幾種主要類型真空計的詳細介紹和對比
真空計按真空度刻度方法分類
真空計測量原理:直接讀取氣體壓力,其壓力響應(刻度)可通過自身幾何尺寸計算出來或由測力確定。特點:對所有氣體都是準確的,且與氣體種類無關。示例:U型鎊壓力計、壓縮式真空計、熱輻射真空計等。相對真空計測量原理:由一些與氣體壓力有函數關系的量來確定壓力,不能通過簡單的計算進刻度,必須進行校準才能刻度。特點:讀數與氣體種類有關。示例:熱傳導真空計、電離真空計等。 真空計如何選型與使用?廣東金屬電容薄膜真空計
真空計按測量原理分類
靜態液位真空計測量原理:利用U型管兩端液面差來測量壓力。彈性元件真空計測量原理:利用與真空相連的容器表面受到壓力的作用而產生彈性變形來測量壓力值的大小。但直接測量這樣小的力是困難的,因此可根據低壓下與氣體壓力有關的物理量的變化來間接測量壓力的變化。壓縮式真空計測量原理:在U型管的基礎上應用波義耳定律,即將一定量待測壓力的氣體,經過等溫壓縮使之壓力增加,以便用U型管真空計測量,然后用體積和壓力的關系計算被測壓力。熱傳導真空計測量原理:利用低壓下氣體熱傳導與壓力有關的原理制成。示例:電阻真空計、熱偶真空計等。熱輻射真空計測量原理:利用低壓下氣體熱輻射與壓力有關的原理。 河南金屬電容薄膜真空計生產廠家電容真空計在哪些領域有應用?
陶瓷薄膜真空計在多個領域有著廣泛的應用,包括但不限于:半導體制造:在半導體制造過程中,陶瓷薄膜真空計用于監測真空度,確保氣氛純凈并排除雜質,從而提高芯片的質量和可靠性。真空冶金:在真空冶金領域,陶瓷薄膜真空計用于確保加工環境的純度和穩定性,以提高冶金產品的質量和可靠性??茖W研究:在物理學、化學、材料科學等領域的研究中,陶瓷薄膜真空計用于監測真空度,確保實驗環境的準確性和穩定性。航空航天:在航空航天領域,陶瓷薄膜真空計用于監測太空艙內的真空度,確保航天員的生命安全和設備的正常運行。醫療設備:在醫療設備的制造和維護過程中,陶瓷薄膜真空計用于監測放射設備中的真空環境等,確保其正常工作。
按測量原理分類
電離真空計測量原理:利用低壓下氣體分子被荷能粒子碰撞電離,產生的離子流隨電力變化的原理。示例:熱陰極電離真空計、冷陰極電離真空計、放射性電離真空計等。放電管指示器測量原理:利用氣體放電情況和放電顏色與壓力有關的性質判定真空度,一般能作為定性測量。粘滯真空計測量原理:利用低壓下氣體與容器壁的動量交換即外摩擦原理。示例:振膜式真空計、磁懸浮轉子真空計等。場致顯微儀測量原理:以吸附和解吸時間與壓力關系計算壓力。分壓力真空計測量原理:利用質譜技術進行混合氣體分壓力測量。示例:四極質譜計、回旋質譜計、射頻質譜計等。 皮拉尼真空計是一種用于測量真空壓力的儀器。
真空計可以按照測量原理、結構特點以及使用范圍等進行分類。其中,按照測量原理分類是最常見的方式。不同類型的真空計具有不同的測量范圍和精度。例如:波爾登規的測量范圍一般在100Pa至1atm。薄膜電容規的測量范圍一般橫跨4個量級,比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。皮拉尼電阻規和熱電偶規的測量范圍一般在0.1Pa至1000Pa。熱陰極電離規的測量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa,經改進后的熱陰極電離規(如Bayard-Alpert規)可以將測量下限降低至1.0E-09Pa。冷陰極電離規的測量范圍一般為1.0E-07Pa至0.1Pa。真空計的讀數可能會受到外部環境因素的影響。杭州電容薄膜真空計設備供應商
電容真空計的工作原理是怎樣的?廣東金屬電容薄膜真空計
皮拉尼真空計在多個領域有著廣泛的應用,包括但不限于:
化學工業:用于監測化學反應過程中的真空度變化。電子與微電子領域:用于半導體制造和微電子器件生產過程中的真空度測量。氣相沉積:用于監測氣相沉積過程中的真空度變化。電子束焊接:用于電子束焊接過程中的真空度測量。真空冶金:用于真空冶金過程中的真空度監測。此外,皮拉尼真空計還常用于監測從大氣到高真空區域開始的泵送過程(如渦輪分子泵或其他高真空泵接管該區域)、在真空冶金行業(在受控環境中制造的高純度合金)中確保不同薄膜涂層系統的工藝一致性和優化等方面。 廣東金屬電容薄膜真空計