光譜共焦位移傳感器是一種具有超高精度和超高穩定性的非接觸式位移傳感器。與激光三角法相比,光譜共焦具有更高的分辨率,并且由于光發射和接收同光路,不會出現激光三角法光路容易被遮擋或被測目標表面過于光滑而接收不到目標反射光的情況,對被測物體適應性強,適用于手機玻璃的檢測,凹坑、小孔的測量以及表面形貌的掃描恢復。 光譜共焦傳感器是一種基于光學色散原理的非接觸式位移傳感器,目的是建立距離與波長間的對應關系。傳統的激光三角法測量技術已經比較成熟,運用也比較widely,但由于CCD相機接收反射光范圍的限制,不能用于可以透光的透明材料和表面有凹坑缺陷玻璃的測量。光譜共焦位移傳感器由于其運用同光路的光纖,只要光能照射的區域就能夠沿原路返回,可以解決傳統的激光三角法測量不了的領域,對一些高反射、高深寬比、陡峭內壁表面有缺陷的玻璃間隙進行測量,且測量精度能夠達到亞微米級別。該傳感器可用于微納制造、生物醫學和半導體制造等領域的精密測量。青浦區光譜共焦位移傳感器調試
激光位移傳感器利用光學三角法原理,通過將激光發射光束投射到被測物體表面,利用漫反射效應接收反射光并將光信號轉換為電信號輸出,從而獲取被測物體空間位置信息。隨著現代技術的發展,激光位移傳感器已成為非接觸測量領域的重要手段,并可以通過與計算機及應用軟件配合實現測量數據實時處理,為工業生產制定相關決策提供幫助。激光位移傳感器具有結構小巧、測量速度快、精度高、測量光斑小、抗干擾能力強和非接觸式的測量特點,廣泛應用于微位移測量領域。其應用主要是用于非標的檢測設備中,國內所使用的激光非接觸測量儀器幾乎主要依靠國外進口。本地光譜共焦位移傳感器性價比高企業它使用光譜共焦技術來測量物體的微小位移,達到亞微米級的高精度。
1.光譜共焦位移傳感器系統,其特征在于:所述傳感器系統由鹵素燈光源、Y型光纖、光譜共焦透鏡組、共焦小孔和光譜儀組成,所述鹵素燈光源連接所述Y型光纖,所述光譜儀通過所述共焦小孔連接所述Y型光纖一端,所述Y型光纖另一端連接所述光譜共焦透鏡組,所述光譜共焦透鏡組包括盒蓋、盒體、兩個雙凸球面鏡、套簡和一個彎月透鏡,所述盒體內設置有光路通道、限位槽和透光孔,所述光路通道位于所述限位槽和所述透光孔之間,所述光路通道上從左往右依次設置有兩個相互平行的number one卡槽和一個第二卡槽,兩個所述雙凸球面鏡分別限位在兩個所述number one卡槽內,所述彎月透鏡限位在所述第二卡槽內,所述Y型光纖通過SMA905插頭與所述盒體相連。2.根據權利要求1所述的光譜共焦位移傳感器系統,其特征在于:所述套筒限位在所述限位槽內,且與所述限位槽相匹配,所述套筒上設置有用于光纖連接的螺紋孔。3.根據權利要求1所述的光譜共焦位移傳感器系統,其特征在于:兩個所述雙凸球面鏡的凸面側朝內對稱設置。4.根據權利要求1所述的光譜共焦位移傳感器系統,其特征在于:兩個所述雙凸球面鏡之間的間距為2.5~5.5mm。
光譜共焦位移傳感器系統中的光譜儀還包括有用于對反射光進行準直調整的準直透鏡組,準直透鏡組設置在接收光纖的出光端與所述棱鏡組之間。機殼設置有兩層,聚焦透鏡組位于所述機殼的上層,感光元件位于機殼的下層,聚焦透鏡組與感光元件的光路之間設置有用于轉變光線傳播方向的光線轉向鏡組,光線轉向鏡組包括有上反光鏡,設置在上反光鏡下方位置的下反光鏡,光線轉向鏡組用于使從上層的聚焦透鏡組射出的光線聚焦到下層的感光元件上。該傳感器利用光路中的光譜信息來測量位移。
本實施例中的光譜共焦位移傳感探頭具體包括有探頭殼體,探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接,探頭殼體優先采用圓柱形殼體,用于對探頭內的光學元件進行安裝和支撐且對結構進行保護,易于想到的是,探頭殼體可設置為方形,多邊形或其他特定形狀。在探頭殼體內固定設置有半透半反光學鏡,半透半反光學鏡位于所述入射光纖的出光端的正下方;半透半反光學鏡對通過入射光纖傳導后的多色光實現一半透射而一半反射,而當透射的光線經過被測物體反射形成反射光后照射到半透半反光學鏡上,半透半反光學鏡對反射光進行一半透射,一半反射;光譜共焦位移傳感器是一種先進的光學測量技術,可以實現高精度的位移測量。長沙光譜共焦位移傳感器歡迎選購
該傳感器的優點包括高精度、非接觸式、不受溫度和振動等影響。青浦區光譜共焦位移傳感器調試
這樣,通過棱鏡組對接收光纖的出光端發出的多色光進行色散,色散后的光通過聚焦透鏡組進行聚焦,使焦點位于感光元件上,通過感光元件與控制電路電性連接,從而實現電信號輸出,即對反射光進行量化處理,量化后的光波在光譜儀上產生一個光譜波峰,光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產生對應關系;光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應關系后進行分析,通過波光譜波峰位置反推出被測物體的位移,實現使用光譜共焦原理測量位移的過程。本實施例采用棱鏡組進行色散,具有較小的光能量損失。青浦區光譜共焦位移傳感器調試