，測(cè)量范圍小等問題，提出了一種采用光學(xué)設(shè)計(jì)軟件預(yù)先仿真整個(gè)激光位移傳感器光學(xué)系統(tǒng)的方法。在分析系統(tǒng)各部分的光學(xué)特性的基礎(chǔ)上，結(jié)合具體要求設(shè)計(jì)了一個(gè)激光位移傳感器的光學(xué)系統(tǒng)，其工作范圍為（50±10）mm。采用系統(tǒng)分割的方法，將整個(gè)光學(xué)系統(tǒng)分為兩部分進(jìn)行設(shè)計(jì)，No.1部分是激光束的整形透鏡，要求在有效的工作范圍內(nèi)得到小而均勻的出射光斑，設(shè)計(jì)結(jié)果表明，在測(cè)量范圍內(nèi)，光斑大小能夠控 制在10-1mm量級(jí)；另一部分是被測(cè)面散射光接收的成像物鏡，該系統(tǒng)的特點(diǎn)是物面和像面相對(duì)于光軸都有一定的角度，實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明其成像滿足Scheimpflug條件。  激光位移傳感器的使用非常方便。楊浦區(qū)激光位移傳感器歡迎選購(gòu)

通過將反光元件設(shè)置在成像物鏡與感光元件之間，能夠減小激光位移傳感器的設(shè)備體積，便于激光位移傳感器的使用和安裝；通過采用線陣感光元件，能夠降低激光位移傳感器的成本；另外，由于線陣感光元件的多個(gè)感光單元沿著直線排列，所以在該直線的延伸方向上的MTF值拉高而將與該直線垂直方向上的MTF值降低，并不會(huì)影響測(cè)量精度，還能夠讓光斑更加容易地被線陣感光元件所接收；通過采用帶通濾光片，能夠?yàn)V除或降低雜散光，避免激光位移傳感器收到干擾，保證測(cè)量的準(zhǔn)確度。原裝激光位移傳感器定做它具有高精度、高靈敏度和快速響應(yīng)的特點(diǎn)，適用于各種應(yīng)用領(lǐng)域。

針對(duì)相關(guān)技術(shù)中的問題，本發(fā)明提出一種激光位移傳感器，能夠在不影響測(cè)量精度的情況下，降低成像物鏡的設(shè)計(jì)難度，同時(shí)讓測(cè)量系統(tǒng)能夠更有效地應(yīng)對(duì)振動(dòng)、機(jī)械變形等不良影響。根據(jù)本發(fā)明，提供了一種激光位移傳感器。根據(jù)本發(fā)明的激光位移傳感器包括激光器、成像物鏡以及感光元件，激光器用于射出激光束，由成像物鏡接收并出射的光入射到感光元件。其中，在對(duì)成像物鏡和感光元件CN1 06855391B3進(jìn)行調(diào)制傳遞函數(shù)MTF解析時(shí)，解析結(jié)果滿足以下條件：[0011]在感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)榛∈阜较虻那闆r下，MTFS＞MTFT；在感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)樽游绶较虻那闆r下，MTFT＞MTFS；其中，MTFS為弧矢方向上的MTF值，MTFT為子午方向上的MTF值。進(jìn)一步地，在進(jìn)行解析時(shí)，空間頻率為62.5lp/mm，如果多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)榛∈阜较颍瑒tMTFS＞MTFT×10；如果多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)樽游绶较颍瑒tMTFT＞MTFS×10。[0015]可選地，空間頻率為62.5lp/mm，如果多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)榛∈阜较颍瑒tMTFS≥0.5，MTFT＜0.05；如果多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)樽游绶较颍瑒tMTFT≥0.5，MTFS＜0.05。

一種激光位移傳感器檢驗(yàn)校準(zhǔn)裝置，其特征在于：包括一可伸縮導(dǎo)軌、一微調(diào)裝置、一傳感器夾持裝置、一激光位移傳感器以及一激光紅外線接收擋板；所述微調(diào)裝置和傳感器夾持裝置設(shè)于所述可伸縮導(dǎo)軌的上端；所述激光位移傳感器夾持在所述傳感器夾持裝置上，且使所述激光位移傳感器的激光發(fā)射端朝向所述微調(diào)裝置；所述激光紅外線接收擋板與所述微調(diào)裝置固接，且使所述激光紅外線接收擋板的接收面朝向所述傳感器夾持裝置。啊啊啊啊啊啊啊它可以測(cè)量各種類型的物體，包括金屬、塑料和液體等。

成像物鏡6和感光元件7組成的成像系統(tǒng)經(jīng)調(diào)制傳遞函數(shù)進(jìn)行解析后會(huì)得到解析結(jié)果MTFS和MTFT，其中MTFS為弧矢方向上的MTF值，MTFT是子午方向上的MTF值。[0043]在一個(gè)實(shí)施例中，如果感光元件的多個(gè)感光單元為沿著S方向(弧矢方向，可以將弧矢向定義為水平方向)排列，則在光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí)，可以利用成像物鏡6的像散拉高S方向(弧矢方向，可以將弧矢方向定義為水平方向)的MTF值，降低T方向MTF值。通過將成像系統(tǒng)的MTFS和MTFT設(shè)計(jì)為滿足MTFS＞MTFT，能夠讓呈現(xiàn)的光斑在子午方向上被拉長(zhǎng)，在弧矢方向上被縮短。這種傳感器還可以用于測(cè)量建筑物的結(jié)構(gòu)變形，以確保其安全性。原裝激光位移傳感器定做

此外，它們通常具有用戶友好的界面和操作方式，使得使用者能夠輕松地進(jìn)行測(cè)量和數(shù)據(jù)分析。楊浦區(qū)激光位移傳感器歡迎選購(gòu)

圖3a至圖3c示出了在弧矢(S)方向和(T)方向的MTF值被配置為滿足上述要求的情況下，被感光元件接收到的光斑的形狀。圖3a是被測(cè)物體在激光位移傳感器的best小量程處的情況下，感光元件接收到的光斑的形狀，OBJ：-2.1000mm，0.0000mm為物點(diǎn)在子午方向無偏離，在弧矢方向偏離-2.1mm，IMA：1.627，0.000mm為所成的像點(diǎn)在子午方向無偏離，在弧矢方向偏離1.627mm。圖3b是被測(cè)物體在激光位移傳感器的中間量程處的情況下，感光元件接收到的光斑的形狀，OBJ：0.0000，0.0000mm為物點(diǎn)在弧矢方向無偏離，在子午方向無偏離，IMA：-0.243，0.000mm為所成的像點(diǎn)在子午方向無偏離，在弧矢方向偏離-0.243mm。圖3c是被測(cè)物體在激光位移傳感器的比較大量程處的情況下，感光元件接收到的光斑的形狀，OBJ：2.1000，0.0000mm為物點(diǎn)在子午方向無偏離，楊浦區(qū)激光位移傳感器歡迎選購(gòu)