根據探針測試需要，XY 精密工作臺的技術要 求為：XY 向行程160 mm；精度±0.008 mm；重復 定位精度±0.003 mm；分辨率0.001 mm。在結構 設計時，為達到上述精密控制要求選用伺服電機 驅動，全閉環運動控制；整個工作臺需要放置于真 空腔體內，結構緊湊合理的工作臺結構可以有效 地減小真空腔體設計尺寸，XY 工作臺結構采用 絲杠、交叉滾子導軌組合形式。其中Y 向絲杠采 用偏置方式；X 向絲杠采用對稱方式。對于電機、絲杠、導軌等外購件，選型號時，需 要考慮溫度、濕度、腐蝕性等特種環境下運行情 況，要求在高真空狀態下材料不能逸出空氣，外購 件內部、外部不能有揮發性油脂。如果沒有合適的 型號滿足上述要求，需要對相應外購件加裝特制 密封罩。探針臺開展的研究和觀測任務需要高精度的儀器和設備。湖北真空溫控探針臺生產商

探針臺的作用是什么？探針臺可以將電探針、光學探針或射頻探針放置在硅晶片上，從而可以與測試儀器/半導體測試系統配合來測試芯片/半導體器件。晶圓檢測是半導體制造中必不可少的步驟，選擇合適的晶圓探針臺和探針來進行晶圓檢測也很重要。克洛諾斯較新自主研發的超精密氣浮運動平臺具有極高精度和運動穩定性，讓系統在快速運行時，能準確識別和測量出晶圓的種種缺陷，較大程度上提高晶圓檢測效率。注：這里我們主要以射頻探針臺為例總結探針臺的應用。以RF微波射頻在片測試為例，在片測量是指使用探針直接測量晶圓（Wafer）或裸芯片（Chip）的微波射頻參數。相比于常規的鍵合/封裝后的測量，微波射頻在片測量消除了封裝及鍵合絲引入的寄生參數，可以更準確的反應被測芯片的射頻特性。微波射頻在片測量普遍應用于器件建模、芯片檢驗等領域。湖北真空溫控探針臺生產商探針臺的建設需要科學家們共同匯聚自己的智慧。

承片臺結構設計要具有實現自動對準的茲 向 旋轉，茲 向旋轉的分度精度要求非常高，在150 mm (6 英寸)晶圓上的分度精度要臆0.05° ；為了實現與探針的緊密接觸穩定地抬升、有效地達到接觸 位置的精度，抬升機構的進給精度要高，同時承片 臺要具備極高的剛性，而且在150 mm 的臺面上 剛度一致是非常重要的。通過在Z 軸方向的往復 移動，實現高剛性、穩定的探針接觸。承片臺旋轉結構在設計上采用THK 超精密 交叉滾柱軸環RB 型（外圈分隔，內環旋轉）支撐 旋轉。在交叉滾柱軸環中，因圓柱形滾柱在呈 90° 的V 形溝槽滾動面上通過間隔保持器被相互垂直排列。使得單個軸承就可承受徑向、軸向及 力矩負荷等所有方向的負荷，具有很高的剛性。又 由于內圈或外圈是分隔的構造，軸承間隙可調整。

重復定位探針先進的過程，直到測試完所有必需的設備。這個過程都可以由操作員手動完成，但如果載物臺和機械手是電動的，并且顯微鏡連接到計算機視覺系統，那么這個過程可以變成半自動或全自動。這可以提高探針臺的生產力和吞吐量，并減少運行多個測試所需的勞動力。作為半導體封測行業三大設備之一，探針臺主要應用于半導體行業以及光電行業的晶圓、芯片等器件的測試，研發難度大，國產化率低，進口依賴度高，它的品質和精度直接決定測試可靠性與否。探針臺加工廠家潮濕的環境及長時期保養不當將很容易使定子發生銹蝕現象。探針臺的建設和運行需要具備高度的專業素養和嚴謹性。

探針臺的維護和保養：1.避免碰撞：在安裝，操作探針臺時應避免碰撞，機體放置需平坦，不可傾斜或橫倒，避免機器發生故障或異常異音。2.儀器的運輸：儀器運輸時，請先拔掉電源線插頭。儀器運輸應使用專門的包裝箱，避免碰到探針臺的任何運動部件。3.儀器的存放使用完后需要注意保持清潔，盡量把灰塵吹干盡，以免灰塵將機械精密部件，光學部件，電學接觸面污染，導致儀器精度降低。探針臺機體清潔時，避免直接潑水清理，以無塵布輕輕擦拭并吹干即可。探針臺能夠觀測到宇宙的細微之處，為人類探索宇宙提供了重要的線索。湖北真空溫控探針臺生產商

探針臺的發展需要國際合作和共同努力。湖北真空溫控探針臺生產商

探針測試臺x-y工作臺的分類，縱觀國內外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異，即主要由x-y向工作臺，可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成，并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結構的不同可為兩大類，即:以美國EG公司為表示的平面電機型x-y工作臺(又叫磁性氣浮工作臺)自動探針測試臺和以日本及歐洲國家生產的采用精密滾珠絲杠副和直線導軌結構的x-y工作臺型自動探針測試臺。由于x-y工作臺的結構差別很大，所以其使用維護保養不可一概而論，應區別對待。湖北真空溫控探針臺生產商