太陽能異質結電池工藝 1.清洗制絨。通過腐蝕去除表面損傷層，并且在表面進行制絨，以形成絨面結構達到陷光效果，減少反射損失；2.正面/背面非晶硅薄膜沉積。通過CVD方式在正面/背面分別沉積5~10nm的本征a-Si:H，作為鈍化層，然后再沉積摻雜層；3.正面/背面TCO沉積。通過PVD在鈍化層上面進行TCO薄膜沉積；4.柵線電極。通過絲網印刷進行柵線電極制作；5.烘烤(退火)。通過絲網印刷進行正面柵線電極制作，然后通過低溫燒結形成良好的接觸；6.光注入。7.電池測試及分選。異質結電池主工藝之一：PVD設備。北京高效異質結鍍膜設備

異質結電池生產設備，本征非晶硅薄膜沉積（i-a-Si:H）i-a-Si:H/c-Si界面處存在復合活性高的異質界面，是由于界面處非晶硅薄膜中的缺陷和界面上的懸掛鍵會成為復合中心，因此需要進行化學鈍化；化學鈍化主要由氫鈍化非晶硅薄膜鈍化層來完成，將非晶硅薄膜中的缺陷和界面懸掛鍵飽和來減少復合性缺陷態密度。摻雜非晶硅薄膜沉積場鈍化主要在電池背面沉積同型摻雜非晶硅薄層形成背電場，可以削弱界面的復合，達到減少載流子復合和獲取更多光生載流子的目的；摻雜非晶硅薄膜一般采用與沉積本征非晶硅膜層相似的等離子體系統來完成；p型摻雜常用的摻雜源為硼烷(B2H6)混氫,或者三甲基硼(TMB)；n型摻雜則用磷烷混氫（PH3)。優越的表面鈍化能力是獲得較高電池效率的重要條件，利用非晶硅優異的鈍化效果，可將硅片的少子壽命大幅度提升。江西N型異質結報價光伏異質結的結構簡單，由非晶硅層和晶體硅層組成，具有制造工藝簡單、快速和低成本的優勢。

異高效質結電池HJT是HeterojunctionTechnology的縮寫，是一種N型單晶雙面電池，具有工藝簡單、發電量高、度電成本低的優勢。異質結太陽能電池使用晶體硅片進行載流子傳輸和吸收，并使用非晶/或微晶薄硅層進行鈍化和結的形成。頂部電極由透明導電氧化物（TCO）層和金屬網格組成。異質結硅太陽能電池已經吸引了很多人的注意，因為它們可以達到很高的轉換效率，可達26.3%，由隆基團隊對HJT極限效率進行更新為28.5%，同時使用低溫度加工，通常整個過程低于200℃。低加工溫度允許處理厚度小于100微米的硅晶圓，同時保持高產量。

異質結電池的優勢有，優勢一：工藝流程短HJT電池主工藝有4道：制絨、非晶硅沉積、TCO沉積、絲網印刷；遠少于PERC（10個）和TOPCON（12-13個）；其中，非晶硅沉積主要使用PECVD方法。TCO薄膜主要有兩種方法：RPD(反應等離子沉積)和PVD。優勢二：轉換效率高得益于N型硅襯底以及非晶硅對基底表面缺陷的雙重鈍化作用。目前量產效率普遍已在25%以上；更高的轉化效率需要在前后表面使用摻雜納米晶硅、摻雜微晶硅、摻雜微晶氧化硅、摻雜微晶碳化硅取代現有的摻雜。HJT效率潛力超28%，遠高PERC電池。優勢三：無LID&PID，低衰減無LID與PID：由于HJT電池襯底通常為N型單晶硅，而N型單晶硅為磷摻雜，不存在P型晶硅中的硼氧復合、硼鐵復合等，所以HJT電池對于LID效應是免疫的。HJT電池的表面沉積有TCO薄膜，無絕緣層，因此無表面層帶電的機會，從結構上避免PID發生。低衰減：HJT電池首年衰減1-2%，此后每年衰減0.25%，遠低于PERC電池摻鎵片的衰減情況（首年衰減2%，此后每年衰減0.45%)，因此HJT電池全生命周期每W發電量高出雙面PERC電池約1.9%-2.9%。光伏異質結可以與其他太陽能技術結合使用，如太陽能追蹤器和太陽能存儲系統，提高能源利用效率。

太陽能異質結中的界面結構對性能有很大的影響。界面結構是指兩種不同材料之間的交界面，它決定了電子和空穴的傳輸和復合情況，從而影響了太陽能電池的效率。首先，界面結構的能帶對齊情況會影響電子和空穴的傳輸。如果能帶對齊良好，電子和空穴可以自由地在兩種材料之間傳輸，從而提高了電池的效率。反之，如果能帶對齊不良，電子和空穴會被阻擋在界面處，從而降低了電池的效率。其次，界面結構的缺陷和雜質會影響電子和空穴的復合情況。如果界面處存在缺陷和雜質，它們會成為電子和空穴復合的中心，從而降低了電池的效率。因此，優化界面結構的缺陷和雜質是提高太陽能電池效率的重要手段。綜上所述，太陽能異質結中的界面結構對電池性能有著重要的影響。優化界面結構可以提高電池的效率，從而推動太陽能電池的發展。異質結電池PECVD電源以RF和VHF為主。北京高效異質結鍍膜設備

光伏異質結的制造工藝包括薄膜沉積、熱處理、光刻等步驟，具有靈活性高、可定制化的優點。北京高效異質結鍍膜設備

異質結電池技術路線，發電量高：低溫度意味著在組件高溫運行環境中，HJT電池具有相對較高的發電性能，從而實現發電量增益、降低系統的度電成本；若考慮電池工作溫度超出環境溫度10-40℃,而全年平均環境溫度相比實驗室標準工況低5-10℃，HJT電池每W發電量高出雙面PERC電池約0.6%-3.9%。優勢五：雙面率高HJT正反面結構對稱，而且TCO薄膜是透光的，天然就是雙面電池；HJT的雙面率能達到90%以上(能達到98%)，雙面PERC的雙面率約為75%+；據solarzoom測算，考慮10%-20%的背面輻照及電池片雙面率的差異，HJT電池單瓦發電量高出雙面PERC電池約2%-4%。優勢六：弱光效應HJT電池采用N型單晶硅片，而PERC電池采用P型單晶硅片在600W/m以下的輻照強度；N型相比P型的發電表現高出1%-2%左右，HJT電池因弱光效應而在每W發電量上高出雙面PERC電池約0.5-1.0%左右。北京高效異質結鍍膜設備