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分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。 由于分子泵對水蒸氣的抽速為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用,既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著中國半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展,分子泵應(yīng)該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點。首先,分子泵要從小到大建立完整系列,以滿足不同場合的需要。真空泵基本上可以分為兩種類型,即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。浦東新區(qū)好用的泵質(zhì)量保障
油封式真空泵結(jié)構(gòu)特點分類: a旋片式真空泵:轉(zhuǎn)子以一定的偏心距裝在泵殼內(nèi)并與泵殼內(nèi)表面的固定面靠近,在轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有兩個(或兩個以上)旋片,當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時旋片能沿其徑向槽往復(fù)滑動且與泵殼內(nèi)壁始終接觸,此旋片隨轉(zhuǎn)子一起旋轉(zhuǎn),可將泵腔分成幾個可變?nèi)莘e。 b.滑閥式真空泵:在偏心轉(zhuǎn)子外部裝有一個滑閥,轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動滑閥沿泵殼內(nèi)壁滑動和滾動,滑閥上部的滑閥桿能在可擺動的滑閥導(dǎo)軌中滑動,而泵腔分成兩個可變?nèi)莘e。 c.定片式真空泵:在泵殼內(nèi)裝有一個與泵內(nèi)表面靠近的偏心轉(zhuǎn)子,泵殼上裝有一個始終與轉(zhuǎn)子表面接觸的徑向滑片,當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時,滑片能上下滑動將泵腔分成兩個可變?nèi)莘e。 d.余擺線式真空泵:在泵腔內(nèi)偏心裝有一個型線為余擺線的轉(zhuǎn)子,它沿泵腔內(nèi)壁轉(zhuǎn)動并將泵腔分成兩個可變?nèi)莘e。 e.多室旋片式真空泵:在一個泵殼內(nèi)并聯(lián)裝有由同一個電動機驅(qū)動的多個單獨的工作室的旋片真空泵。奉賢區(qū)標(biāo)準(zhǔn)泵推薦廠家真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。
真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許,應(yīng)選擇無振動的泵或者采取防振動措施。 了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆粒灰塵,有無腐蝕性等。選擇真空泵時,需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備,如冷凝器、除塵器等。 真空泵在其工作壓強下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。 真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時,應(yīng)該選各種無油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達(dá)到清潔真空要求。
滑閥泵由于其結(jié)構(gòu)特點,容量比旋片泵大得多,因此常常被用在大型真空設(shè)備上。滑閥泵有單級和雙級兩種型式。單級泵的極限壓力對小泵≤0.6Pa,對大泵≤1.4Pa(均關(guān)氣鎮(zhèn)),雙級泵的極限壓力≤0.06Pa(關(guān)氣鎮(zhèn))。目前雙極2H滑閥真空泵抽速為300L/S。 由于滑閥泵的旋轉(zhuǎn)質(zhì)量有較大的偏心,如果滑閥沒有很好的質(zhì)量平衡,在運轉(zhuǎn)時會產(chǎn)生較大的振動。但泵旋轉(zhuǎn)質(zhì)心的運動軌跡是形狀復(fù)雜的封閉曲線,因此小廠很難實現(xiàn)對滑閥泵慣性力的完全平衡。可以通過動平衡測試和雙缸或三缸結(jié)構(gòu)做好滑閥的質(zhì)量平衡。真空泵的兩個轉(zhuǎn)子是通過一對高精度齒輪來實現(xiàn)其相對同步運轉(zhuǎn)的。
真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子,降低真空室內(nèi)的氣體壓力,使之達(dá)到要求的真空度。概括地講從大氣到極高真空有一個很大的范圍,至今為止還沒有一種真空系統(tǒng)能覆蓋這個范圍。因此,為達(dá)到不同產(chǎn)品的工藝指標(biāo)、工作效率和設(shè)備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置。為達(dá)到較好的配置,選擇真空系統(tǒng)時,應(yīng)考慮下述各點: 首先必須檢查確定每一種工藝要求的真空度。因為每一種工藝都有其適應(yīng)的真空度范圍,必須認(rèn)真研究確定之。 在確定了工藝要求的真空度的基礎(chǔ)上檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度,因為系統(tǒng)的極限真空度決定了系統(tǒng)的工作真空度。一般來講,系統(tǒng)的極限真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%,比前級泵的極限真空度低50%。 檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量。因為如果被抽氣體種類與泵內(nèi)液體發(fā)生反應(yīng),泵系統(tǒng)將被污染。同時必須考慮確定合適的排氣時間與抽氣過程中產(chǎn)生的氣體量。常用真空泵包括干式螺桿真空泵、水環(huán)泵、往復(fù)泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴散泵等。寶山區(qū)有名的泵質(zhì)量服務(wù)
真空泵用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。浦東新區(qū)好用的泵質(zhì)量保障
根據(jù)相關(guān)平臺發(fā)布的新的數(shù)據(jù)來看,8月銷售行業(yè)排產(chǎn)量為957萬臺,同比去年生產(chǎn)實績有小幅下滑,從增速的環(huán)比表現(xiàn)來看,行業(yè)整體排產(chǎn)增速下滑趨勢放緩。分公司看,排產(chǎn)節(jié)奏差異較大。完全有能力有空間來應(yīng)對網(wǎng)批;基于橫向競爭格局可能的趨勢、縱向與零售巨頭的價值鏈博弈兩個層面來看,預(yù)計兩大**調(diào)整自身渠道的概率較大,我們認(rèn)為有限責(zé)任公司將進(jìn)一步維護(hù)并優(yōu)化其自建的專賣店渠道體系。家用電器競爭格局穩(wěn)定,關(guān)注節(jié)能部件**政策帶動下未來幾年我國有望迎來家用電器整體能效加速提升、高耗能產(chǎn)品持續(xù)淘汰而節(jié)能產(chǎn)品加速滲透的黃金周期, 在此背景下空調(diào)行業(yè)**有望憑借自身產(chǎn)品力及技術(shù)優(yōu)勢實現(xiàn)市場占比的持續(xù)提升。各類空調(diào)相關(guān)節(jié)能產(chǎn)品,產(chǎn)品的售后服務(wù),空調(diào)銷售增長的重點驅(qū)動力是業(yè)績的提升,在經(jīng)歷了2018年的發(fā)展減速后,各類空調(diào)相關(guān)節(jié)能產(chǎn)品,產(chǎn)品的售后服務(wù),空調(diào)銷售目前處于業(yè)績的調(diào)整期,各細(xì)分行業(yè)面臨著需求疲軟、增速放緩的危險。浦東新區(qū)好用的泵質(zhì)量保障
輪通空調(diào)節(jié)能設(shè)備(上海)有限公司位于奉城鎮(zhèn)神州路288號6幢1號。輪通空調(diào)致力于為客戶提供良好的各類空調(diào)相關(guān)節(jié)能產(chǎn)品,產(chǎn)品的售后服務(wù),空調(diào)銷售,一切以用戶需求為中心,深受廣大客戶的歡迎。公司注重以質(zhì)量為中心,以服務(wù)為理念,秉持誠信為本的理念,打造家用電器良好品牌。輪通空調(diào)秉承“客戶為尊、服務(wù)為榮、創(chuàng)意為先、技術(shù)為實”的經(jīng)營理念,全力打造公司的重點競爭力。