本實用新型公開了光譜共焦位移傳感器系統,傳感器系統由鹵素燈光源、y型光纖、光譜共焦透鏡組、共焦小孔和光譜儀組成,鹵素燈光源連接Y型光纖,光譜儀通過共焦小孔連接Y型光纖一端,Y型光纖另一端連接光譜共焦透鏡組,光譜共焦透鏡組包括盒蓋、盒體、兩個雙凸球面鏡、套筒和一個彎月透鏡,盒體內設置有光路通道、限位槽和透光孔,光路通道上從左往右依次設置有較早卡槽和第二卡槽,兩個雙凸球面鏡分別限位在兩個較早卡槽內,彎月透鏡限位在第二卡槽內。本實用新型采用價格便宜的Y型光纖和光譜共焦透鏡組,具有較強的實用性,減小傳感器探頭的體積,光源發射和接收同光路,適用于具有高深寬比、陡峭內壁表面有缺陷的玻璃間隙表面進行測量。光譜共焦位移傳感器可以實時監測材料的變化情況,對于研究材料的力學性能具有重要意義。紹興光譜共焦位移傳感器主要功能與優勢
本實施例中的光譜共焦位移傳感探頭具體包括有探頭殼體,探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接,探頭殼體優先采用圓柱形殼體,用于對探頭內的光學元件進行安裝和支撐且對結構進行保護,易于想到的是,探頭殼體可設置為方形,多邊形或其他特定形狀。在探頭殼體內固定設置有半透半反光學鏡,半透半反光學鏡位于所述入射光纖的出光端的正下方;半透半反光學鏡對通過入射光纖傳導后的多色光實現一半透射而一半反射,而當透射的光線經過被測物體反射形成反射光后照射到半透半反光學鏡上,半透半反光學鏡對反射光進行一半透射,一半反射;直銷光譜共焦位移傳感器產品使用誤區光譜共焦位移傳感器是一種高精度非接觸位移測量傳感器。
光譜共焦位移傳感探頭,光譜共焦位移傳感探頭固定連接在入射光纖的出光端,光譜共焦位移傳感探頭用于對入射光纖傳導的多色光進行軸向色散后將不同波長的光分別聚焦,并對被測物體的反射光進行傳導。接收光纖,所述接收光纖的入光端固定設置在所述光譜共焦位移傳感探頭內,所述接收光纖的入光端用于選擇性的接收所述光譜共焦位移傳感探頭傳導的被測物體的反射光; 光譜儀,所述光譜儀固定連接所述接收光纖的出光端,所述光譜儀帶有感光元件并用于把被測物體的反射光進行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線。
本實用新型解決的技術問題在于,針對現有技術的上述缺陷,提供一種光譜共焦位移傳感器,旨在通過光譜共焦工作原理,避免通過激光直接照射到物體表面而呈現顆粒狀的散斑,克服不易確定像點的質心位置的缺陷。本實用新型解決技術問題所采用的技術方案如下: 一種光譜共焦位移傳感器,包括底座,其中,還包括有:光源耦合器,所述光源耦合器用于產生多色光; 入射光纖,所述入射光纖的入光端固定連接在所述光源耦合器中并用于接收所述光源耦合器所發出的多色光;光譜共焦技術可以消除光學像差和色差的影響,提高測量精度。
光譜共焦位移傳感器系統中的光譜儀還包括有用于對反射光進行準直調整的準直透鏡組,準直透鏡組設置在接收光纖的出光端與所述棱鏡組之間。機殼設置有兩層,聚焦透鏡組位于所述機殼的上層,感光元件位于機殼的下層,聚焦透鏡組與感光元件的光路之間設置有用于轉變光線傳播方向的光線轉向鏡組,光線轉向鏡組包括有上反光鏡,設置在上反光鏡下方位置的下反光鏡,光線轉向鏡組用于使從上層的聚焦透鏡組射出的光線聚焦到下層的感光元件上。光譜共焦技術消除了光學像差和色差的影響,提高了測量精度。湖北國內光譜共焦位移傳感器
該傳感器可應用于微納制造、生物醫學和半導體制造等領域中的精密測量。紹興光譜共焦位移傳感器主要功能與優勢
將光源耦合器與光譜共焦位移傳感探頭分開設置,設置在光源耦合器中的發光件實現發光,并通過導光光纖進行傳導光后在探頭殼體上顯示,從而實現產生熱量的發光件與探頭殼體分離,而不影響探頭殼體,從而減少發光件發光時產生的熱量對光譜共焦位移傳感探頭精度的影響,減少測量誤差,提高測量精度;通過濾光片過濾紅外線,進一步減小發熱量和傳導的熱量。將探頭殼體設置成可拆卸的上殼體和下殼體兩部分,產生的少量熱量集中在上殼體而不對下殼體上的主要光學部件產生影響,從而減少測量誤差,提高測量精度。紹興光譜共焦位移傳感器主要功能與優勢