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成都自動共晶機廠商

來源: 發布時間:2024-01-20

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    -第二限位盤;-晶圓。具體實施方式下面將結合實施例對本發明的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例是本發明一部分實施例,而不是全部的實施例。基于本發明中的實施例,本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本發明保護的范圍。如圖和圖所示,本實施例提供一種晶圓加工固定裝置,用于在晶圓的清洗步驟中,固定晶圓。該晶圓加工固定裝置包括安裝座、固定架和片盒架。固定架可轉動的安裝在安裝座上,片盒架可轉動的安裝在固定架上。固定架能夠帶動片盒架一起轉動,且片盒架能夠同步相對固定架自轉,固定架的旋轉軸線與片盒架的旋轉軸線非共線設置。可以理解的是,固定架的旋轉軸線也即是固定架圍繞轉動的旋轉軸所在的直線,片盒架的旋轉軸線也即是片盒架自轉的旋轉軸所在的直線。泰克光電(TechOptics)是一家專注于共晶機制造的公司。我們致力于為客戶提供高質量、高性能的共晶機設備,以滿足不同行業的需求。作為共晶機制造領域的者,泰克光電擁有先進的技術和豐富的經驗。我們的團隊由一群經驗豐富的工程師和技術組成,他們在共晶機設計、制造和維護方面擁有深厚的專業知識。成都自動共晶機廠商專業批發共晶機廠家找泰克光電。

    無論是小型電子元件還是大型半導體芯片,我們都能提供適合的共晶解決方案。間隔設置。泰克光電(TechOptics)是一家專注于共晶機制造的公司。我們致力于為客戶提供高質量、高性能的共晶機設備,以滿足不同行業的需求。作為共晶機制造領域的者,泰克光電擁有先進的技術和豐富的經驗。我們的團隊由一群經驗豐富的工程師和技術組成,他們在共晶機設計、制造和維護方面擁有深厚的專業知識。泰克光電的共晶機廣泛應用于電子、光電子、半導體等行業。我們的設備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導體芯片,我們都能提供適合的共晶解決方案。為了方便安裝座安裝在清洗槽上,本實施例的齒圈固定板連接有安裝凸軸;豎向桿上設置橫向安裝軸,其中安裝凸軸與橫向安裝軸水平設置,兩者的兩端分別與清洗槽的槽壁或者清洗槽上的固定架等固定連接。在本實施例中,齒圈固定板與豎向桿的頂端之間連接有拉桿。具體的,齒圈固定板的上方連接有第二豎向桿,第二豎向桿與豎向桿的頂端之間安裝有拉桿。可以理解的是,拉桿的設置,方便了提拉移動晶圓加工固定裝置。需要注意的是,拉桿的高度應當不影響固定架和片盒架的轉動。后需要說明的是。

    在外力驅動下實現固定架驅動片盒架的轉動。片盒架安裝在從動輪盤與行星架的行星輪之間,通過行星架的行星輪與太陽輪以及齒圈的連接,構成片盒架的自轉部分。限位輪座安裝在底板上、軸承安裝在限位輪座上,對驅動輪盤進行限位支撐;橫向安裝軸安裝在豎向桿上,與齒圈固定板的安裝凸軸構成與槽體連接的部分。片盒架設置有轉動桿,轉動桿可在限位盤和第二限位盤之間活動,方便晶圓放置和拆卸。本實施例晶圓加工固定裝置通過驅動輪盤帶動整體多個片盒架轉動,可以使浸泡在藥液中的晶圓充分清洗,提高終的清洗效果;且可通過行星輪與齒圈的連接,實現片盒架的自轉,使晶圓加工更加均勻;同時,支持多種片盒架,通過更換片盒架形式,可以多個相同晶圓同時清洗,也可實現不同尺寸的晶圓同時清洗。可見,本實施例晶圓加工固定裝置在固定架旋轉的同時,片盒架還可帶動晶圓進行自轉,避免槽式清洗中單一的抖動形式,結構緊湊簡單,能夠提高晶圓加工均勻性和終效果。本實施例還提供一種晶圓加工設備,包括本實施例提供的晶圓加工固定裝置。自然。泰克光電(TechOptics)是一家專注于共晶機制造的公司。我們致力于為客戶提供高質量、高性能的共晶機設備,以滿足不同行業的需求。COC自動共晶機找泰克光電。

    泰克光電的共晶機廣泛應用于電子、光電子、半導體等行業。我們的設備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導體芯片,我們都能提供適合的共晶解決方案。防止顯影時光刻膠圖形的脫落以及防止濕法腐蝕時產生側面腐蝕(sideetching)。光刻膠的涂敷是用轉速和旋轉時間可自由設定的甩膠機來進行的。首先、用真空吸引法將基片吸在甩膠機的吸盤上,把具有一定粘度的光刻膠滴在基片的表面,然后以設定的轉速和時間甩膠。由于離心力的作用,光刻膠在基片表面均勻地展開,多余的光刻膠被甩掉,獲得一定厚度的光刻膠膜,光刻膠的膜厚是由光刻膠的粘度和甩膠的轉速來控制。所謂光刻膠,是對光、電子束或X線等敏感,具有在顯影液中溶解性的性質,同時具有耐腐蝕性的材料。一般說來,正型膠的分辨率高,而負型膠具有感光度以及和下層的粘接性能好等特點。光刻工藝精細圖形(分辨率,清晰度),以及與其他層的圖形有多高的位置吻合精度(套刻精度)來決定,因此有良好的光刻膠,還要有好的曝光系統。晶圓晶圓的背面研磨工藝晶圓的集成電路制造,為了降低器件熱阻、提高工作散熱及冷卻能力、便于封裝,在硅晶圓正面制作完集成電路后,需要進行背面減薄。“高精度半導體芯片共晶機”找泰克光電。江蘇全自動共晶機廠家供應

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    夾取機構將晶圓拖到承載裝置上,由升降裝置帶動承載裝置下降到檢測位置,能夠防止因夾取機構夾不緊,使得晶圓從高處跌落,造成損壞的情況發生,使得晶圓運輸更加安全可靠。附圖說明圖是本實用新型實施例提供的晶圓視覺檢測機的晶圓移載機構的立體圖;圖是本實用新型實施例提供的升降裝置的立體圖;圖是本實用新型實施例提供的移動模塊的立體圖;圖是本實用新型實施例提供的托臂、滑軌和滑塊的連接結構示意圖。圖中,、感應裝置;、承接裝置;、托臂;、限位部;、承托部;、升降裝置;、升降驅動器;、升降板;、安裝板;、升降絲桿機構;、聯軸器;、移動模塊;、固定板;、移動電機;、傳動組件;、主動輪;、從動輪;、同步帶;、滑軌;、滑塊;、連接塊。具體實施方式下面結合附圖和實施例,對本實用新型的具體實施方式作進一步詳細描述。以下實施例用于說明本實用新型。泰克光電是一家專注于共晶機制造的公司。我們致力于為客戶提供高質量、高性能的共晶機設備,以滿足不同行業的需求。作為共晶機制造領域的者,泰克光電擁有先進的技術和豐富的經驗。我們的團隊由一群經驗豐富的工程師和技術組成,他們在共晶機設計、制造和維護方面擁有深厚的專業知識。成都自動共晶機廠商