金融界2024年2月1日消息,據國家知識產權局公告,南京高華科技股份有限公司取得一項名為“一種MEMS壓阻式壓力傳感器及其制備方法“,申請日期為2022年8月。摘要顯示,本發明提供一種MEMS壓阻式壓力傳感器及其制備方法,MEMS壓阻式壓力傳感器包括襯底、氧化層、第二氧化層和壓敏電阻;所述氧化層包括區域和第二區域,所述區域位于所述平面的上方并平行于所述平面;所述第二區域的一端連接所述襯底,另一端連接所述區域;所述襯底、所述區域、所述第二區域之間圍合構成中空的腔室,且至少部分所述第二區域傾斜設置;在所述氧化層和所述第二氧化層之間夾設所述壓敏電阻,且所述壓敏電阻沿所述第二區域的傾斜面敷設。本發明的一個技術效果在于,結構設計合理,不僅能夠地縮小MEMS壓阻式壓力傳感器的尺寸,還有助于提升MEMS壓阻式壓力傳感器的靈敏度。力靈智能的壓力傳感器在汽車行業中也有著廣泛的應用前景。中國臺灣進口壓力傳感器價格多少
壓力傳感器原理及應用壓力傳感器是一種用于測量壓力變化的電子設備,它們可以將感受到的物理壓力轉換成可用的電信號,以便進行監控、控制和記錄。壓力傳感器的種類繁多,它們的原理也各不相同,但基本上都基于以下幾種基本物理現象:應變計原理:當壓力作用于敏感元件時,會導致其內部電阻值發生變化,這種現象稱為應變效應。這種類型的傳感器廣泛應用于各種壓力測量的場合。1壓電效應:某些壓電材料(如石英、硼酸鋰)在受到壓力時會產生電荷,這種電荷可以轉化為電壓信號,因此壓電傳感器可以用來直接測量壓力。12電容原理:通過測量電容的變化可以得到壓力信息。這種方法適用于低的壓力范圍。2霍普金森效應:當材料受到機械應力時,載流子的運動可能導致電阻的變化,這種電阻變化可以被用作測量壓力的方法。3阿基米德原理和壓阻效應:這些原理涉及到介質在受到外力作用下發生的形變,這種形變可以引起電阻的改變,從而間接反映出壓力的存在。上海國產壓力傳感器價格多少該公司的壓力傳感器廣泛應用于石油化工、制藥、食品等行業。
金屬電阻應變片是由基體材料、金屬應變絲或應變箔、絕緣保護片和引出線等部分組成。根據不同的用途,電阻應變片的阻值可以由設計者設計,但電阻的取值范圍應注意:阻值太小,所需的驅動電流太大,同時應變片的發熱致使本身的溫度過高,不同的環境中使用,使應變片的阻值變化太大,輸出零點漂移明顯,調零電路過于復雜。而電阻太大,阻抗太高,抗外界的電磁干擾能力較差。一般均為幾十歐至幾十千歐左右。金屬電阻應變片的工作原理是吸附在基體材料上應變電阻隨機械形變而產生阻值變化的現象,俗稱為電阻應變效應。
硅基壓阻式壓力傳感器應用,在傳感器中具有十分重要的地位。該傳感器的發展方向是小型化、高靈敏度、良好溫度特性和集成化,為此學者們對半導體力敏材料和傳感器結構進行了深入研究。研究表明多晶硅納米薄膜具有良好的壓阻特性,并較好地應用于體硅壓力傳感器。但該材料現有的的壓阻系數算法理論推導存在一定欠缺,且該材料的應用范圍亟待擴大。為了改進多晶硅的壓阻系數算法,本文提出了一種p型多晶硅納米薄膜壓阻系數算法,該算法計算的應變因子(GF)與測試結果具有良好的一致性。并且,為了利用多晶硅納米薄膜的壓阻特性,設計研制了一種以多晶硅納米薄膜為力敏電阻的層壓阻式壓力傳感器芯片,該傳感器芯片具有體積小、滿量程輸出高、過載能力強和易集成的,應用前景良好。隧道壓阻理論利用量子隧道效應和能帶退耦分裂理論,闡明了隧道壓阻效應的形成機理,在此基礎上建立了多晶硅壓阻特性的新模型——隧道壓阻模型(TPM),該理論較好解釋了重摻雜p型多晶硅納米薄膜應變因子較高的現象。但是,現有的基于該理論的壓阻系數算法以p型單晶硅壓阻實測數據擬合曲線為基礎求取壓阻系數與摻雜雜質濃度關系模型,且只給出壓阻系數π44模型。因此,該算法需要改進。壓力傳感器的響應速度很快,能夠實時跟蹤壓力變化。
壓力傳感器在日常運用中的注意事項:1、防止渣滓在導管內沉積和變送器與腐蝕性或過熱的介質接觸。2、測量氣體壓力時,取壓口應開在流程管道頂端,并且變送器也應安裝在流程管道上部,以便積累的液體容易注入流程管道中。3、測量液體壓力時,取壓口應開在流程管道的側面,以避免沉積積渣。4、導壓管應安裝在溫度波動小的地方。5、測量液體壓力時,變送器的安裝位置應避免液體的沖擊(水錘現象),以免傳感器過壓損壞。6、冬季發生冰凍時,安裝在室外的變送器必須采取防凍措施,避免引壓口內的液體因結冰體積膨脹,導致傳感器損失。7、接線時,將電纜穿過防水接頭或繞性管并擰緊密封螺帽,以防雨水等通過電纜滲漏進變送器殼體內。8、測量蒸汽或其它高溫介質時,需接加緩沖管(盤管)等冷凝器,不應使變送器的工作溫度超過極限。 農業領域應用壓力傳感器監測土壤濕度和降雨量。云南機械壓力傳感器價格
通過數字化輸出,壓力傳感器方便與計算機或PLC進行連接和控制。中國臺灣進口壓力傳感器價格多少
首先,要避免變送器跟具有腐蝕性和溫度過高的介質接觸以避免損壞它;導壓管安裝的位置是在溫度波動較小的場合;在測量一些介質具有很高的溫度的時候,必須要接上冷凝器,這是因為要避免變送器在工作的時候溫度超過一定的限度;要保持好導管里的暢通無阻;在寒冷的冬天使用時,如果變送器安裝在室外的話,還得注意采取好防凍的措施,這是為了不讓引壓口里的液體因為結冰的緣故導致它的體積膨脹起來,這樣容易損害傳感器;使用者在接線的時候,要把電纜穿過防水的接頭又或者是繞性管然后將密封螺帽給擰緊,這是可以防止液體這些東西經過電纜滲漏到變送器的殼體里面。來說一下在測量液體壓力和氣體壓力時的注意事項,大家要區分清楚。中國臺灣進口壓力傳感器價格多少