潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細(xì),所以對溫度波動(dòng)范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢Ξa(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間溫度不宜超過25度,濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。相對濕度在50%時(shí)易生銹。此外,濕度太高時(shí)將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以清理。提升空氣、水質(zhì)等環(huán)境因素的純凈度。內(nèi)蒙古實(shí)驗(yàn)室凈化工程
說到國內(nèi)凈化工程行業(yè)的市場競爭,主要由價(jià)格競爭轉(zhuǎn)向價(jià)值競爭。這里以電子產(chǎn)品的凈化車間為例,這類產(chǎn)品目前正在往集成化、精密化、微型化、功能化方面轉(zhuǎn)變,因而對元器件的可靠性有著嚴(yán)格要求,對凈化車間的要求也愈發(fā)嚴(yán)格。對于精密的電子元器件而言,微量的灰塵或靜電就足以導(dǎo)致其良品率的大幅降低,進(jìn)而影響到公司的效益。就拿硬盤磁頭的靜電壓閾值來說,目前已到3V以內(nèi),封裝環(huán)境要求達(dá)到Class10甚至Class1的水平。要做到集成化、精密化、微型化、功能化,那么成本價(jià)格自然會(huì)提升,所以價(jià)格競爭顯然已不適用,而是要轉(zhuǎn)向價(jià)值競爭才行。青海潔凈廠房凈化工程安裝確保工程實(shí)施過程中的順暢與高效。
潔凈室中的氣流速度規(guī)定這里要討論的氣流速度是指潔凈室內(nèi)的氣流速度,在其他潔凈空間中的氣流速度在討論具體設(shè)備時(shí)再說明。對于亂流潔凈室由于主主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內(nèi)污染的程度,所以主要用換氣次數(shù)這一概念,而不直接用速度的概念,不過對室內(nèi)氣流速度也有如下要求;(1)送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大,和單純空調(diào)房間相比,要求速度衰減更快,擴(kuò)散角度更大。(2)吹過水平面的氣流速度(例如側(cè)送時(shí)回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返氣流,而造成再污染,這一速度一般不宜大干0.2m/s
還有一個(gè)值得注意的問題是,近些年來我國南方如佛山、廣州以及華東的上海、蘇州等地冬季室外空氣相對濕度較“規(guī)范”給出的室外空調(diào)計(jì)算相對濕度要低,例如:冬季室外計(jì)算相對濕度佛山無塵室、廣州均為70%,上海和蘇州為75%,而這些年實(shí)測的室外相對濕度有時(shí)只有30%左右,因此,建起來運(yùn)行的潔凈室的加濕量不足,室內(nèi)相對濕度偏低,達(dá)不到設(shè)計(jì)要求。有的工廠為了簡便和省錢,在原空調(diào)器內(nèi)增加濕膜或噴霧進(jìn)行加濕以加大加濕量。但是,事與愿違,不但加不進(jìn)去濕量而且加進(jìn)去的還會(huì)很快飽和變?yōu)槟Y(jié)水析出來,而達(dá)不到加濕目的。因?yàn)椋瑵衲ず透邏簢婌F屬等焓加濕過程,加濕前的空調(diào)空氣必須加熱到一定溫度后再加濕才能達(dá)到加濕目的。如果不進(jìn)行加熱是不可行的
旨在通過一系列技術(shù)手段,消除或降低環(huán)境中的污染物質(zhì)。
噪聲控制:潔凈室噪聲標(biāo)準(zhǔn)一般均嚴(yán)于保護(hù)健康的標(biāo)準(zhǔn),目的在于保障操作正常進(jìn)行,滿足必要的談話聯(lián)系及安全舒適的工作環(huán)境。因此衡量潔凈室的噪聲主要指標(biāo)是:1.煩惱的效應(yīng)由于噪聲,使人感到不安寧而產(chǎn)生煩惱情緒,一般分為極安靜、很安靜、較安靜、稍嫌吵鬧,比較吵鬧和極吵鬧7個(gè)煩惱等級(jí)。凡反應(yīng)水平屬于很吵鬧和極吵鬧者,即為高煩惱,高煩惱人數(shù)在總?cè)藬?shù)中的百分比即為高煩惱率。2.對工作效率的影響這主要看三方面的反應(yīng)水平,這三個(gè)方面是:集中精神,動(dòng)作準(zhǔn)確性,工作速度;3.對綜合通訊的干擾這主要分為:清楚或滿意,稍困難,困難,不可能對以上三方面指標(biāo)都用A聲級(jí)來評價(jià)。在50年代曾提出用一條頻譜曲線作為評價(jià)標(biāo)準(zhǔn)即各頻帶中心頻率的聲壓級(jí)不得超過該曲線。后來了解到刷A等級(jí)來計(jì)量噪聲與噪聲的語音干擾和煩惱程度更為臺(tái)適,可以代替倍頻帶聲壓級(jí)作為評價(jià)標(biāo)準(zhǔn)的指標(biāo)。贏得了眾多客戶的信賴與好評。內(nèi)蒙古實(shí)驗(yàn)室凈化工程
對于需要嚴(yán)格控制環(huán)境質(zhì)量的場所尤為關(guān)鍵。內(nèi)蒙古實(shí)驗(yàn)室凈化工程
例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢Ξa(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間溫度不宜超過25度,濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。相對濕度在50%時(shí)易生銹內(nèi)蒙古實(shí)驗(yàn)室凈化工程