真空鍍膜:等離子體鍍膜:每個弧斑存在極短時間,爆發性地蒸發離化陰極改正點處的鍍料,蒸發離化后的金屬離子,在陰極表面也會產生新的弧斑,許多弧斑不斷產生和消失,所以又稱多弧蒸發。較早設計的等離子體加速器型多弧蒸發離化源,是在陰極背后配置磁場,使蒸發后的離子獲得霍爾(Hall)加速對應效應,有利于離子增大能量轟擊量體,采用這種電弧蒸發離化源鍍膜,離化率較高,所以又稱為電弧等離子體鍍膜。由于等離子體鍍膜常產生多弧斑,所以也稱多弧蒸發離化過程。真空鍍膜中真空濺射法是物理的氣相沉積法中的后起之秀。UV光固化真空鍍膜
真空鍍膜的方法:真空蒸鍍法:電子束蒸發源利用燈絲發射的熱電子,經加速陽極加速,獲得動能轟擊處于陽極的蒸發材料,是蒸發材料加熱氣化,實現蒸發鍍膜。這種技術相對于蒸發鍍膜,可以制作高熔點和高純的薄膜,是高真空鍍鈦膜技術中是一種新穎的蒸鍍材料的熱源。高頻感應蒸發源是利用蒸發材料在高頻電磁場的感應下產生強大的渦流損失和磁滯損失,從而將鍍料金屬蒸發的蒸鍍技術。這種技術比電子束蒸發源蒸發速率更大,且蒸發源的溫度均勻穩定。淮安新型真空鍍膜真空鍍膜是指在高真空的條件下加熱金屬或非金屬材料,使其蒸發并凝結于鍍件表面而形成薄膜的一種方法。
原子層沉積過程由A、B兩個半反應分四個基元步驟進行:1)前驅體A脈沖吸附反應;2)惰氣吹掃多余的反應物及副產物;3)前驅體B脈沖吸附反應;4)惰氣吹掃多余的反應物及副產物,然后依次循環從而實現薄膜在襯底表面逐層生長。基于原子層沉積的原理,利用原子層沉積制備高質量薄膜材料,三大要素必不可少:1)前驅體需滿足良好的揮發性、足夠的反應活性以及一定熱穩定性,前驅體不能對薄膜或襯底具有腐蝕或溶解作用;2)前驅體脈沖時間需保證單層飽和吸附;3)沉積溫度應保持在ALD窗口內,以避免因前驅體冷凝或熱分解等引發CVD生長從而使得薄膜不均勻。
真空鍍膜:電子束蒸發可以蒸發高熔點材料,比起一般的電阻加熱蒸發熱效率高、束流密度大、蒸發速度快,制成的薄膜純度高、質量好,厚度可以較準確地控制,可以普遍應用于制備高純薄膜和導電玻璃等各種光學材料薄膜。電子束蒸發的特點是不會或很少覆蓋在目標三維結構的兩側,通常只會沉積在目標表面。這是電子束蒸發和濺射的區別。常見于半導體科研工業領域。利用加速后的電子能量打擊材料標靶,使材料標靶蒸發升騰。較終沉積到目標上。真空鍍膜機大功率脈沖磁控濺射技術的脈沖峰值功率是普通磁控濺射的100倍,在1000~3000W/cm2范圍。
真空鍍膜:反應磁控濺射法:制備化合物薄膜可以用各種化學氣相沉積或物理的氣相沉積方法。但目前從工業大規模生產的要求來看,物理的氣相沉積中的反應磁控濺射沉積技術具有明顯的優勢,因而被普遍應用,這是因為:反應磁控濺射所用的靶材料(單元素靶或多元素靶)和反應氣體(氧、氮、碳氫化合物等)通常很容易獲得很高的純度,因而有利于制備高純度的化合物薄膜。反應磁控濺射中調節沉積工藝參數,可以制備化學配比或非化學配比的化合物薄膜,從而達到通過調節薄膜的組成來調控薄膜特性的目的。真空鍍膜鍍層附著性能好。湖州真空鍍膜工藝
離子鍍是真空蒸發與陰極濺射技術的結合。UV光固化真空鍍膜
真空鍍膜:電阻加熱蒸發法:電阻加熱蒸發法就是采用鎢、鉬等高熔點金屬,做成適當形狀的蒸發源,其上裝入待蒸發材料,讓電流通過,對蒸發材料進行直接加熱蒸發,或者把待蒸發材料放入坩鍋中進行間接加熱蒸發。利用電阻加熱器加熱蒸發的鍍膜設備構造簡單、造價便宜、使用可靠,可用于熔點不太高的材料的蒸發鍍膜,尤其適用于對膜層質量要求不太高的大批量的生產中。目前在鍍鋁制品的生產中仍然大量使用著電阻加熱蒸發的工藝。電阻加熱方式的缺點是:加熱所能達到的較高溫度有限,加熱器的壽命也較短。近年來,為了提高加熱器的壽命,國內外已采用壽命較長的氮化硼合成的導電陶瓷材料作為加熱器。UV光固化真空鍍膜