此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面難以清理。相對濕度越高,粘附的越難去掉，但當相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導體器件容易發生擊穿。對于硅片生產比較好濕度范圍為35—45%。氣壓規定：對于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓）。壓力差的維持一般應符合以下原則：1．潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。2.潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。壓力差的維持依靠新風量，這個新風量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。凈化工程通常包含多個步驟，從污染源識別、污染物質分析。福建定制凈化工程分類

醫院應用潔凈環境的潔凈手術室，是用空氣潔凈技術取代傳統的紫外線等手段對全過程實行污染控制的現代手術室。在潔凈手術室內，患者率可降低10倍以上，從而可以少用或不用會傷害患者免疫系統的。既要無塵又要無菌是潔凈手術室的特點。醫院潔凈室包括手術室、產科、嬰幼兒病房、ICU(重癥監護室)、燒傷病房及解剖室、凈化實驗室、人工透析室、標本室等，其工程質量與醫療質量有著直接而重要的關系。如對某醫院潔凈室做含塵濃度檢測時，突然發現塵濃普遍急劇上升，超標嚴重。工程人員首先想到的是過濾器風口漏，經檢查，雖然發現確實有漏，但和檢測出的塵濃數量不相當。根據經驗判斷，這是新風口設計不當，由于設在5層樓頂上向下的新風口，其下方正好有一垃圾站，而該垃圾站有定期燒垃圾的習慣，大量濃塵正是來自新風口下方冒出的濃煙。江西凈化工程定做價格功能則體現在對空氣、水質等環境因素的持續監測與調控。

例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間溫度不宜超過25度，濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結露，如果發生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。

單向流潔凈室一般有兩種類型，即水平流和垂直流。在水平流系統中，氣流是從一面墻流向另一面墻。在垂直流系統中，氣流是從吊頂流向地面。對要求潔凈室的懸浮粒子濃度或微生物濃度更低的場合，就使用單向氣流。以前稱這類潔凈室為“層流”潔凈室。單向流和層流的名稱均說明了其氣流的狀況：氣流以一個方向流動（或是垂直的或是水平的），并以一般是0.3米/秒至0.5米/秒（60英尺/分鐘至100英尺/分鐘）的均速流過整個空間。由滿布潔凈室吊頂的高效過濾器向室內送風。氣流有如一個空氣活塞，向向下的方向流經室內，帶走污染物，然后從地面排出。又在與外部的一些新鮮空氣混合后，再循環至高效過濾器！降低生產過程中的污染風險，從而提高企業的綜合效益。

潔凈隧道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響工作及品質。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優點：A.彈性擴充容易；B.維修設備時可在維修區輕易執行。潔凈管道(CleanTube)：將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔凈度，可節省能源，不需人工的自動化生產線為較適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用?？梢愿鶕髽I的實際需求進行調整和優化。中國臺灣電子廠凈化工程分類

能夠為客戶提供多樣化的凈化工程選擇，并根據客戶的具體情況制定合適的方案。福建定制凈化工程分類

潔凈室中的溫濕度控制潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間溫度不宜超過25度。福建定制凈化工程分類