如何選擇真空計?考慮測量范圍與精度:不同的真空計有不同的測量范圍,需要根據實際需求選擇。例如,熱陰極電離真空計適用于高真空環境(10-11 mbar),而熱阻式真空計則適用于氣壓在10-9 mbar范圍內的測量。精度是選擇真空計時需要考慮的另一個重要因素。需要根據物體不同的尺寸、物理量等來選擇精度要求更高的真空計??紤]被測氣體與環境:部分真空計對被測氣體有要求。例如,熱陰極電離真空計的陰極易受過量空氣及泵油蒸氣等污染物的損害,因此需要考慮被測氣體是否會對真空計造成損傷。部分真空計會影響被測環境。例如,壓縮式真空計在測量時要壓縮被測氣體,這可能會使水蒸氣凝結,從而影響被測真空環境。真空計按原理可以分哪幾類?四川mems電容真空計設備供應商
真空計按測量原理分類
靜態液位真空計測量原理:利用U型管兩端液面差來測量壓力。彈性元件真空計測量原理:利用與真空相連的容器表面受到壓力的作用而產生彈性變形來測量壓力值的大小。但直接測量這樣小的力是困難的,因此可根據低壓下與氣體壓力有關的物理量的變化來間接測量壓力的變化。壓縮式真空計測量原理:在U型管的基礎上應用波義耳定律,即將一定量待測壓力的氣體,經過等溫壓縮使之壓力增加,以便用U型管真空計測量,然后用體積和壓力的關系計算被測壓力。熱傳導真空計測量原理:利用低壓下氣體熱傳導與壓力有關的原理制成。示例:電阻真空計、熱偶真空計等。熱輻射真空計測量原理:利用低壓下氣體熱輻射與壓力有關的原理。 四川皮拉尼真空計生產廠家皮拉尼真空計是一種測量真空壓力的儀器,它是根據皮拉尼原理制成的。
根據測量原理的不同,真空計可以分為多種類型:波爾登規:利用細銅管在不同氣壓下的舒展現象進***壓測量。薄膜電容規:利用金屬膜片在不同壓力下變形導致的電容變化進***壓測量。皮拉尼電阻規:利用電阻與溫度之間的關系,通過測量加熱電阻絲的溫度變化來推算氣壓。熱電偶規:與皮拉尼電阻規基本原理一致,但用熱電偶直接測量熱絲的溫度變化。熱陰極電離規:通過發射電子電離真空中的氣體分子,產生離子,并測量離子電流的大小來推算氣壓。冷陰極電離規:利用磁控放電電離氣體分子產生離子,并測量離子電流的大小來推算氣壓。
真空計的歷史沿革1946年:,是一種***型高真空真空計。。1948年:,是典型的一類氣體組分與分壓強測量的真空計。1949年:、、,也是測量氣體組分及分壓強的一類重要的真空計。1950年:(又稱熱陰極超高真空電離真空計),解決了超高真空測量問題,推動了超高真空技術的發展。1951年:、、,是一種與氣體種類無關的***型真空計。1953年:、,此類真空計**小可檢測分壓強達10^-14Pa。1957年:德國人、高壓強電離真空計,盡量利用離子流的較好的線性等優點來代替熱傳導規的不足。1959年:,制造工藝過于復雜難以推廣應用。1960年以來:相繼研制成功的調制規、抑制規、彎注規、分離規和磁控式電離規等已能實現10^-11Pa左右的超高真空測量。七十年代后的二三十年:真空測量技術領域在新原理方面沒有出現明顯突破性的進展,較多的是在基本清晰的原理思路上的改進與補充,處于一個相對穩定的時期。 真空計有哪幾種常見的類型?
金屬薄膜真空計是一種基于金屬薄膜在真空中阻力變化或熱傳導特性來測量壓力的真空計。以下是對金屬薄膜真空計的詳細介紹:一、基本原理金屬薄膜真空計利用金屬薄膜在真空中的特定物理性質來測量壓力。具體來說,有兩種主要的工作原理:阻力變化原理:當氣體分子撞擊金屬薄膜時,會產生微小的壓力變化,這種變化會影響薄膜振蕩的固有頻率,從而間接測量壓力大小。這種方法通常用于高真空環境下的測量,因為在此環境下,氣體分子對薄膜的撞擊作用更加明顯。熱傳導原理:金屬薄膜真空計還可以利用真空中的熱傳導特性來測量氣壓。當薄膜暴露在低壓氣氛中時,會發生熱量損失,損失的熱量與氣壓成正比。通過測量熱量損失,可以計算出真實的氣壓值。這種方法通常涉及一個加熱元件(如熱陰極)和一個金屬薄膜,加熱元件發射的電子在真空中運動并撞擊薄膜,從而產生熱量損失。如何減少電磁干擾對皮拉尼真空計的影響?四川mems電容真空計多少錢
真空計種類那么多,應該如何選擇?四川mems電容真空計設備供應商
不同類型的真空計采用不同的物理機制進行測量,主要包括以下幾類:
利用氣體動力學效應的真空計:如皮拉尼電阻規和熱電偶規,它們利用氣體在流動過程中產生的熱效應或電效應來測量真空度。皮拉尼電阻規是利用電阻與溫度之間關系的原理工作的,由于不同氣壓下氣體分子熱傳導能力不同,當給熱絲加恒定的電流時,由于氣壓不同通過氣體傳導走的熱量不同,熱絲所保持的溫度就不同,這導致熱絲電阻大小不同,通過測量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小。熱電偶規與皮拉尼電阻規基本原理一致,只是它不用測量熱絲電阻的變化,而是用熱電偶直接測量熱絲的溫度變化。
利用帶電粒子效應的真空計:如熱陰極電離規和冷陰極電離規,它們通過測量氣體分子在電離過程中產生的電流來推算真空度。這類真空計在高真空領域具有極高的測量精度。 四川mems電容真空計設備供應商