本實用新型涉及半導體設備領域，具體地，涉及一種半導體設備中的工藝盤組件，以及一種包括該工藝盤組件的半導體設備。背景技術：半導體設備通常由工藝腔和設置在工藝腔內的工藝盤組成，工藝盤用于承載待加工的工件，工件與工藝腔中通入的工藝氣體發生化學反應或者由工藝氣體形成沉積物沉積在工件表面，完成晶片的外延等半導體工藝。為了保證工藝盤上熱量的均勻性，通常采用電機等設備驅動工藝盤旋轉，目前的工藝盤驅動機構通常包括滑動軸、襯套和石英轉軸。其中，石英轉軸用于驅動工藝盤旋轉，襯套套設在滑動軸上，石英轉軸套設在襯套上，且滑動軸、襯套和石英轉軸三者軸線重合，襯套通過貼合面之間的摩擦作用將滑動軸的扭矩傳遞至石英轉軸上。然而，基于這種結構目前的半導體設備經常出現工件放偏、工藝效果不佳、工藝盤旋轉卡頓等問題。技術實現要素：本實用新型旨在提供一種用于半導體設備的工藝盤組件，該工藝盤組件能夠解決上述技術問題中的至少一者。為實現上述目的，作為本實用新型的***個方面，提供一種半導體設備中的工藝盤組件，包括工藝盤和工藝盤轉軸，所述工藝盤轉軸用于驅動所述工藝盤旋轉，所述工藝盤組件還包括驅動軸和驅動襯套。CNC 銑削加工服務 ，CNC 銑削加工部件。浙江PC半導體與電子工程塑料零件定制加工絕熱

    應使用子程序[1]。CNC加工(3張)CNC加工CNC優缺點編輯CNC數控加工有下列優點：①大量減少工裝數量，加工形狀復雜的零件不需要復雜的工裝。如要改變零件的形狀和尺寸，只需要修改零件加工程序，適用于新產品研制和改型。②加工質量穩定，加工精度高，重復精度高，適應飛行器的加工要求。③多品種、小批量生產情況下生產效率較高，能減少生產準備、機床調整和工序檢驗的時間，而且由于使用**佳切削量而減少了切削時間。④可加工常規方法難于加工的復雜型面，甚至能加工一些無法觀測的加工部位。數控加工的缺點是機床設備費用昂貴，要求維修人員具有較高水平。CNC加工數控加工編輯數控加工是指用數控的加工工具進行的加工。CNC指數控機床由數控加工語言進行編程控制，通常為G代碼。數控加工G代碼語言告訴數控機床的加工刀具采用何種笛卡爾位置坐標，并控制刀具的進給速度和主軸轉速，以及工具變換器、冷卻劑等功能。數控加工相對手動加工具有很大的優勢，如數控加工生產出的零件非常精確并具有可重復性；數控加工可以生產手動加工無法完成的具有復雜外形的零件。數控加工技術現已普遍推廣，大多數的機加工車間都具有數控加工能力。安徽PC半導體與電子工程塑料零件定制加工24小時服務機加工能力，支持仿真系統NPI應用發展。

    半導體材料的應用半導體材料的早期應用：半導體的***個應用就是利用它的整流效應作為檢波器，就是點接觸二極管（也俗稱貓胡子檢波器，即將一個金屬探針接觸在一塊半導體上以檢測電磁波）。除了檢波器之外，在早期，半導體還用來做整流器、光伏電池、紅外探測器等，半導體的四個效應都用到了。從1907年到1927年，美國的物理學家研制成功晶體整流器、硒整流器和氧化亞銅整流器。1931年，蘭治和伯格曼研制成功硒光伏電池。1932年，德國先后研制成功硫化鉛、硒化鉛和碲化鉛等半導體紅外探測器，在二戰中用于偵測飛機和艦船。二戰時盟軍在半導體方面的研究也取得了很大成效，英國就利用紅外探測器多次偵測到了德國的飛機。***，半導體已***地用于家電、通訊、工業制造、航空、航天等領域。1994年，電子工業的世界市場份額為6910億美元，1998年增加到9358億美元。而其中由于美國經濟的衰退，導致了半導體市場的下滑，即由1995年的1500多億美元，下降到1998年的1300多億美元。經過幾年的徘徊，目前半導體市場已有所回升。制備不同的半導體器件對半導體材料有不同的形態要求，包括單晶的切片、磨片、拋光片、薄膜等。半導體材料的不同形態要求對應不同的加工工藝。

    所述驅動軸包括驅動軸體部和驅動連接部，所述驅動襯套套設在所述驅動連接部外部，所述工藝盤轉軸的底端形成有安裝孔，所述驅動襯套部分設置在所述安裝孔中，所述工藝盤轉軸通過所述驅動襯套、所述驅動連接部與所述驅動軸體部連接，其中，所述驅動連接部的橫截面為非圓形，所述驅動襯套的套孔與所述驅動連接部相匹配，所述工藝盤轉軸的所述安裝孔與所述驅動襯套相匹配，所述驅動軸旋轉時，帶動所述驅動襯套及所述工藝盤轉軸旋轉。推薦地，所述驅動襯套的外壁上形成有至少一個定位凸起，所述安裝孔的側壁上形成有至少一個定位槽，所述定位凸起一一對應地插入所述定位槽中。推薦地，所述驅動連接部的側面包括至少一個定位平面，以使得所述驅動連接部的橫截面為非圓形。推薦地，所述驅動連接部的側面包括兩個所述定位平面，以及設置在兩個所述定位平面之間的兩個圓柱面。推薦地，所述驅動襯套包括相互連接的***襯套部和第二襯套部，所述***襯套部和所述第二襯套部沿所述工藝盤轉軸的軸線方向排列，所述第二襯套部位于所述***襯套部朝向所述驅動軸體部的一側，所述套孔包括形成在所述***襯套部中的驅動通孔和形成在所述第二襯套部中的軸通孔，所述驅動通孔與所述驅動連接部匹配。各種尼龍板及零件加工。

    然后將碳化硅顆粒在真空條件、700℃下進行熱處理4h，得到預處理顆粒。(2)將第二分散劑聚乙烯醇溶解在水中形成溶液，將***碳源石墨和預處理顆粒在該溶液中均勻分散，再以環氧樹脂與酚醛樹脂的混合物作為粘結劑加入其中，進行球磨，球磨過程中的轉速為100轉/分，球磨時間為5h，得到第三漿料，將第三漿料在噴霧造粒塔中噴霧，得到平均尺寸為60微米的造粒粉。(3)將造粒粉均勻填滿模具，進行模壓成型，成型壓強為70mpa，保壓時間為90s，脫模，然后置入真空包裝袋中，抽真空，**后置于等靜壓機中等靜壓成型，成型壓力為200mpa，保壓時間為60s，得到***預制坯。(4)將***預制坯放置于真空排膠爐中，以每分鐘℃的速度升溫至900℃，保溫2h，得到排膠后的***預制坯。(5)將排膠后的***預制坯升溫至280℃，加入第二碳源石油焦，加熱1h，然后抽真空1h，再以氮氣加壓至3mpa，進行壓力浸滲，讓第二碳源滲入預制坯的孔隙中，降溫得到第二預制坯。(6)將第二預制坯放置于真空排膠爐中，以每分鐘℃的速度升溫至900℃，保溫2h，排膠后，機加工得到排膠后的第二預制坯。(7)將排膠后的第二預制坯和硅粉按質量比為1∶，然后放置于真空高溫燒結爐中進行反應燒結，燒結溫度為1400℃，保溫時間為5h。我們的零件被設計用于整個晶圓加工制程。河北PP半導體與電子工程塑料零件定制加工推薦廠家

降低材料摩擦及磨損。浙江PC半導體與電子工程塑料零件定制加工絕熱

    并實現對工藝盤的角度進行調整，進一步推薦地，當采用上述配合面軸向錯開的設計時，驅動通孔211與驅動連接部310之間為過盈配合，第二襯套部220的圓柱面與安裝孔之間為過盈配合。在本實用新型的實施例中，設置工藝盤轉軸1、驅動襯套2與驅動軸3之間均為過盈配合，從而使得工藝盤轉軸1和驅動襯套2能夠在安裝后保持與驅動軸3之間的同軸度。并且，*通過調整驅動軸3的朝向即可微調工藝盤轉軸1的角度，并**終實現對工藝盤的角度進行調整。為避免驅動通孔211與驅動連接部310之間的配合面尺寸的偏差導致零件損壞，推薦地，如圖6所示，驅動通孔211的內壁上形成有避讓槽211a，避讓槽211a與驅動通孔211內壁上圓柱面與平面的相貫線位置匹配。在本實用新型的實施例中，驅動通孔211內壁上形成有避讓槽211a，驅動通孔211與驅動連接部310連接時，驅動連接部310側面的棱插入避讓槽211a中，從而能夠將驅動通孔211與驅動連接部310之間的平面配合面與圓柱面配合面分離。在驅動通孔211與驅動連接部310為過盈配合時，平面配合面與圓柱面配合面可以分別向外發生微小形變，而驅動連接部310側面上的棱始終位于避讓槽211a中，從而不會因兩種配合面形變程度的不同而與驅動通孔211的內壁之間發生刮擦。浙江PC半導體與電子工程塑料零件定制加工絕熱