激光位移傳感器利用光學三角法原理,通過將激光發射光束投射到被測物體表面,利用漫反射效應接收反射光并將光信號轉換為電信號輸出,從而獲取被測物體空間位置信息。隨著現代技術的發展,激光位移傳感器已成為非接觸測量領域的重要手段,并可以通過與計算機及應用軟件配合實現測量數據實時處理,為工業生產制定相關決策提供幫助。激光位移傳感器具有結構小巧、測量速度快、精度高、測量光斑小、抗干擾能力強和非接觸式的測量特點,廣泛應用于微位移測量領域。其應用主要是用于非標的檢測設備中,國內所使用的激光非接觸測量儀器幾乎主要依靠國外進口。它可以實現對材料的表面形貌進行高精度測量,對于研究材料的表面性質具有重要意義。長沙光譜共焦位移傳感器性價比高企業
被測物體表面反射的反射光通過探頭選擇性的接收并由接收光纖傳輸到光譜儀,光譜儀對反射光進行聚焦并通過設置在光譜儀中的感光元件對反射光進行量化處理,量化后的光波在光譜儀上產生一個光譜波峰,光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產生對應關系;光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應關系后進行分析,通過光譜波峰位置反推出被測物體的位移,實現光譜共焦測量位移的過程,通過光譜共焦工作原理,避免激光直接照射到物體表面而呈現顆粒狀的散斑,克服不易確定像點的質心位置的缺陷。防護光譜共焦位移傳感器24小時服務該傳感器利用光路中的光譜信息實現對位移的測量。
本實用新型涉及光電精密測量領域,尤其涉及的是一種光譜共焦位移傳感器。隨著我國的航空航天、汽車、造船等高技術產業飛速發展,對產品和零部件外形尺寸的工藝水平及精度要求越來越高,所以,能否進行高效率、高精度的檢測,將直接關系到產品的質量和使用壽命。能進行高效率、高精度測量的技術手段通常分為接觸式測量(以機械式和壓電式為主)與非接觸式測量(光學式為主)兩類。非接觸式光學測量具有如下優點:無損檢測:可測量柔軟和易變形件、脆性和易損件,特別適合不允許接觸的場景。
采用入射光纖和接收光纖分離的方式,發射光和反射光從不同的光路中傳輸,從而避免光線在傳輸過程中產生內部干擾,提高了光譜共焦系統的信噪比;而且通過設置發射光和反射光的單獨通道,光路更順暢,發射光和反射光分別在入射光纖和接收光纖中傳播時不會出現自身反射,從而避免光信號的干擾和能量損失。而傳統的光路設置過程中,采用的是Y型光纖,入射光纖和接收光纖在探頭內耦合成一條光纖,形成Y型光纖,這樣會產生內部串擾,降低信噪比,影響有效信號的提取和整個系統的穩定性。而本方案中的入射光纖和接收光纖單獨進行設置,可以避免傳統Y型光纖的問題,使光的傳播更加穩定。該傳感器可用于微納制造、生物醫學和半導體制造等領域的精密測量。
根據權利要求7所述的光譜共焦傳感器,其中,所述分光器包括設置有所述多個光入射口的光入射面,以及所述多個光入射口設置在包括所述線方向和所述預定基準軸的方向的平面與所述光入射面相交的直線上。根據權利要求1至8中任一項所述的光譜共焦傳感器,其中,在針對所述多個光學頭中的各光學頭將如下區域假定為測量對象區域的情況下,所述多個受光區域與分別對應于所述多個光學頭的多個測量對象區域相對應,其中,該區域是所述線傳感器的從在射出所述多個光束中的具有shortest波長的光作為所述測量光的情況下的受光位置到在射出具有longest波長的光作為所述測量光的情況下的受光位置為止的區域。光譜共焦位移傳感器具有高精度、非接觸式、抗溫度和抗振動等優點。閔行區光譜共焦位移傳感器工廠
光譜共焦技術可以消除光學系統的像差和色差等影響,提高測量精度。長沙光譜共焦位移傳感器性價比高企業
為使本實用新型的目的、技術方案及優點更加清楚、明確,以下參照附圖并舉實施例對本實用新型進一步詳細說明。應當理解,此處所描述的具體實施例only用以解釋本實用新型,并不用于限定本實用新型。本實用新型提出一種光譜共焦位移傳感器,包括光源耦合器1000,所述光源耦合器1000包括有用于產生多色光的多色光光源1100;多色光光源1100可使用激光熒光系統,也可使用LED燈發光照射熒光粉產生白光,還可以是LED燈直接產生白光,光源耦合器1000產生的光能可以適當調節,同時通過反饋控制實現光源耦合器1000產生持續的、亮度恒定不變的多色光,從而使光能量和測量更加穩定;光源耦合部分設置有帶通濾光片1200,讓有效的多色光通過,對無效的紅外光和熱量進行過濾,避免進入其他部件而造成熱變形,因此,對整體系統的性能有改善作用。長沙光譜共焦位移傳感器性價比高企業