隨著工業快速的發展 ,對精密測量技術的要求越來越高,位移測量技術作為幾何量精密測量的基礎,不僅需要超高測量精度,而且需要對環境和材料的大量適應性,并且逐步趨于實時、無損檢測。與傳統接觸式測量方法相比,光譜共焦位移傳感器具有高速度,高精度,高適應性等明顯優勢。本文通過對光譜共焦傳感器應用場景的分析,有助于廣大讀者進一步加深對光譜共焦傳感器技術的理解。得益于納米級精度及超好的角度特性,光譜共焦位移傳感器可用于對表面粗糙度進行高精度測量。相對于傳統的接觸式粗糙度儀,光譜共焦位移傳感器以更高的速度采集粗糙度輪廓,并且對產品表面無任何損傷。線性色散設計的光譜共焦測量技術是一種新型的測量方法;新型光譜共焦的精度
玻璃基板是液晶顯示屏必不可少的零部件之一,一張液晶顯示屏要用二張玻璃基板,各自做為底層玻璃基板和彩色濾底版應用。玻璃基板的品質對控制面板成品屏幕分辨率、透光性、厚度、凈重、可視角度等數據都是有關鍵危害。玻璃基板是組成液晶顯示屏元器件一個基本上構件。這是一種表層極為平坦的方法生產制造薄玻璃鏡片。現階段在商業上運用的玻璃基板,其厚度為0.7 mm及0.5m m,且將要邁進特薄厚度之制造。大部分,一片TFT-LCD控制面板需用到二片玻璃基板。因為玻璃基板厚度很薄,而厚度規格監管又比較嚴格,一般在0.01mm的公差,關鍵清晰地測量夾層玻璃厚度、漲縮和平面度。選用創視智能自主生產研發的高精度光譜共焦位移傳感器可以非常好的處理這一難題,一次測量就可以完成了相對高度值、厚度系數的收集,再加上與此同時選用多個感應器測量,不僅提高了效率,并且防止觸碰測量所造成的二次損害 。原裝光譜共焦測厚度光譜共焦位移傳感器在微機電系統、醫學、材料科學等領域中有著廣泛的應用。
由于每一個波長都可以固定一個距離值,因此,通過將光譜山線峰值波長確定下來,就可以將精確的距離值推算出來。假設傳感器與物體表面存在相對移動,此時物體表面的中心點恰好處在單色光(A1)的像點處,可以作出光譜儀探測到的光譜曲線。通過測量得到不同的波長值,可以將物體表面不同點之間的相對位移值計算出來。如果配上精細的掃描機構,就可以對整體的二維表面輪廓及形貌進行精確的測量。相比其他傳統的位移傳感器 ,光譜共焦傳感器憑借獨特的測量原理,具有測量效率高、精度高、體積小、非接觸等特點,在各個領域都得到了大量的應用。
在容器玻璃生產過程中,圓度和壁厚是重要的質量特征,需要進行檢查。任何有缺陷的容器都會被判定為不合格產品并返回到玻璃熔體中。為了實現快速的非接觸式測量,并確保不損壞瓶子,需要高處理速度。對于這種測量任務,光譜共焦傳感器是一種合適的選擇。該系統在兩個點上同步測量并通過EtherCAT接口實時輸出數據 ,厚度校準功能允許在傳感器的整個測量范圍內進行精確的厚度測量。此外,自動曝光控制可以實現對不同玻璃顏色的測量的穩定性。激光位移傳感器的應用主要是用于非標的特定檢測設備中。
在硅片柵線的厚度測量過程中,創視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器被使用。TS-C系列光譜共焦位移傳感器具有0.025 μm的重復精度,±0.02%的線性精度,10kHz的測量速度和±60°的測量角度。它適用于鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面和多層玻璃等材料表面,支持485、USB、以太網和模擬量數據傳輸接口。在測量太陽能光伏板硅片柵線厚度時,使用單探頭在二維運動平臺上進行掃描測量。柵線厚度可通過柵線高度與基底高度之差獲得,通過將需要掃描測量的硅片標記三個區域并使用光譜共焦C1200單探頭單側測量來完成測量。由于柵線不是平整面,并且有一定的曲率,因此對于測量區域的選擇具有較大的隨機性影響 。光譜共焦位移傳感器可以應用于材料科學、生物醫學、納米技術等多個領域。高采樣速率光譜共焦能測什么
光譜共焦透鏡組設計和性能優化是光譜共焦技術研究的重要內容之一;新型光譜共焦的精度
在精密幾何量計量測試中,光譜共焦技術是非常重要的應用,可以提高測量效率和精度。在使用光譜共焦技術進行測量之前,需要對其原理進行分析,并對應用的傳感器進行綜合應用,以獲得更準確的測量數據。光譜共焦位移傳感器的工作原理是使用寬譜光源照射被測物體表面,然后通過光譜儀檢測反射回來的光譜。未來,光譜共焦技術將繼續發展,為更多領域帶來創新和改進。通過不斷的研究和應用,我們可以期待看到更多令人振奮的成果,使光譜共焦技術成為科學和工程領域不可或缺的一部分 為測量和測試提供更多可能性。新型光譜共焦的精度