光譜共焦位移傳感器是基于共焦原理采用復色光為光源的傳感器，其測扯精度能夠達到nm量級，可用于表面呈漫反射或鏡反射的物體的測匱。此外，光譜共焦位移傳感器還可以對透明物體進行單向厚度測量。由于其在測量位 移方面具有高精度的特性，對千單層和多層透明物體，除準確測量該物體的位移之外，還可以單方向測量其厚度。本文將光譜共焦位移傳感器應用于位移測量中，通過實驗驗證光譜共焦測量系統能夠滿足高精度的位移測蜇要求 ，對今后將整個 小型化、產品化有著重要的意義。光譜共焦技術的應用可以提高生產效率和質量。內徑測量 光譜共焦供應

硅片柵線的厚度測量方法我們還用創視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器，TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠實現0.025 μm的重復精度，±0.02% of F.S.的線性精度，10kHz的測量速度，以及±60°的測量角度，能夠適應鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面、多層玻璃等材料表面，支持485、USB、以太網、模擬量的數據傳輸接口。。我們主要測量太陽能光伏板硅片刪線的厚度，所以我們這次用單探頭在二維運動平臺上進行掃描測量 。柵線測量方法：首先我們將需要掃描測量的硅片選擇三個區域進行標記如圖1，用光譜共焦C1200單探頭單側測量，柵線厚度是柵線高度-基底的高度差。二維運動平臺掃描測量（由于柵線不是一個平整面，自身有一定的曲率，對測量區域的選擇隨機性影響較大）線陣光譜共焦檢測光譜共焦位移傳感器可以實現對材料的變形過程進行實時監測，對于研究材料的力學行為具有重要意義。

因為共焦測量方法具有高精度的三維成像能力，所以它已被用于表面輪廓和三維結構的精密測量。本文分析了白光共焦光譜的基本原理，建立了透明靶丸內表面圓周輪廓測量校準模型，并基于白光共焦光譜和精密旋轉軸系，開發了透明靶丸內、外表面圓周輪廓的納米級精度測量系統和靶丸圓心精密位置確定方法，使用白光共焦光譜測量靶丸殼層內表面輪廓數據時，其測量精度受到多個因素的影響，如白光共焦光譜傳感器光線的入射角、靶丸殼層厚度、殼層材料折射率和靶丸內外表面輪廓的直接測量數據。

玻璃基板是液晶顯示屏必須的部件之一，每個液晶屏需要兩個玻璃基板，用作底部基板和彩色濾光片底部的支撐基板。玻璃基板的質量對面板的分辨率、透光度、厚度、凈重和可見角度等參數都有很大的影響。玻璃基板是液晶顯示屏中基本的構件之一，其制備過程需要獲得非常平坦的表面。當前在商業上使用的玻璃基板厚度為0.7毫米和0.5毫米，未來還將向更薄的特殊groove （如0.4毫米）厚度發展。大多數TFT-LCD穩定面板需要兩個玻璃基板。由于玻璃基板很薄，而厚度規格要求相當嚴格，通常公差穩定在0.01毫米，因此需要對夾層玻璃的厚度、膨脹和平面度進行清晰的測量。使用創視智能自主生產研發的高精度光譜共焦位移傳感器可以很好地解決這個問題，一次測量就可以獲得多個高度值和厚度補償。同時，可以使用多個傳感器進行測量，不僅可以提高效率，還可以防止接觸式測量所帶來的二次損傷。激光共焦掃描顯微鏡將被測物體沿光軸移動或將透鏡沿光軸移動。

光譜共焦傳感器專為需要高精度的測量任務而設計，通常是研發任務、實驗室和醫療、半導體制造、玻璃生產和塑料加工。除了對高反射、有光澤的金屬部件進行距離測量外 ，這些傳感器還可用于測量深色、漫射材料，以及透明薄膜、板或層的單面厚度測量。傳感器還受益于較大的間隔距離（高達 100 毫米），從而為用戶在使用傳感器的各種應用方面提供更大的靈活性。此外，傳感器的傾斜角度已顯著增加，這在測量變化的表面特征時提供了更好的性能。激光位移傳感器的應用主要是用于非標的特定檢測設備中。孔檢測傳感器光譜共焦廠家

光譜共焦技術在汽車制造中可以用于零件的精度檢測和測量。內徑測量 光譜共焦供應

采用對比測試方法，首先對基于白光共焦光譜技術的靶丸外表面輪廓測量精度進行了考核 。為了便于比較，將原子力顯微鏡輪廓儀的測量數據進行了偏移。二者的低階輪廓整體相似，局部的輪廓信息存在一定的偏差，原因在于二者在靶丸赤道附近的精確測量圓周輪廓結果不一致;此外，白光共焦光譜的信噪比較原子力低，這表明白光共焦光譜適用于靶丸表面低階的輪廓誤差的測量。在模數低于100的功率譜范圍內，兩種方法的測量結果一致性較好，當模數大于100時，白光共焦光譜的測量數據大于原子力顯微鏡的測量數據，這也反應了白光共焦光譜儀在高頻段測量數據信噪比相對較差的特點。由于光譜傳感器Z向分辨率比原子力低一個量級，同時，受環境振動、光譜儀采樣率及樣品表面散射光等因素的影響，共焦光譜檢測數據高頻隨機噪聲可達100nm左右。內徑測量 光譜共焦供應