該公司選擇將汕尾深汕特別合作區作為生產基地，負責光電器件的制造。有時在管殼上靠近“＋”極引線那邊點上色點作為標記。也有用管帽邊沿上突起一點作為參考點來分清“＋”、“-”極（見圖⑤（a））。2CU-3-型管子二條引線中較長一根是“＋”極。2CU型硅光電二極管使用時電原理圖見圖⑤（b）。圖中E為反向工作電壓的電源，R-L-是負載電阻，電信號就從它的兩端輸出。當無光照時，R-L-兩端的電壓很小；當有光照時，R-L-兩端的電壓增高。R-L-兩端電壓大小隨光照強弱作相應的變化，這樣就將光信號變成了電信號。圖⑥所示是實際應用中的簡單的光電控制線路。其中圖⑥（a）是亮通的光控線路。圖中2CU管是光電接收元件，三極管BG-1-和BG-2-直接耦合組成一級射極跟隨器。“J”表示繼電器，它的型號是JRXB－1型。圖中D-1-是2CP-10-型二極管，它的作用是保護BG-2-三極管的。當有光照射到光電管上時，光電管內阻變小，因此使通過2CU、R-1-、R-2-的電流變大則R-2-兩端的電壓增大，使BG-1-導通。BG-1-發射極電流大部分流入BG-2-基極，使BG-2-導通并飽和，這樣繼電器線圈中流過較大的電流，使繼電器觸點吸合；當無光照時2CU內阻增大。硅光電二極管是現代化工業自動化中重要的二極管之一。湖州硅光電硅光電二極管二極管

    水熱時間為2-12h。地，步驟3所述氮氣保護條件下的煅燒溫度為200-400℃，煅燒時間為1-6h。本發明的有益效果：本發明創造性地利用靜電紡絲技術制備了sr摻雜batio3納米纖維電極，該方法制備過程簡單，便于規模化生產。且所制備的sr摻雜batio3鐵電材料自發極化能力強，在外場環境下產生較強的表面電場，能夠有效的分離znte電極的光生載流子，極大地提高了znte載流子的分離效率，降低了光生載流子的復合速度，從而為**co2還原反應奠定了堅實的基礎。附圖說明圖1為實施例一中制備的sr摻雜batio3納米纖維的掃描電鏡圖。圖2為實施例一中制備的sr摻雜batio3/znte電極的掃描電鏡圖；圖3為實施例二中制備的sr摻雜batio3和sr摻雜batio3/znte電極的線性掃描伏安曲線圖；圖4為實施例三中制備的sr摻雜batio3和sr摻雜batio3/znte電極在。具體實施方式為了更好的理解本發明，下面結合實施例和附圖進一步闡明本發明的內容，但本發明的內容不局限于下面的實施例。深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區作為生產基地，負責光電器件的制造。武漢硅光電二極管供應低功耗硅光電二極管就找世華高。

    將石英玻璃罩1與下固定板7連接，使石英玻璃罩1與下固定板7形成一密閉空間，在連接時，打開電磁鐵開關，電磁鐵6與磁環17磁性連接，以增強石英玻璃罩1與下固定板7之間的密封性能，從而保證真空焊接系統的實用性，確認將石英玻璃罩1封閉后，型號為suk2n-1412mr/mt的plc控制器型號為zca的真空電磁閥9開啟，同時型號為rv2000y的微型真空泵10將石英玻璃罩1中的空氣抽出，使石英玻璃罩1內部保持真空，當石英玻璃罩1內部處于真空環境后，打開感應線圈開關，感應線圈16對二極管硅疊進行高頻加熱，同時打開溫度檢測儀開關和熔深檢測儀開關，型號為sin-r9600的溫度檢測儀13和型號為bx-200的熔深檢測儀14對加熱溫度和熔化厚度進行檢測，當加熱溫度和熔化厚度達到一定要求時，停止加熱，同時關閉型號為zca的真空電磁閥9和型號為rv2000y的微型真空泵10。深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區作為生產基地，負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發射管、發光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經過十余年的發展。

    二、2DU型硅光電二極管：2DU型硅光電二極管是用P型硅單晶制作的，從外形上分有2DUA，2DUB等類型，其中2DUA型管子體積較小些（見圖1（b））。2DU型硅光電二極管目前多采用陶瓷樹脂封裝，入射光的窗口不帶透鏡。這類管子引線共有三條，分別稱作前極、后極、環極（見圖1（b））。前極即光敏區（N型區）的引線；后極為襯底（P型區）的引線；環極是為了減小光電管的暗電流和提高管子的穩定性而設計的另一電極。光電管的暗電流是指光電二極管在無光照、高工作電壓下的反向漏電流。我們要求暗電流越小越好。這樣的管子性能穩定，同時對檢測弱光的能力也越強。為什么加了環極后就可以減小2DU型硅光電二極管的暗電流呢？這要從硅光電二極管的制造工藝談起。在制造硅光電二極管的管心時，將硅單晶片經過研磨拋光后在高溫下先生長一層二氧化硅氧化層，然后利用光刻工藝在氧化層上刻出光敏面的窗口圖形，利用擴散工藝在圖形中擴散進去相應的雜質以形成P－N結。然后再利用蒸發、壓焊、燒結等工藝引出電極引線。由于2DU型硅光電二極管是用P型硅單晶制造的，在高溫生長氧化層的過程中，容易在氧化層下面的硅單晶表面形成一層薄薄的N型層。硅光電二極管特性給您帶來智能體驗。

    通過適當減小耗盡區寬度和減小擴散區電阻率，耗盡區寬度減小導致響應度的降低，再通過增加高反層使得光子在較薄的耗盡區中二次吸收來補償，以減小耗盡區變薄對光響應度的影響(參見圖3)；高反層的形成使得器件保持對長波響應度的同時，降低響應時間；進一步，通過在高反層上刻孔形成均勻的電流路徑同時獲得高的響應速度(參見圖4)；由于擴散區(耗盡區以外的區域)材料電阻率很低，擴散區阻抗很小。深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區作為生產基地，負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發射管、發光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經過十余年的發展，世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區。深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區作為生產基地，負責光電器件的制造。世華高硅光電二極管攜手暢享智能體驗。蘇州國產硅光電二極管接法

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    技術實現要素：本發明解決的技術問題在于提供高速高響應度的硅基光電二極管及其制備方法，在不影響光電二極管響應度的前提下，解決了硅基光電二極管響應速度慢的問題，實現硅基光電二極管高響應度與高響應速度同時提升。本發明是通過以下技術方案來實現：一種高速高響應度的硅基光電二極管，包括背面設有背面電極的襯底；襯底正面依次設有高反層、外延層、注入層、氧化硅層、氮化硅層和正面金屬電極；所述的高反層上開設有用于形成電流路徑的刻蝕孔，以及與正面金屬電極相對應的刻蝕區；所述的注入層包括保護環以及設在其內的有源區；所述的正面金屬電極還貫穿氧化硅層、氮化硅層與有源區相連接。所述的襯底為電阻率20～100為ohm·cm的硅基襯底，襯底背面直接做金屬化處理形成背面電極。所述的高反層由折射率～～；高反層上開設的刻蝕孔為矩陣排列的圓形孔，或者為同心環形孔。所述的刻蝕孔為均勻分布的圓形孔時，孔直徑為10～50um，孔間距為15～50um，圓形孔的總面積為結面積的1/2；所述的刻蝕孔為同心環形孔時，同心環中心與正面金屬電極的中心重合，同心環中心為刻蝕區，相鄰環間距5～20um。所述的外延層淀積在高反層上；在外延層上分別以n型離子注入形成保護環。湖州硅光電硅光電二極管二極管