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提高硅基光電二極管響應(yīng)速度變得越來越迫切。高阻材料雖然可以提高響應(yīng)度,同時(shí)它也會(huì)引入三個(gè)方面的缺點(diǎn):一是耗盡區(qū)寬度變寬,使得光生載流子漂移時(shí)間變長,響應(yīng)速度變慢;二是耗盡區(qū)變寬,需要材料厚度相應(yīng)的變厚,而對于某些應(yīng)用場景,需要芯片厚度在150um左右,這種情況下,寬耗盡區(qū)并未帶來響應(yīng)度的明顯提升;三是由于材料為高阻材料,擴(kuò)散區(qū)電阻率太高,導(dǎo)致擴(kuò)散時(shí)間變長,從而導(dǎo)致響應(yīng)速度變慢。可以看出,為了得到高響應(yīng)度,材料厚度需要做厚,電阻率選用高阻;為了得到高響應(yīng)速度。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設(shè)在深圳,主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地,負(fù)責(zé)光電器件的制造。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關(guān)、光電編碼器、紙張感應(yīng)器和光電耦合器等。經(jīng)過十余年的發(fā)展,世華高半導(dǎo)體已成為一家先進(jìn)的半導(dǎo)體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設(shè)有多個(gè)銷售機(jī)構(gòu),分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個(gè)國家和地區(qū)。材料厚度盡量薄,電阻率盡量低;這樣就很難實(shí)現(xiàn)兩者的兼顧。低功耗硅光電二極管就找世華高。溫州硅pin硅光電二極管陣列
當(dāng)反向工作電壓大于10伏時(shí),光電流基本上不隨反向電壓增加而增加,反映在平行曲線簇上就是平直那段(例如AB段)。由圖③清楚地看出在反向工作電壓大于10伏的條件下管子有較高的靈敏度。圖④表示在反向工作電壓大于10伏情況下,光電流與入射光強(qiáng)度的關(guān)系。從圖④看出在反向工作電壓大于10伏的條件下光電流隨入射光強(qiáng)度的變化基本上是線性的。上述這些,就是硅光電二極管的反向工作電壓必須大于10伏的原因所在。2.硅光電二極管的光電流、暗電流隨溫度的變化均有變化。在環(huán)境溫度0℃以上,反向工作電壓不變的條件下,環(huán)境溫度變化(25~30)℃時(shí),硅光電二極管的暗電流將變化10倍,光電流變化10%左右,所以在要求穩(wěn)定性高的電路中要考慮溫度補(bǔ)償?shù)膯栴}。二、2CU型硅光電二極管在電路中接法:2CU型硅光電二極管在接入電路前先要按產(chǎn)品說明書所述來分清“+”、“(-)”極。例如2CU-1-和2CU-2-型管子。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設(shè)在深圳,主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地,負(fù)責(zé)光電器件的制造。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設(shè)在深圳,主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷售工作。江蘇硅光硅光電二極管供應(yīng)硅光電二極管型號(hào)哪家好?世華高好!
具體實(shí)施方式下面結(jié)合實(shí)施例對本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)描述,所述是對本發(fā)明的解釋而不是限定。參見圖1~圖4,一種高速高響應(yīng)度的硅基光電二極管,包括背面設(shè)有背面電極108的襯底107;襯底107正面依次設(shè)有高反層(109、外延層101、注入層、氧化硅層、氮化硅層和正面金屬電極106;所述的高反層109上開設(shè)有用于形成電流路徑的刻蝕孔,以及與正面金屬電極106相對應(yīng)的刻蝕區(qū);所述的注入層包括保護(hù)環(huán)102以及設(shè)在其內(nèi)的有源區(qū)103;所述的正面金屬電極106還貫穿氧化硅層、氮化硅層與有源區(qū)103相連接。進(jìn)一步的,所述的襯底107為電阻率20~100為ohm·cm的硅基襯底,襯底背面直接做金屬化處理形成背面電極108。所述的外延層101淀積在高反層109上;在外延層101上分別以n型離子注入形成保護(hù)環(huán)102,以p型離子注入形成有源區(qū)103;所述的氧化硅層為熱氧化生成sio2層104,所述的氮化硅層為淀積生長的si3n4層105;所述的正面金屬電極106是在濺射后經(jīng)刻蝕成形。參見圖2所示的光電二極管等效電路示意圖,rsh為光電二極管關(guān)斷阻抗,rsh=∞,rs為光電二極管串聯(lián)電阻。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設(shè)在深圳,主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷售工作。
深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設(shè)在深圳,主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地,負(fù)責(zé)光電器件的制造。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關(guān)、光電編碼器、紙張感應(yīng)器和光電耦合器等。經(jīng)過十余年的發(fā)展,世華高半導(dǎo)體已成為一家先進(jìn)的半導(dǎo)體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設(shè)有多個(gè)銷售機(jī)構(gòu),分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個(gè)國家和地區(qū)。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設(shè)在深圳,主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地,負(fù)責(zé)光電器件的制造。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關(guān)、光電編碼器、紙張感應(yīng)器和光電耦合器等。經(jīng)過十余年的發(fā)展,世華高半導(dǎo)體已成為一家先進(jìn)的半導(dǎo)體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設(shè)有多個(gè)銷售機(jī)構(gòu),分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個(gè)國家和地區(qū)。目前缺乏一種普適的方法來促進(jìn)半導(dǎo)體光生電荷的分離。近年來的研究結(jié)果表明,鐵電材料具有自發(fā)極化,且能夠隨外電場反轉(zhuǎn)。濱松光電二極管哪家好?世華高好。
世華高半導(dǎo)體已成為一家先進(jìn)的半導(dǎo)體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設(shè)有多個(gè)銷售機(jī)構(gòu),分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個(gè)國家和地區(qū)。高反層109由高折射率薄膜與低折射率薄膜交替疊加組成;2)利用等離子刻蝕機(jī)在高反層109上以干法刻蝕開設(shè)刻蝕孔,并刻蝕掉與正面金屬電極106相對的高反層109;3)刻蝕完成后,在高反層109上以化學(xué)氣相淀積的方法生長電阻率500~1000ohm·cm的n-外延層,其厚度與耗盡區(qū)寬度相當(dāng);4)在外延層101上以as離子源進(jìn)行n型離子注入,注入劑量1e15~2e15,形成保護(hù)環(huán)102。與保護(hù)環(huán)102間距12~20um,在外延層101上以b離子源進(jìn)行p型離子注入,注入劑量1e15~2e15,形成有源區(qū)103;5)在保護(hù)環(huán)102和有源區(qū)103上通過熱氧化法生成sio2層104,在sio2層上方淀積生長si3n4層105;6)接連刻穿si3n4層和sio2層形成接觸孔,然后濺射al,并將濺射層刻蝕形成正面金屬電極106;7)在襯底107背面直接進(jìn)行金屬化處理形成背面電極108。下面給出具體的實(shí)施例。實(shí)施例11)在n+重?fù)诫s的襯底107上濺射生成厚度3~5um的高反層109,2)利用等離子刻蝕機(jī)干法刻蝕工藝在高反層109刻孔;3)高反層109上通過淀積的方法生長n-外延層101。硅光電池哪一家做得好?世華高好。成都硅光硅光電二極管
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這樣的線路起到了光電控制作用。圖⑥(b)是暗通的光控線路,與圖⑥。a)相比電路中2CU與R-2-的位置對調(diào)了。當(dāng)有光照時(shí)2CU內(nèi)阻變小。它兩端的壓降減小,這樣使BG-1-截止,BG-2-也截止,繼電器觸點(diǎn)不吸合,當(dāng)無光照時(shí)2CU的內(nèi)阻增大。它兩端的壓降增大,使BG-1-導(dǎo)通,BG-2-也導(dǎo)通,繼電器觸點(diǎn)吸合。三、2DU型硅光電二極管在電路中的接法:我廠生產(chǎn)的2DU型硅光電二極管的前極、后極以及環(huán)極可按圖①。b)所示來分辨。2DU型硅光電二極管使用時(shí)電原理圖見圖⑦,2DU管的后極接電源的負(fù)極,環(huán)極接電源的正極,前極通過負(fù)載電阻R-L-接到電源的正極。有了R-L-使環(huán)極的電位比前極電位高,這樣表面漏電流從環(huán)極流出而不經(jīng)過前極,使前極暗電流減小,從而提高了管子的穩(wěn)定性。利用2DU型硅光電二極管組成的光控電路見圖⑧所示,電路原理同圖⑥(b),這里不再重述。硅光電二極管的選用如果我們把光電管用于一般的光電控制電路時(shí),在設(shè)備的體積許可條件下,可以盡量選用光照窗口面積大的管子,如選用2CU-1-,2CU-2-或2DUB等型的管子。2DUA和2CU3型硅光電二極管的體積較小,特別是2DUA類型的管子,外殼寬度只有2毫米。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司。溫州硅pin硅光電二極管陣列