多弧離子真空鍍膜機與蒸發(fā)真空鍍膜機、濺射真空鍍膜機相比,較大的特點是荷能離子一邊轟擊基體與膜層,一邊進行沉積。荷能離子的轟擊作用所產(chǎn)生一系列的效應(yīng),主要有如下幾點:多弧離子真空鍍膜機鍍膜鍍層質(zhì)量高。由于離子轟擊可提高膜的致密度,改善膜的組織結(jié)構(gòu),使得膜層的均勻度好,多弧離子真空鍍膜設(shè)備鍍膜鍍層組織致密,小孔和氣泡少。多弧離子真空鍍膜機鍍膜沉積速率高,成膜速度快,可制備30μm的厚膜。多弧離子真空鍍膜設(shè)備鍍膜所適用的基體材料與膜層材料均比較普遍。適用于在金屬或非金屬表面上鍍制金屬、化合物、非金屬材料的膜層。如在鋼鐵、有色金屬、石英、陶瓷、塑料等各種材料表面鍍膜。蒸發(fā)物質(zhì)的原子或分子以冷凝方式沉積在基片表面。湖北貴金屬真空鍍膜加工平臺
真空鍍膜機LR抗反射光學(xué)膜適用高階LCDTV機種,LR抗反射光學(xué)主要應(yīng)用在筆記本電腦(NB)、LCDMonitor及LCDTV等大尺寸LCD面板上,由于該類產(chǎn)品多在室內(nèi)使用,故一般反射率約在1%,高于AR型光學(xué)膜。也因如此,LR型光學(xué)膜結(jié)構(gòu)較簡單,大致包括TAC光學(xué)膜、硬膜涂布層、LR層,成本也較AR型低。真空鍍膜機抗反射光學(xué)膜在LCD顯示器中或許是非musttohave的零組件,然在未來小尺寸LCD面板所對應(yīng)終端應(yīng)用產(chǎn)品多樣化,加上可攜式的便利性,在外使用時間將更為長久,為提高LCD顯示器于戶外的可視性,預(yù)估將能提高AR光學(xué)膜在中小尺寸LCD面板中被采用比重;而大尺寸LCD顯示器方面,若LR光學(xué)膜在不增加太多成本的條件下,能提升表面硬度、耐刮性、及抗眩功能等,預(yù)估其被采用面積也將能有所提升。湖北貴金屬真空鍍膜加工平臺在真空中制備膜層,包括鍍制晶態(tài)的金屬、半導(dǎo)體、絕緣體等單質(zhì)或化合物膜。
現(xiàn)代鏡頭上的鍍膜大而化之可以分成兩種,一種叫增透膜,是增加光線透過率的,而另一種鍍膜則是改變鏡頭的色彩光譜透過特性的,比如一支鏡頭種某一片鏡片所用的光學(xué)材料雖然折射率等等指標(biāo)比較好,但卻存在偏黃現(xiàn)象,那就給它鍍上一層光譜遮斷膜,把偏色糾正回來(賓得那仨公主都使用高折射玻璃,因此都有些略微偏黃),而現(xiàn)在鍍膜技術(shù)的發(fā)展已經(jīng)可以補償一些較為廉價的光學(xué)材料的不足之處,鏡頭的設(shè)計已經(jīng)不必像過去一樣使用昂貴的特殊配方光學(xué)玻璃來完成,所以新的鏡頭一般都是在每個鏡片的空氣接觸面上都有多層鍍膜的,這也從另一方面凸顯了鍍膜對于鏡頭的重要作用。如今鍍膜機在光學(xué)鏡片上的應(yīng)用,我們一般稱為光學(xué)真空鍍膜機或者光學(xué)鏡片鍍膜機。
真空鍍膜機大功率脈沖磁控濺射技術(shù)的脈沖峰值功率是普通磁控濺射的100倍,在1000~3000W/cm2范圍。對于大型磁控靶,可產(chǎn)生兆瓦級濺射功率。但是由于作用時間在100~150微秒,其平均功率與普通磁控濺射相當(dāng)。這樣就不會增加冷卻要求。這里優(yōu)點出來了,在1000~3000W/cm2功率密度下,濺射材料離子化率極高。但這個高度離子化的束流不含大顆粒。一般濺射材料能級只有5~10電子伏特,而大功率脈沖磁控濺射材料能級較大可達(dá)達(dá)100電子伏特。大功率脈沖磁控濺射的較大優(yōu)點是可以鍍高致密度的膜而不會使基體表面溫度明顯增高。真空鍍膜技術(shù)是利用物理、化學(xué)手段將固體表面涂覆一層特殊性能的鍍膜。
真空鍍膜機離子鍍目前應(yīng)用較為普遍,那么它的研究歷史過程是怎樣的呢?真空鍍膜機離子鍍替代電鍍課題研究歷史過程,電鍍在工業(yè)中應(yīng)用已久,但它有鍍膜不夠致密,有氣孔,易發(fā)生氫脆,更嚴(yán)重的是對環(huán)境污染厲害,三廢處理費用高昂又不能根除,尤其六價鉻,鎳,鎘元素對人體有害,是致病物質(zhì)。所以電鍍被替代是工業(yè)發(fā)展的必然,我們經(jīng)過多年研究,現(xiàn)已研究成功:鋼鐵、黃銅、鋁合金、鋅基合金等基材表面進行了離子鍍鉻、鈦、鋯、鋁、氮化物等可替代電鍍鋅、電鍍鎘、電鍍鎳、電鍍鉻。在鍍膜過程中,想要控制蒸發(fā)速率,必須精確控制蒸發(fā)源的溫度,加熱時應(yīng)盡量避免產(chǎn)生過大的溫度梯度。湖北貴金屬真空鍍膜加工平臺
等離子體化學(xué)氣相沉積法使局部形成等離子體,而等離子體化學(xué)活性很強。湖北貴金屬真空鍍膜加工平臺
磁控濺射真空鍍膜機是現(xiàn)在產(chǎn)品在真空條件下進行鍍膜使用較多的一種設(shè)備,一完整的磁控濺射真空鍍膜機是由多部分系統(tǒng)組成的,每個系統(tǒng)可以完成不同的功能,從而實現(xiàn)較終的***鍍膜,磁控濺射鍍膜其組成包括真空腔、機械泵、真空測試系統(tǒng)、油擴散泵、抽真空系統(tǒng)、冷凝泵以及成膜控制系統(tǒng)等等。磁控濺射真空鍍膜機的主體是真空腔,真空腔大小是由加工產(chǎn)品所決定,磁控濺射鍍膜的大小能定制,腔體一般是用不銹鋼材料制作,要求結(jié)實耐用不生銹等。磁控濺射鍍膜真空腔有許多連接閥用來連接各種輔助泵。磁控濺射鍍膜成膜控制系統(tǒng)能采用不同方式,比如固定鍍制時間、目測、監(jiān)控以及水晶震蕩監(jiān)控等。真空鍍膜機鍍膜方式也分多種工藝,常用的有離子蒸發(fā)鍍膜和磁控濺射鍍膜。磁控濺射方式鍍制的膜層附著力強,膜層的純度高,可以同事濺射多種不同成分的材料,離子蒸發(fā)鍍膜可以提高膜層的致密性和結(jié)合力及均勻性。湖北貴金屬真空鍍膜加工平臺