正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預真空;有的真空泵出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。真空泵的價格、運轉及維修費用。真空泵在其工作壓強下,應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。松江區有名的泵生產廠家
隨著真空技術在生產和科學研究領域中對其應用壓強范圍的要求越來越寬,大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統共同抽氣后才能滿足生產和科學研究過程的要求,由于真空應用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬,因此任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有的工作壓力范圍,只能根據不同的工作壓力范圍和不同的工作要求,使用不同類型的真空泵。為了使用方便和各種真空工藝過程的需要,有時將各種真空泵按其性能要求組合起來,以機組型式應用。普陀區維修泵質量服務真空泵用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業。
國外干泵市場的不斷增長,其主要驅動來自于半導體行業、化學工業、薄膜產業的迅速發展。在日本,半導體行業已全部用干式真空泵代替油封式機械泵,歐美半導體行業45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵,較大的提高了產品的性能和質量。為了滿足不同應用領域和不同工況的要求,國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa~10-2Pa,抽速從20m3/h~500m3/h。
油封式真空泵結構特點分類: a旋片式真空泵:轉子以一定的偏心距裝在泵殼內并與泵殼內表面的固定面靠近,在轉子槽內裝有兩個(或兩個以上)旋片,當轉子旋轉時旋片能沿其徑向槽往復滑動且與泵殼內壁始終接觸,此旋片隨轉子一起旋轉,可將泵腔分成幾個可變容積。 b.滑閥式真空泵:在偏心轉子外部裝有一個滑閥,轉子旋轉帶動滑閥沿泵殼內壁滑動和滾動,滑閥上部的滑閥桿能在可擺動的滑閥導軌中滑動,而泵腔分成兩個可變容積。 c.定片式真空泵:在泵殼內裝有一個與泵內表面靠近的偏心轉子,泵殼上裝有一個始終與轉子表面接觸的徑向滑片,當轉子旋轉時,滑片能上下滑動將泵腔分成兩個可變容積。 d.余擺線式真空泵:在泵腔內偏心裝有一個型線為余擺線的轉子,它沿泵腔內壁轉動并將泵腔分成兩個可變容積。 e.多室旋片式真空泵:在一個泵殼內并聯裝有由同一個電動機驅動的多個單獨的工作室的旋片真空泵。真空泵的泵體的布置結構決定了泵的總體結構。
真空泵的兩個轉子是通過一對高精度齒輪來實現其相對同步運轉的。主動軸通過聯軸器與電機聯接。在傳動結構布置上主要有以下兩種:其一是電動機與齒輪放在轉子的同一側如圖。從動轉子由電動機端齒輪直接傳過去帶動,這樣主動轉子軸的扭轉變形小,則兩個轉子之間的間隙不會因主動軸的扭轉變形大而改變,故使轉子之間的間隙在運轉過程中均勻。這種傳動方式的缺點是:a.主動軸上有三個軸承,增加了泵的加工和裝配難度,齒輪的拆裝及調整也不便;b.整體結構不勻稱,泵的重心偏向電動機和齒輪箱一側。真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。寶山區好用的泵生產
真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環境有無影響。松江區有名的泵生產廠家
分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。 由于分子泵對水蒸氣的抽速為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用,既提高了生產效率又改善了膜層質量。隨著中國半導體工業、薄膜產業和科學研究事業迅速發展,分子泵應該是中國真空泵制造業發展的重點。首先,分子泵要從小到大建立完整系列,以滿足不同場合的需要。松江區有名的泵生產廠家
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