根據(jù)本發(fā)明實施例的激光位移傳感器主要包括激光器(例如,可以是CN1 06855391B5激光二極管)1、聚焦透鏡2、窗口玻璃3、帶通濾光片5、成像物鏡(也可稱為接收物鏡)6、感光元件7以及反光元件8。其中,該激光位移傳感器用于對被測物體4進行測量。在圖1所示的結(jié)構(gòu)中,省略了激光位移傳感器的外殼。實際上,上述窗口玻璃3可以設(shè)置在激光位移傳感器的外殼上,供激光器所發(fā)出的光通過。激光位移傳感器的工作過程如下:由激光二極管1發(fā)射的激光束通過聚焦透鏡2聚焦、窗口玻璃3濾光后,照射在被測物體4的表面形成一個測量光斑,激光束可以垂直入射到被測物體4表面(即垂直入射),也可與被測物體4表面成一定的角度(即斜入射)。該測量光斑由成像物鏡6成像,并在感光元件7形成測量信號。它可以用于測量物體的形狀和輪廓,以提供準確的幾何信息。高精度激光位移傳感器生產(chǎn)廠家哪家好
加工-測量-再加工-再測量是非球面加工的必要過程。非球面透鏡的高精度檢測不僅包括非球面表面形狀的檢測,還包括非球面中心偏差的測量。要求非球面透鏡的形狀誤差在幾厘米到幾十厘米的范圍內(nèi)小于1μm。受現(xiàn)有冷加工工藝、車床運動誤差、磨削力變形及檢測誤差的限制,加工的非球面光學元件會產(chǎn)生一些質(zhì)量缺陷,無法保證跨尺度的產(chǎn)品滿足高精度要求。為了使非球面透鏡表面形狀誤差、中心偏差等參數(shù)滿足設(shè)計精度要求,往往需要利用被加工非球面工件的中心偏差檢測信息進行多誤差校正和補償加工。常州激光位移傳感器誠信合作高精度激光位移傳感器具有較高的靈敏度,能夠檢測微小的位移變化。
進一步地,所述可伸縮導軌包括一電動伸縮雙直線導軌、一No.1支撐件、一第二支撐件、一滑動輪、一伸縮制動開關(guān)以及一控制面板;所述No.1支撐件安裝在所述電動伸縮雙直線導軌固定端的底部,所述第二支撐件安裝在所述電動伸縮雙直線導軌可伸縮端的底部;所述滑動輪設(shè)于所述第二支撐件的底部;所述伸縮制動開關(guān)設(shè)于所述第二支撐件的側(cè)面;所述控制面板與所述電動伸縮雙直線導軌電連接。進一步地,所述微調(diào)裝置包括一蝸輪蝸桿機構(gòu)、一電子測量儀以及一微調(diào)平臺;所述微調(diào)平臺設(shè)于所述電動伸縮雙直線導軌上端的尾部,所述微調(diào)平臺的末端向上設(shè)有一延伸部;所述蝸輪蝸桿機構(gòu)設(shè)于所述微調(diào)平臺的前端;所述電子測量儀的一端抵接于所述延伸部,另一端抵接于所述蝸輪蝸桿機構(gòu)。
在激光位移傳感器中,激光束通過調(diào)整音叉透過高速上下移動的物鏡,在受測對象物上聚集為一焦點,同時反射光也會在小孔位置合集為一點,并使受光元件受光,通過測定物鏡的具體的位置,從而準確地測定目標物離參考位置的距離,并不受材質(zhì)、顏色或傾斜度的影響。圖4為感測頭的焦點分別為對準和沒有對準對象物時的情況。上位機與激光位移傳感器中的控制器之間通過RS 232串行口進行通信,串口信號格式為:COMl口、波特率9 600、無奇偶校驗、8位數(shù)據(jù)位、1位停止位,也可以通過手柄控制激光位移傳感器中的控制器采集數(shù)據(jù)。它可以用于測量液壓系統(tǒng)的位移,以提高系統(tǒng)的控制精度。
要想在工作范圍內(nèi)得到好的光斑質(zhì)量,可采用柱面鏡或非球面實現(xiàn),另外波前編碼和切趾法在延拓焦深方面也有很好的效果[3,4],但這樣的光學系統(tǒng)相對較復雜,元件較多,不宜裝調(diào),成本也會增長。因此,在精度允許的情況下,可考慮全部采用球面鏡,不考慮焦深延拓,用變倍的方法實現(xiàn)在40、45、50、55、60mm物距處光斑大小盡量均勻一致。根據(jù)光譜分布,設(shè)定中心波長權(quán)重為3,邊緣波長權(quán)重為1。要消掉少量的色差,系統(tǒng)至少需要兩片鏡片。根據(jù)以上要求選定了一個初始結(jié)構(gòu),經(jīng)過優(yōu)化得到以下best設(shè)計結(jié)果。圖2為優(yōu)化后的鏡頭結(jié)構(gòu)(像距在50mm處)。表1為effective工作范圍內(nèi)軸上視場的光斑大小分布。激光三角反射式測量原理基于簡單的幾何關(guān)系。銷售激光位移傳感器產(chǎn)品原理
激光位移傳感器可以測量位移、厚度、振動、距離、直徑等精密的幾何測量。高精度激光位移傳感器生產(chǎn)廠家哪家好
在弧矢方向偏離2.1mm,IMA:-2.115,0.000mm為所成的像點在子午方向無偏離,在弧矢方向偏離-2.115mm。如圖3a至圖3c所示,在按照上述方式設(shè)計由成像物鏡6與感光元件7所組成的成像系統(tǒng)的MTF值后,不論被測物體在激光位移傳感器量程內(nèi)的什么位置,best終所呈現(xiàn)的光斑均為長條狀,且長條狀的光斑在子午方向(T)上被拉長,而在弧矢(S)方向上被壓縮。這樣,就能夠使得光斑與像元之間的接觸面積增大,使得光斑更加容易地被感光元件所接收,能夠更好地應對使用中因為振動或機械變形等隨帶來的不良影響。同時,還能夠降低成像物鏡的設(shè)計難度,降低成本。不僅如此,由于光斑在弧矢方向上被壓縮,所以更加容易確定光斑在弧矢方向上的中心位置,有助于提高測量精度。另外,光斑在子午方向上的拉長,并不會影響測量精度。高精度激光位移傳感器生產(chǎn)廠家哪家好