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普陀區好用的泵定制價格

來源: 發布時間:2020-06-05

滑閥泵由于其結構特點,容量比旋片泵大得多,因此常常被用在大型真空設備上。滑閥泵有單級和雙級兩種型式。單級泵的極限壓力對小泵≤0.6Pa,對大泵≤1.4Pa(均關氣鎮),雙級泵的極限壓力≤0.06Pa(關氣鎮)。目前雙極2H滑閥真空泵抽速為300L/S。 由于滑閥泵的旋轉質量有較大的偏心,如果滑閥沒有很好的質量平衡,在運轉時會產生較大的振動。但泵旋轉質心的運動軌跡是形狀復雜的封閉曲線,因此小廠很難實現對滑閥泵慣性力的完全平衡。可以通過動平衡測試和雙缸或三缸結構做好滑閥的質量平衡。真空泵的兩個轉子是通過一對高精度齒輪來實現其相對同步運轉的。普陀區好用的泵定制價格

正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍,如:2BV系列水環真空泵工作壓強范圍760mmHg~25mmHg(絕壓),在這樣寬壓強范圍內,泵的抽速隨壓強而變化(詳細變化情況參照泵的性能曲線),其穩定的工作壓強范圍為760~60mmHg。因而,泵的工作點應該選在這個范圍之內較為適宜,而不能讓它在25~30mmHg下長期工作。 真空泵排出來的油蒸氣對環境的影響如何。如果環境不允許有污染,可以選無油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。 真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如:某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度,選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg,能達到1mmHg。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設備工作真空度半個到一個數量級。奉賢區發展泵經驗豐富真空泵的泵體的布置結構決定了泵的總體結構。

國外干泵市場的不斷增長,其主要驅動來自于半導體行業、化學工業、薄膜產業的迅速發展。在日本,半導體行業已全部用干式真空泵代替油封式機械泵,歐美半導體行業45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵,較大的提高了產品的性能和質量。為了滿足不同應用領域和不同工況的要求,國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa~10-2Pa,抽速從20m3/h~500m3/h。

真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環境有無影響。若工藝過程不允許,應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。 了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆粒灰塵,有無腐蝕性等。選擇真空泵時,需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備,如冷凝器、除塵器等。 真空泵在其工作壓強下,應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。 真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時,應該選各種無油泵,如:水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達到清潔真空要求。真空泵口安裝電磁閥時,閥與真空泵應同時動作。

分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。 由于分子泵對水蒸氣的抽速為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用,既提高了生產效率又改善了膜層質量。隨著中國半導體工業、薄膜產業和科學研究事業迅速發展,分子泵應該是中國真空泵制造業發展的重點。首先,分子泵要從小到大建立完整系列,以滿足不同場合的需要。真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環境有無影響。崇明區有口碑的泵修理

真空泵基本上可以分為兩種類型,即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。普陀區好用的泵定制價格

真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子,降低真空室內的氣體壓力,使之達到要求的真空度。概括地講從大氣到極高真空有一個很大的范圍,至今為止還沒有一種真空系統能覆蓋這個范圍。因此,為達到不同產品的工藝指標、工作效率和設備工作壽命要求、不同的真空區段需要選擇不同的真空系統配置。為達到較好的配置,選擇真空系統時,應考慮下述各點: 首先必須檢查確定每一種工藝要求的真空度。因為每一種工藝都有其適應的真空度范圍,必須認真研究確定之。 在確定了工藝要求的真空度的基礎上檢查真空泵系統的極限真空度,因為系統的極限真空度決定了系統的工作真空度。一般來講,系統的極限真空度比系統的工作真空度低20%,比前級泵的極限真空度低50%。 檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量。因為如果被抽氣體種類與泵內液體發生反應,泵系統將被污染。同時必須考慮確定合適的排氣時間與抽氣過程中產生的氣體量。普陀區好用的泵定制價格

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