附圖標記說明01：工藝盤1：工藝盤轉軸2：驅動襯套210：***襯套部211：驅動通孔211a：避讓槽220：第二襯套部221：軸通孔222：定位凸起3：驅動軸310：驅動連接部320：驅動軸體部311：定位平面312：圓柱面4：傳動筒41：內凸臺結構42：外凸臺結構43：擋環槽5：密封襯套6：波浪管7：擋環8：調平件9：傳動架91：傳動法蘭92：法蘭連接件10：軸承座101：上法蘭102：下法蘭11：升降機構12：電機13：定位塊具體實施方式以下結合附圖對本實用新型的具體實施方式進行詳細說明。應當理解的是，此處所描述的具體實施方式*用于說明和解釋本實用新型，并不用于限制本實用新型。本實用新型的發明人在實驗中發現，工件在工藝盤上出現擺放位置偏移的問題是工藝盤與相應的旋轉傳動組件之間出現滑移導致的。發明人在進行過大量實驗研究后發現，在現有的半導體設備中，為了實現向工藝盤傳遞扭矩，通常采用圓柱面摩擦傳動的方式帶動，而正是該摩擦傳動方式使得傳動件的摩擦面長時間發生相對轉動，導致配合面發生摩擦磨損，進而影響了對位精度。因此，為解決上述技術問題，作為本實用新型的***個方面，提供一種半導體設備中的工藝盤組件，如圖1至3所示，工藝盤組件包括工藝盤01和工藝盤轉軸1。材料組合更多，專設計用于濕制程工具。天津CPVC半導體與電子工程塑料零件定制加工多厚

半導體與電子生產集成電路芯片需要高度專業化的設備，可在多重苛刻環境下工作，如：真空環境下的等離子，高溫，與高度研磨液接觸，暴露于多種高腐蝕性化學品，與石英和陶瓷等傳統材料相比，三菱化學高新材料（MitsubishiChemicalAdvancedMaterialsEPP）已研發出多種材料，既滿足了晶圓低污染加工的嚴格要求，又是低成本的解決方案。我們的材料被設計用于整個晶圓加工制程。您的優勢準確復制任何地區可用的材料一般的材料選擇、工程支持和測試能力機加工能力，支持仿真系統NPI應用發展材料組合一般，專設計用于濕制程工具CMP環材料的制造商，包括Techtron®PPS（CMP應用）天津環保半導體與電子工程塑料零件定制加工規格尺寸為您的 CNC 銑削部件提供可制造性設計反饋。

    所述第二基準塊與**基準塊一體成型；所述**基準塊的一側設置有**基準面，所述第二基準塊上設置有第二基準面，所述第二基準面垂直于**基準面，所述**基準面和第二基準面的連接處設置有與**基準塊和第二基準塊連接的圓弧避讓槽；所述**基準塊和第二基準塊遠離圓弧避讓槽的一側設置有圓弧基準臺，所述圓弧基準臺的圓心位于**基準面與第二基準面的連接處。采用此技術方案，設置的**基準面和第二基準面有助于半導體零件的貼合；設置的圓弧避讓槽不*有助于抓數治具的加工，而且有助于半導體零件的貼合；設置的圓弧基準臺有助于通過圓弧的切邊抓數以計算或抓取半導體零件的尺寸以及導角的尺寸。作為推薦，所示抓數治具還設置有底座，所示底座上均勻排列有四個或四個以上抓數治具；四個或四個以上所述的抓數治具其**基準面或第二基準面在同一直線上。采用此技術方案，以便于批量檢測抓數。作為推薦，所述圓弧基準臺的半經設置在1mm的倍數。采用此技術方案，便于測量以及計算。作為推薦，所述抓數治具的長度設置在40-60mm，寬度設置在30-50mm。采用此技術方案，尺寸小，便于使用，以及保存。作為推薦，所述**基準塊的寬度和第二基準塊的寬度一致，其寬度設置在8-12mm。

    為實現傳動筒4的平穩傳動，可選地，如圖1至圖3所示，工藝盤組件還包括傳動架9，傳動架9的一端與傳動筒4背離波浪管6的一端固定連接，傳動架9的另一端用于與電機12的輸出軸連接，傳動架9用于帶動傳動筒4轉動。本實用新型對傳動架9的結構不做具體限定，例如，如圖3所示，傳動架9包括一對傳動法蘭91和用于連接兩傳動法蘭91的法蘭連接件92。推薦地，下方的傳動法蘭91通過聯軸器與電機12的輸出軸連接。為保證所述工藝盤組件運動的流暢性，推薦地，驅動軸3、傳動筒4和工藝盤轉軸1中至少一者的材料為奧氏體不銹鋼。本實用新型的發明人在研究中發現，現有的半導體設備出現旋轉卡頓的問題是因為運動件之間的潤滑油脂液化泄露，導致潤滑效果變差。進過進一步研究后，發明人發現是運動件中的部分鋼鐵材料結構在高速旋轉的過程中因電磁感應效應產生發熱現象，其發熱量過大引起潤滑油脂液化。因此，本實用新型中推薦地選擇驅動軸3、傳動筒4和工藝盤轉軸1的材料為奧氏體不銹鋼。奧氏體不銹鋼的材料與現有技術中運動件常采用的304不銹鋼相比，電阻率更低，在相同轉速下電磁感應發熱量更小，從而避免了潤滑油脂泄露，保證了所述工藝盤組件運動的流暢性。作為一種推薦的實施方式。耐高溫材料包括耐火材料和耐熱材料。

    塑膠材料項目投資立項申請報告.***章項目基本情況一、項目概況（一）項目名稱塑膠材料項目（二）項目選址某某產業示范園區項目屬于相關制造行業，投資項目對其生產工藝流程、設施布置等都有較為嚴格的標準化要求，為了更好地發揮其經濟效益并綜合考慮環境等多方面的因素，根據項目選址的一般原則和項目建設地的實際情況，該項目選址應遵循以下基本原則的要求。（三）項目用地規模項目總用地面積（折合約）。（四）項目用地控制指標該工程規劃建筑系數，建筑容積率，建設區域綠化覆蓋率，固定資產投資強度。（五）土建工程指標項目凈用地面積，建筑物基底占地面積，總建筑面積，其中規劃建設主體工程，項目規劃綠化面積。（六）設備選型方案項目計劃購置設備共計139臺（套），設備購置費。（七）節能分析1、項目年用電量，折合。2、項目年總用水量，折合。3、“塑膠材料項目投資建設項目”，年用電量，年總用水量，項目年綜合總耗能量（當量值）。達產年綜合節能量，項目總節能率，能源利用效果良好。（八）環境保護項目符合某某產業示范園區發展規劃，符合某某產業示范園區產業結構調整規劃和國家的產業發展政策；對產生的各類污染物都采取了切實可行的治理措施。與高度研磨液接觸，暴露于多種高腐蝕性化學品。江蘇制造半導體與電子工程塑料零件定制加工定制

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