真空鍍膜:真空蒸鍍基本工藝鍍前處理:包括清洗鍍件和預處理。具體清洗方法有清洗劑清洗、化學溶劑清洗、超聲波清洗和離子轟擊清洗等。具體預處理有除靜電,涂底漆等。裝爐:包括真空室清理及鍍件掛具的清洗,蒸發源安裝、調試、鍍件褂卡。抽真空:一般先粗抽至6。6Pa以上,更早打開擴散泵的前級維持真空泵,加熱擴散泵。待預熱足夠后,打開高閥,用擴散泵抽至6×10-3Pa半底真空度。烘烤:將鍍件烘烤加熱到所需溫度。離子轟擊:真空度一般在10Pa~10-1Pa,離子轟擊電壓200V~1kV負高壓,離擊時間為5min~30min,預熔:調整電流使鍍料預熔,除氣1min~2min。蒸發沉積:根據要求調整蒸發電流,直到所需沉積時間結束。冷卻:鍍件在真空室內冷卻到一定溫度。出爐:取件后,關閉真空室,抽真空至1×10-1Pa,擴散泵冷卻到允許溫度,才可關閉維持泵和冷卻水。后處理:涂面漆等。真空濺射鍍是真空鍍膜技術的一種。湖北真空鍍膜廠家
真空鍍膜:多弧離子鍍:多弧離子鍍又稱作為電弧離子鍍,由于在陰極上有多個弧斑持續呈現,所以稱作為“多弧”。多弧離子鍍的主要特點說明:陰極電弧蒸發離化源可從固體陰極直接產生等離子體,而不產生熔池,所以可以任意方位布置,也可采用多個蒸發離化源。鍍料的離化率高,一般達60%~90%,卓著提高與基體的結合力改善膜層的性能。沉積速率高,改善鍍膜的效率。設備結構簡單,弧電源工作在低電壓大電流工況,工作較為安全。廣東省科學院半導體研究所。信陽小家電真空鍍膜真空鍍膜機的優點:可以通過涂料處理形成彩色膜,其裝潢效果是鋁箔所不及的。
原子層沉積過程由A、B兩個半反應分四個基元步驟進行:1)前驅體A脈沖吸附反應;2)惰氣吹掃多余的反應物及副產物;3)前驅體B脈沖吸附反應;4)惰氣吹掃多余的反應物及副產物,然后依次循環從而實現薄膜在襯底表面逐層生長。基于原子層沉積的原理,利用原子層沉積制備高質量薄膜材料,三大要素必不可少:1)前驅體需滿足良好的揮發性、足夠的反應活性以及一定熱穩定性,前驅體不能對薄膜或襯底具有腐蝕或溶解作用;2)前驅體脈沖時間需保證單層飽和吸附;3)沉積溫度應保持在ALD窗口內,以避免因前驅體冷凝或熱分解等引發CVD生長從而使得薄膜不均勻。
真空鍍膜:反應磁控濺射法:反應磁控濺射沉積過程中基板溫度一般不會有很大的升高,而且成膜過程通常也并不要求對基板進行很高溫度的加熱,因此對基板材料的限制較少。反應磁控濺射適于制備大面積均勻薄膜,并能實現單機年產上百萬平方米鍍膜的工業化生產。但是反應磁控濺射在20世紀90年代之前,通常使用直流濺射電源,因此帶來了一些問題,主要是靶中毒引起的打火和濺射過程不穩定,沉積速率較低,膜的缺陷密度較高,這些都限制了它的應用發展。真空鍍膜技術四五十年代開始出現工業應用。
真空鍍膜的方法:真空蒸鍍法:激光束蒸發源蒸鍍技術是一種比較理想的薄膜制備方法,利用激光器發出高能量的激光束,經聚焦照射到鍍料上,使之受熱氣化。激光器可置于真空室外,避免了蒸發器對鍍材的污染,使膜層更純潔。同時聚焦后的激光束功率很高,可使鍍料達到極高的溫度,從而蒸發任何高熔點的材料,甚至可以使某些合金和化合物瞬時蒸發,從而獲得成分均勻的薄膜。真空蒸鍍法具有設備簡單,節約金屬原材料,沉積Ti金屬及其氧化物、合金鍍層等,表面附著均勻,生產周期短,對環境友好,可大規模生產等突出優點。真空鍍膜機壓鑄技術用于生產鋁、鎂、鋅、銅基合金鑄件,在機械制造行業應用已有多年的歷史。佛山真空鍍膜儀
真空鍍膜的操作規程:把零件放入酸洗或堿洗槽中時,應輕拿輕放,不得碰撞及濺出。湖北真空鍍膜廠家
真空鍍膜:離子鍍膜法:目前比較常用的組合方式有:射頻離子鍍(RFIP)。利用電阻或電子束加熱使膜材氣化;依靠射頻等離子體放電使充入的真空Ar及其它惰性氣體、反應氣體氧氣、氮氣、乙炔等離化。這種方法的特點是:基板溫升小,不純氣體少,成膜好,適合鍍化合物膜,但匹配較困難。可應用于鍍光學器件、半導體器件、裝飾品、汽車零件等。此外,離子鍍法還包括有低壓等離子體離子鍍,感應離子加熱鍍,集團離子束鍍和多弧離子鍍等多種方法。湖北真空鍍膜廠家