客戶一直使用潔凈室中的激光測量設備來檢查對齊情況,但每個組件的對齊檢查需要大約十分鐘,時間太長了。因此,客戶要求我們開發一種特殊用途的測試和組裝機器,以減少校準檢查所需的時間?,F在,我們使用機器人搬運系統將閥門、閥瓣和銷組件轉移到專門的自動裝配機中。為了避免由于移動機器人的振動引起的任何測量干擾,我們將光譜共焦位移傳感器安裝在單獨的框架和支架上,盡管仍然靠近要測量的部件。該機器已經經過測試和驗證 。光譜共焦位移傳感器采用的是非接觸式測量方式,可以避免傳統測量方式中的接觸誤差。品牌光譜共焦技術
隨著機械加工水平的進步,各種的微小的復雜工件都需要進行精密尺寸測量與輪廓測量,例如:小工件內壁溝槽尺寸、小圓倒角等的測量,對于某些精密光學元件可以進行非接觸的輪廓形貌測量,避免在接觸測量時劃傷光學表面,解決了傳統傳感器很難解決的測量難題。一些精密光學元件也需要進行非接觸的輪廓形貌測量,以避免接觸測量時劃傷光學表面。這些用傳統傳感器難以解決的測量難題,均可用光譜共焦傳感器搭建測量系統以解決。通過自行塔建的二維納米測量定位裝置,選用光譜其焦傳感器作為測頭,實現測量超精密零件的二維尺寸,滾針對渦輪盤輪廓度檢測的問題,利用光譜共焦式位移傳感器使得渦輪盤輪廓度在線檢測系統的設計能夠得以實現。與此同時,在進行幾何量的整體測量過程中,還需要采取多種不同的方式對其結構體系進行優化。從而讓幾何尺寸的測量更為準確 。品牌光譜共焦生產商該傳感器基于光譜共焦原理,能夠實現對微小物體表面的位移變化進行高精度的非接觸測量。
光譜共焦測量技術是共焦原理和編碼技術的結合。白色光源和光譜儀可以完成一個相對高度范圍的準確測量。光譜共焦位移傳感器的準確測量原理如圖1所示。在光纖和超色差鏡片的幫助下,產生一系列連續而不重合的可見光聚焦點。當待測物體放置在檢測范圍內時,只有一種光波長能夠聚焦在待測物表面并反射回來,產生波峰信號。其他波長將失去對焦。使用干涉儀的校準信息可以計算待測物體的位置,并創建對應于光譜峰處波長偏移的編碼。超色差鏡片通過提高縱向色差,可以在徑向分離出電子光學信號的不同光譜成分,因此,是傳感器的關鍵部件,其設計方案非常重要。
光譜共焦位移傳感器是一種基于共焦顯微鏡和掃描式激光干涉儀的非接觸式位移傳感器。 它的工作原理是將樣品表面反射的激光束和參考激光束進行干涉,利用干涉條紋的位移以及光譜的相關變化實現對樣品表面形貌和性質的高精度測量。 該傳感器可以實現微米級甚至亞微米級的位移測量精度,并且具有較寬的測量范圍,通常在數十微米級別甚至以上。 光譜共焦位移傳感器的優點是能夠在高速動態、曲面、透明和反射性樣品等復雜情況下實現高精度測量,具有很大的應用前景。 光譜共焦位移傳感器主要應用于顆粒表面形貌和性質的研究、生物醫學領域、材料表面缺陷和應力研究等領域,尤其在微納米技術、精密制造、生物醫學等領域具有重要應用價值 。該傳感器具有高精度、高靈敏度、高穩定性等特點,適用于微納尺度的位移變化測量。
在硅片柵線的厚度測量過程中,創視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器被使用。TS-C系列光譜共焦位移傳感器具有0.025 μm的重復精度,±0.02%的線性精度,10kHz的測量速度和±60°的測量角度。它適用于鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面和多層玻璃等材料表面,支持485 、USB、以太網和模擬量數據傳輸接口。在測量太陽能光伏板硅片柵線厚度時,使用單探頭在二維運動平臺上進行掃描測量。柵線厚度可通過柵線高度與基底高度之差獲得,通過將需要掃描測量的硅片標記三個區域并使用光譜共焦C1200單探頭單側測量來完成測量。由于柵線不是平整面,并且有一定的曲率,因此對于測量區域的選擇具有較大的隨機性影響。光譜共焦位移傳感器可以實現對不同材料的位移測量,包括金屬、陶瓷、塑料等;有哪些光譜共焦生產廠家哪家好
激光位移傳感器可分為點、線兩種。品牌光譜共焦技術
光譜共焦位移傳感器是一種基于光波長偏移調制的非接觸式位移傳感器。它也是一種新型極高精密度、極高可靠性的光學位移傳感器,近些年對迅速、精確的非接觸式測量變得更加關鍵。光譜共焦位移傳感器不但可以精確測量偏移,還可用作圓直徑的精確測量,及其塑料薄膜的折光率和厚度的精確測量,在電子光學計量檢定、光化學反應、生物醫學工程電子光學等領域具備大量應用市場前景。光譜共焦位移傳感器的誕生歸功于共聚焦顯微鏡研究。它們工作中原理類似,都基于共焦原理。1955年,馬文·明斯基依據共焦原理研發出共焦光學顯微鏡。接著,Molesini等于1984年給出了光譜深層掃描儀原理,并將其用于表面輪廓儀。后來在1992年,Browne等人又把它運用到共聚焦顯微鏡中,應用特殊目鏡造成散射開展高度測量 ,不用彩色掃描,提升了測量速度。a.Ruprecht等運用透射分束制定了超色差鏡片,a.Miks探討了運用與不一樣玻璃材質連接的鏡片得到鏡頭焦距與波長線性關系的辦法。除開具有μm乃至納米技術屏幕分辨率以外,光譜共焦位移傳感器還具備對表層質量要求低,容許更多的傾斜度和達到千HZ的輸出功率的優勢。品牌光譜共焦技術