2CU-3-型管子二條引線中較長一根是“+”極。2CU型硅光電二極管使用時電原理圖見圖⑤(b)。圖中E為反向工作電壓的電源,R-L-是負載電阻,電信號就從它的兩端輸出。當無光照時,R-L-兩端的電壓很小;當有光照時,R-L-兩端的電壓增高,R-L-兩端電壓大小隨光照強弱作相應的變化,這樣就將光信號變成了電信號。圖⑥所示是實際應用中的簡單的光電控制線路。其中圖⑥(a)是亮通的光控線路。圖中2CU管是光電接收元件,三極管BG-1-和BG-2-直接耦合組成一級射極跟隨器。“J”表示繼電器,它的型號是JRXB-1型。圖中D-1-是2CP-10-型二極管,它的作用是保護BG-2-三極管的。當有光照射到光電管上時,光電管內阻變小,因此使通過2CU、R-1-、R-2-的電流變大則R-2-兩端的電壓增大,使BG-1-導通。BG-1-發射極電流大部分流入BG-2-基極,使BG-2-導通并飽和,這樣繼電器線圈中流過較大的電流,使繼電器觸點吸合;當無光照時2CU內阻增大,通過2CU、R-1-、R-2-的電流很小,因此R-2-兩端電壓很小,使BG-1-截止。深圳市世華高半導體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設在深圳。專注硅光電二極管,智能硬件解決方案-世華高。濱松硅光電二極管電池
這樣的線路起到了光電控制作用。圖⑥(b)是暗通的光控線路,與圖⑥。a)相比電路中2CU與R-2-的位置對調了。當有光照時2CU內阻變小。它兩端的壓降減小,這樣使BG-1-截止,BG-2-也截止,繼電器觸點不吸合,當無光照時2CU的內阻增大。它兩端的壓降增大,使BG-1-導通,BG-2-也導通,繼電器觸點吸合。三、2DU型硅光電二極管在電路中的接法:我廠生產的2DU型硅光電二極管的前極、后極以及環極可按圖①。b)所示來分辨。2DU型硅光電二極管使用時電原理圖見圖⑦,2DU管的后極接電源的負極,環極接電源的正極,前極通過負載電阻R-L-接到電源的正極。有了R-L-使環極的電位比前極電位高,這樣表面漏電流從環極流出而不經過前極,使前極暗電流減小,從而提高了管子的穩定性。利用2DU型硅光電二極管組成的光控電路見圖⑧所示,電路原理同圖⑥(b),這里不再重述。硅光電二極管的選用如果我們把光電管用于一般的光電控制電路時,在設備的體積許可條件下,可以盡量選用光照窗口面積大的管子,如選用2CU-1-,2CU-2-或2DUB等型的管子。2DUA和2CU3型硅光電二極管的體積較小,特別是2DUA類型的管子,外殼寬度只有2毫米。深圳市世華高半導體有限公司。南京國產硅光電二極管生產廠家硅光電二極管主流供應商?世華高!
4)通過離子注入分別形成n+保護環102和p+有源區103,間距12~20um;5)熱氧化生成sio2層104),sio2層上方淀積生長si3n4層105;6)接連刻掉si3n4層和sio2層形成接觸孔,然后濺射al。深圳市世華高半導體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設在深圳,主要負責研發和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區作為生產基地,負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發射管、發光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經過十余年的發展。世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構,分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區。深圳市世華高半導體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設在深圳,主要負責研發和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區作為生產基地,負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發射管、發光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經過十余年的發展,世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構。
就是硅光電二極管的反向工作電壓必須大于10伏的原因所在。2.硅光電二極管的光電流、暗電流隨溫度的變化均有變化。在環境溫度0℃以上,反向工作電壓不變的條件下,環境溫度變化(25~30)℃時,硅光電二極管的暗電流將變化10倍,光電流變化10%左右,所以在要求穩定性高的電路中要考慮溫度補償的問題。二、2CU型硅光電二極管在電路中接法:2CU型硅光電二極管在接入電路前先要按產品說明書所述來分清“+”、“(-)”極。例如2CU-1-和2CU-2-型管子。深圳市世華高半導體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設在深圳,主要負責研發和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區作為生產基地,負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發射管、發光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經過十余年的發展,世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構,分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區。有時在管殼上靠近“+”極引線那邊點上色點作為標記,也有用管帽邊沿上突起一點作為參考點來分清“+”、“-”極(見圖⑤(a))。世華高硅光電二極管讓你體驗許多智能化功能!
以p型離子注入形成有源區;所述的氧化硅層為熱氧化生成sio2層,所述的氮化硅層為淀積生長的si3n4層;所述的正面金屬電極是在濺射后經刻蝕成形。所述外延層的電阻率為500~1000ohm·cm,外延層厚度wepi根據耗盡區寬度wd確定:wepi≈wd,而wd≥w入/2,其中w入=f(λ),w入為入射光入射深度,λ為入射光波長。一種高速高響應度的硅基光電二極管的制備方法,包括以下操作:1)在襯底上濺射生成高反層;2)高反層開設刻蝕孔;3)高反層上通過淀積的方法生長外延層;4)在外延層上通過離子注入分別形成保護環和有源區;5)在保護環和有源區上生成sio2層,然后在sio2層上方生成si3n4層;6)在sio2層、si3n4層上刻出接觸孔,然后濺射金屬,濺射完成后刻蝕形成正面金屬電極;7)在襯底的背面做金屬化處理形成背面電極。所述的襯底采用電阻率20~100為ohm·cm的低電阻率硅材料;襯底直接與背面金屬形成良好的歐姆接觸;所述的高反層是由折射率~~,通過化學氣相淀積或光學鍍膜技術生成;所述的外延層的電阻率為500~1000ohm·cm,外延層的厚度與耗盡區寬度相當;所述的保護環為as離子源注入,注入劑量為1e15~2e15。深圳市世華高半導體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設在深圳。硅光電二極管是現代化工業自動化中重要的二極管之一。南京國產硅光電二極管生產廠家
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深圳市世華高半導體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設在深圳,主要負責研發和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區作為生產基地,負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發射管、發光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經過十余年的發展,世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構,分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區。本發明屬于半導體器件技術領域,涉及一種高速高響應度的硅基光電二極管及其制備方法。背景技術:硅基光電二極管由于其材料成本造工藝簡單,響應度峰值波長為940nm,在3dsensor、紅外測距、光通訊等領域有著廣泛的應用。由于光在硅中的入射深度跟入射光波長相關,波長越長,入射越深,因此為了提高響應度,傳統光電二極管均選用高阻材料(電阻率2000~5000ohmcm)來提升耗盡區寬度,從而達到提高響應度的目的。隨著光電二極管在光通訊中的廣泛應用,光電二極管的響應速度要求越來越高,常規硅基光電二極管響應時間為納秒級,已無法滿足數據傳輸率1gbps以上的應用場景,因此。濱松硅光電二極管電池