在半導體刻蝕設備中，隨著大規模集成電路集成度的不斷提高以及半導體特征尺寸不斷縮少，等離子體刻蝕技術面臨了許多新的挑戰，例如等離子刻蝕晶圓帶來的污染問題、刻蝕工藝的穩定性、刻蝕技術的應用范圍等。刻蝕機腔室材料作為晶圓污染的主要來源，等離子刻蝕對其影響程度決定了晶圓的良率、質量、刻蝕工藝的穩定性等等。因此，研究和開發出一種極其耐刻蝕腔體材料成為半導體集成產業以及等離子刻蝕技術中一項極具挑戰的任務。當前，主要采用高純Al2O3涂層或Al2O3陶瓷作為刻蝕腔體和腔體內部件的防護材料。除了腔體以外，等離子體設備的氣體噴嘴，氣體分配盤和固定晶圓的固定環等也需用到氧化鋁陶瓷。選擇氧化鋁陶瓷應該注意什么？常州卡奇告訴您。常州防腐氧化鋁陶瓷表面處理

氧化鋁陶瓷的主要特性及應用：1.由于她有耐高溫、耐腐蝕、高度度等特性，所以很好的運用在了耐火材料、陶瓷、煉鐵高爐的內襯;火花賽、耐高溫抗氧化涂層。2.由于它有硬度大、耐磨性能好、抗壓強度高的特性，在化工系統中也被普遍的應用。3.氧化鋁屬于離子型，結構穩定。因此在電子行業中也被普遍用。4.氧化鋁陶瓷產品氣密性好，即使在耐高溫下也嚴密不透氣，因此被普遍運用到電真空中。5.氧化鋁陶瓷保溫材料也被普遍運用于各類耐高溫爐窯的爐墻及爐頂，既耐高溫又保溫。蘇州不沾涂層氧化鋁陶瓷處理方法氧化鋁陶瓷的制作方法難嗎？常州卡奇告訴您。

氧化鋁陶瓷分為高純型與普通型兩種高純型氧化鋁陶瓷系Al2O3含量在99.9%以上的陶瓷材料，由于其燒結溫度高達1650—1990℃，透射波長為1～6μm，一般制成熔融玻璃以取代鉑坩堝。利用其透光性及可耐堿金屬腐蝕性用作鈉燈管;在電子工業中可用作集成電路基板與高頻絕緣材料。普通型氧化鋁陶瓷系按Al2O3含量不同分為99瓷、95瓷、90瓷、85瓷等品種，有時Al2O3含量在80%或75%者也劃為普通氧化鋁陶瓷系列。氧化鋁陶瓷管其中99氧化鋁瓷材料用于制作高溫坩堝、耐火爐管材料，如陶瓷軸承、陶瓷密封件及水閥片等;95氧化鋁瓷主要用作耐腐蝕部件。85瓷中由于常摻入部分滑石，提高了電性能與機械強度，可與鉬、鈮、鉭等金屬封接，有的用作電真空裝置器件。氧化鋁陶瓷制品成型方法有干壓、注漿、擠壓、冷等靜壓、注射、流延、熱壓與熱等靜壓成型等多種方法。

    氧化鋁材料的性能與特點：1.硬度大經中科院上海硅酸鹽研究所測定，其洛氏硬度為HRA80-90，硬度只次于金剛石，遠遠超過耐磨鋼和不銹鋼的耐磨性能。2.耐磨性能極好經中南大學粉末冶金研究所測定，其耐磨性相當于錳鋼的266倍，高鉻鑄鐵的。根據我們十幾年來的客戶跟蹤調查，在同等工況下，可至少延長設備使用壽命十倍以上。3.重量輕其密度為，只為鋼鐵的一半，可很大減輕設備負荷。氧化鋁陶瓷作為先進陶瓷中應用廣的一種材料，伴隨著整個行業的發展呈現以下發展趨勢:(1)技術裝備水平將快速提高:計算機技術和數字化控制技術的發展促進了先進陶瓷材料工業的技術進步和快速發展，諸如自動控制連續燒結窯爐、大功率大容量研磨設備、高性能制粉造粒設備等凈壓成型設備等先進的成套設備有利地推動了行業整體水平的提高，同時在生產效率、產品質量等方面也都明顯改善;(2)產品質量水平不斷提高:國內微晶氧化鋁陶瓷制品從無到有，產業規模從小到大，產品質量從低到較高，經歷了一個快速發展的歷程;(3)產業規模將迅速擴大:微晶氧化鋁陶瓷制品作為其它行業或領域的基礎材料，受著其它行業發展水平的影響和限制。從氧化鋁陶瓷的應用情況看，應用范圍越來越寬，用量越來越大。 氧化鋁陶瓷的應用范圍十分廣闊。歡迎來電咨詢常州卡奇！

氧化鋁陶瓷是一種以氧化鋁(Al2O3)為主體的陶瓷材料，是一種用途普遍的陶瓷，具有較好的絕緣性、機械強度和耐高溫性。氧化鋁陶瓷分為高純型與普通型兩種：高純型氧化鋁陶瓷系Al2O3含量在99.9%以上的陶瓷材料，由于其燒結溫度高達1650-1990℃，透射波長為1~6μm，一般制成熔融玻璃以取代鉑坩堝;利用其透光性及可耐堿金屬腐蝕性用作鈉燈管;在電子工業中可用作集成電路基板與高頻絕緣材料。普通型氧化鋁陶瓷系按Al2O3含量不同分為99瓷、95瓷、90瓷、85瓷等品種，有時Al2O3含量在80%或75%者也劃為普通氧化鋁陶瓷系列。其中99氧化鋁瓷材料用于制作高溫坩堝、耐火爐管及特殊耐磨材料，如陶瓷軸承、陶瓷密封件及水閥片等;95氧化鋁瓷主要用作耐腐蝕、耐磨部件。氧化鋁陶瓷的生產廠家。歡迎來電咨詢常州卡奇！蘇州表面氧化鋁陶瓷

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氧化鋁陶瓷制品成型方法有干壓、注漿、擠壓、冷等靜壓、注射、流延、熱壓與熱等靜壓成型等多種方法。近幾年來國內外又開發出壓濾成型、直接凝固注模成型、凝膠注成型、離心注漿成型與固體自由成型等成型技術方法。將顆粒狀陶瓷坯體致密化并形成固體材料的技術方法叫燒結。燒結即將坯體內顆粒間空洞排除，將少量氣體及雜質有機物排除，使顆粒之間相互生長結合，形成新的物質的方法。燒成使用的加熱裝置普遍使用電爐。除常壓燒結外，還有熱壓燒結及熱等靜壓燒結、微波燒結法、電弧等離子燒結法、自蔓延燒結技術等。常州防腐氧化鋁陶瓷表面處理