過去,針對測量待測物體的高度等,已經使用了光譜共焦傳感器的技術。例如,日本的intenational公開2014/141535(以下稱為專利文獻1)公開了使用多個頭部的共焦光學系統來進行對測量對象的位移的多點測量的共焦測量設備。在該共焦測量設備中,在各頭部中設置有光學濾波器,并且設置要用于測量的波長帶,以使得這些頭部彼此不同。例如,在No.1頭部中使用具有約400nm~600nm的波長的光,并且在第二頭部中使用具有約600nm~800nm的波長的光(專利文獻1的說明書中的段落、通過以這種方式使要在這些頭部中使用的光的波長帶彼此不同,可以將分光器內部所布置的攝像裝置分割成要由各頭部使用的多個區域(通道)。結果,可以針對多個光學頭only使用一個分光器(攝像裝置)來進行測量對象的多點測量.該傳感器適用于高分辨率成像系統，如光學顯微鏡和掃描電子顯微鏡中的位移測量。浦東新區光譜共焦位移傳感器誠信合作

進一步，光譜共焦位移傳感探頭包括有：探頭殼體，探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接； 半透半反光學鏡，半透半反光學鏡固定設置在入射光纖的出光端的正下方；反光鏡，反光鏡固定設置在探頭殼體的內側壁上，反光鏡用于反射半透半反光學鏡所發出的反射光，接收光纖入光端位于所述反光鏡的上方。進一步，半透半反光學鏡包括有上三棱鏡，與上三棱鏡相膠合的下三棱鏡，膠合面鍍有半透半反膜，半透半反膜與所述入射光纖的出光端射出的光線呈45°設置，上三棱鏡和下三棱鏡均采用等邊直角棱鏡，上三棱鏡和下三棱鏡的直角邊相等。廣州高精度光譜共焦位移傳感器該傳感器可用于微納制造、生物醫學和半導體制造等領域的精密測量。

在能夠以這種方式執行多點測量的光譜共焦傳感器中,需要能夠減少必要組件的數量的技術。有鑒于如上所述的情形,本發明旨在提供能夠利用少量的組件來執行多點測量的光譜共焦傳感器以及使用該光譜共焦傳感器的測量方法。為了實現上述目的,根據本發明實施例的光譜共焦傳感器包括光源部、多個光學頭、分光器和位置計算部。光源部射出具有不同波長的多個光束。多個光學頭將從所述光源部射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處，并且射出在所述聚焦位置處被測量點反射的測量光。

為使本實用新型的目的、技術方案及優點更加清楚、明確，以下參照附圖并舉實施例對本實用新型進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例only用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。本實用新型提出一種光譜共焦位移傳感器，包括光源耦合器1000，所述光源耦合器1000包括有用于產生多色光的多色光光源1100；多色光光源1100可使用激光熒光系統，也可使用LED燈發光照射熒光粉產生白光，還可以是LED燈直接產生白光，光源耦合器1000產生的光能可以適當調節，同時通過反饋控制實現光源耦合器1000產生持續的、亮度恒定不變的多色光，從而使光能量和測量更加穩定；光源耦合部分設置有帶通濾光片1200,讓有效的多色光通過,對無效的紅外光和熱量進行過濾,避免進入其他部件而造成熱變形，因此，對整體系統的性能有改善作用。光譜共焦位移傳感器是一種高精度、非接觸式的位移測量傳感器。

光譜共焦位移傳感器是一種具有超高精度和超高穩定性的非接觸式位移傳感器。與激光三角法相比,光譜共焦具有更高的分辨率,并且由于光發射和接收同光路,不會出現激光三角法光路容易被遮擋或被測目標表面過于光滑而接收不到目標反射光的情況,對被測物體適應性強,適用于手機玻璃的檢測,凹坑、小孔的測量以及表面形貌的掃描恢復。 光譜共焦傳感器是一種基于光學色散原理的非接觸式位移傳感器,目的是建立距離與波長間的對應關系。傳統的激光三角法測量技術已經比較成熟,運用也比較widely,但由于CCD相機接收反射光范圍的限制,不能用于可以透光的透明材料和表面有凹坑缺陷玻璃的測量。光譜共焦位移傳感器由于其運用同光路的光纖,只要光能照射的區域就能夠沿原路返回,可以解決傳統的激光三角法測量不了的領域,對一些高反射、高深寬比、陡峭內壁表面有缺陷的玻璃間隙進行測量,且測量精度能夠達到亞微米級別。該傳感器可被應用于微納制造、生物醫學和半導體制造等領域中的精密測量。品牌光譜共焦位移傳感器的用途和特點

光譜共焦位移傳感器可以實現對材料的變形過程進行實時監測，對于研究材料的力學行為具有重要意義。浦東新區光譜共焦位移傳感器誠信合作

本實施例中的光譜共焦位移傳感探頭具體包括有探頭殼體，探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接，探頭殼體優先采用圓柱形殼體，用于對探頭內的光學元件進行安裝和支撐且對結構進行保護，易于想到的是，探頭殼體可設置為方形，多邊形或其他特定形狀。在探頭殼體內固定設置有半透半反光學鏡，半透半反光學鏡位于所述入射光纖的出光端的正下方；半透半反光學鏡對通過入射光纖傳導后的多色光實現一半透射而一半反射，而當透射的光線經過被測物體反射形成反射光后照射到半透半反光學鏡上，半透半反光學鏡對反射光進行一半透射，一半反射；浦東新區光譜共焦位移傳感器誠信合作