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浙江怎樣選擇光譜共焦位移傳感器

來源: 發布時間:2024-06-19

發光件和導光光纖的入光端之間,固定設置有濾光片,濾光片固定設置在發光件和導光光纖之間,濾光片用于過濾紅外線,以減少光熱效應高的紅外線在傳遞到探頭殼體的位置時,使探頭殼體發熱變形而影響探頭精度。探頭殼體的側壁上開設有沉孔,連接導光光纖的出光端的插槽開設在沉孔底部,且導光光纖的出光端與沉孔的底部的插槽可拆卸連接;這樣,通過沉孔的設置,在探頭殼體上形成對導光光纖連接位進行避讓,避免使用者在使用過程中觸碰到導光光纖,從而影響影響導光光纖,或損傷導光光纖與探頭殼體的連接位。該傳感器可用于微納制造、生物醫學、半導體制造等領域中的精密測量。浙江怎樣選擇光譜共焦位移傳感器

Preferencyly,在本實施例中發光件設置有2個,在保證良好提示效果的前提下,采用更少的發光件以減少發熱對探頭的影響,發光件左右對稱布置在光源耦合器中,通過卡扣和螺紋連接固定在光源耦合器中,導光光纖也設置有2個,分別通過插槽3400與發光件連接,兩個導光光纖的出光端在探頭殼體上呈左右對稱設置,發光件發出的指示光能通過導光光纖的傳導,從各個方向射出,使用者能從各個角度觀察到探頭工作情況。創視智能技術創視智能技術北京光譜共焦位移傳感器誠信合作它的精度可以達到納米級別,適用于各種需要高精度位移測量的領域。

在探頭殼體的內側壁上固定設置有反光鏡,所述反光鏡用于反射所述半透半反光學鏡所發出的反射光,即反光鏡對半透半反光學鏡所反射的光線進行再次反射,所述接收光纖入光端位于所述反光鏡的上方,通過反光鏡所反射的反射光進入到接收光纖的入光端,再通過接收光纖傳遞反射光到光譜儀。本實施例中采用的入射光纖和接收光纖的入光端和出光端的用于導光的纖芯直徑均為微米級,直徑通常為50-100毫米,導光直徑非常小,當反射光的焦點落在接收光纖的纖芯之外時,無法對反射光進行接收,而需要測量的相應波長的反射光可以順利通過接收光纖的纖芯,被順利接收和傳導,實現對不同波長的反射光進行選擇和物理過濾,因此可以通過縮小光纖的纖芯直徑來使采樣信號更銳利,從提高采樣信號的信噪比和測量精確度。

套筒限位在限位槽內,且與限位槽相匹配,套筒上設置有用于光纖連接的螺紋孔進一步,兩個雙凸球面鏡的凸面側朝內對稱設置。進一步,兩個雙凸球面鏡之間的間距為2.5~5.5mm。進一步,位于中間的雙凸球面鏡與彎月透鏡之間的間距為3.5~6.0mm。進一步,鹵素燈光源的光譜波段范圍為360nm~2500nm。光譜共焦位移傳感器是一種具有超高精度和超高穩定性的非接觸式位移傳感器與激光三角法相比,光譜共焦具有更高的分辨率,并且由于光發射和接收同光路,不會出現激光三角法光路容易被遮擋或被測目標表面過于光滑而接收不到目標反射光的情況,對被測物體適應性強,適用于手機玻璃的檢測,凹坑、小孔的測量以及表面形貌的掃描恢復。光譜共焦傳感器是一種基于光學色散原理的非接觸式位移傳感器,目的是建立距離與波長間的對應關系。傳統的激光三角法測量技術已經比較成熟,運用也比較widely,但由于CCD相機接收反射光范圍的限制,不能用于可以透光的透明材料和表面有凹坑缺陷玻璃的測量。光譜共焦位移傳感器由于其運用同光路的光纖,只要光能照射的區域就能夠沿原路返回,可以解決傳統的激光三角法測量不了的領域,對一些高反射、高深寬比、陡峭內壁表面有缺陷的玻璃間隙進行測量,且測量精度能夠達到亞微米級別。它可以測量物體微小的位移,精度高達亞微米級別。

光譜共焦位移傳感器系統中的光譜儀還包括有用于對反射光進行準直調整的準直透鏡組,準直透鏡組設置在接收光纖的出光端與所述棱鏡組之間。機殼設置有兩層,聚焦透鏡組位于所述機殼的上層,感光元件位于機殼的下層,聚焦透鏡組與感光元件的光路之間設置有用于轉變光線傳播方向的光線轉向鏡組,光線轉向鏡組包括有上反光鏡,設置在上反光鏡下方位置的下反光鏡,光線轉向鏡組用于使從上層的聚焦透鏡組射出的光線聚焦到下層的感光元件上。它使用光譜共焦技術來測量物體的微小位移,能夠達到亞微米級的高精度。怎樣選擇光譜共焦位移傳感器常見問題

光譜共焦技術可以消除光學像差和色差的影響,提高測量精度。浙江怎樣選擇光譜共焦位移傳感器

1.光譜共焦位移傳感器系統,其特征在于:所述傳感器系統由鹵素燈光源、Y型光纖、光譜共焦透鏡組、共焦小孔和光譜儀組成,所述鹵素燈光源連接所述Y型光纖,所述光譜儀通過所述共焦小孔連接所述Y型光纖一端,所述Y型光纖另一端連接所述光譜共焦透鏡組,所述光譜共焦透鏡組包括盒蓋、盒體、兩個雙凸球面鏡、套簡和一個彎月透鏡,所述盒體內設置有光路通道、限位槽和透光孔,所述光路通道位于所述限位槽和所述透光孔之間,所述光路通道上從左往右依次設置有兩個相互平行的number one卡槽和一個第二卡槽,兩個所述雙凸球面鏡分別限位在兩個所述number one卡槽內,所述彎月透鏡限位在所述第二卡槽內,所述Y型光纖通過SMA905插頭與所述盒體相連。2.根據權利要求1所述的光譜共焦位移傳感器系統,其特征在于:所述套筒限位在所述限位槽內,且與所述限位槽相匹配,所述套筒上設置有用于光纖連接的螺紋孔。3.根據權利要求1所述的光譜共焦位移傳感器系統,其特征在于:兩個所述雙凸球面鏡的凸面側朝內對稱設置。4.根據權利要求1所述的光譜共焦位移傳感器系統,其特征在于:兩個所述雙凸球面鏡之間的間距為2.5~5.5mm。浙江怎樣選擇光譜共焦位移傳感器