蝸桿旋轉的同時通過與兩個支撐板的配合可將蝸桿底端安裝的安裝板進行提升，進而可對板材進行提升，操作完畢后，只需分別將第1電機與第二電機反轉，即可重復作業，除此之外立柱的底部安裝的滑輪可配合滑軌等移動裝置對機械手進行移動，以增加機械手對板材的移動范圍。本發明結構簡單易于實現，通過各個部件間的相互配合可對板材進行穩固的夾取并提升，節約了人力勞動提高了效率，除此之外機械手還可在惡劣的環境中進行操作，以保護人身安全。附圖說明圖1為本發明提出的一種板材搬運自動化設備的機械手的整體結構示意圖；圖2為本發明提出的一種板材搬運自動化設備的機械手的橫板與移動夾板的連接示意圖；圖3為本發明提出的一種板材搬運自動化設備的機械手的三角形傳動件的結構示意圖。圖中：1立柱、2第1電機、3第二電機、4橫板、5固定夾板、6移動夾板、7安裝板、8斜齒輪、9蝸桿、10支撐板、11第1轉盤、12第二轉盤、13轉軸、14三角形傳動件、15固定板、16螺紋套管、17轉桿、18限位板、19滑槽板、20滑桿、21防滑齒。具體實施方式下面將結合本發明實施例中的附圖，對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例只只是本發明一部分實施例。六合區糖袋氣動懸臂吊推薦廠家！鼓樓區包裝袋氣動懸臂吊哪里可以買到

    所述蝸桿的底端貫穿安裝板的頂壁并延伸至轉槽內，所述蝸桿的底端安裝在限位板的頂壁上。地，所述固定夾板的頂壁上同樣開設有轉槽，所述轉槽內同樣設有限位板，兩個所述轉桿遠離移動夾板的一端貫穿固定夾板的頂壁并延伸至轉槽內，兩個所述轉桿遠離移動夾板的一端分別安裝在限位板的頂壁上。地，所述固定夾板與移動夾板相對一側的側壁上均安裝有防滑齒。地，所述橫板上開設有與三角形傳動件相匹配的矩形槽。地，所述安裝板靠近立柱一側的側壁上安裝有滑塊，所述立柱的側壁上開設有與滑塊相互配合的豎向滑槽。地，所述立柱的底部安裝有滑輪。本發明中，分別將第1電機和第二電機接通電源，先將第二電機進行正轉，第二電機轉動時帶動第1轉盤轉動，第1轉盤通過三角形傳動件可將兩個第二轉盤進行轉動，同時兩個第二轉盤上均安裝的轉桿可與移動夾板進行嚙合，因此轉桿轉動時可迫使移動夾板向固定夾板進行移動，進而在固定夾板與移動夾板的相互配合下可對板材進行夾緊，固定夾板與移動夾板上安裝的防滑齒可防止板材滑落，增加穩定性，將板材夾緊后，打開第1電機并將第1電機進行正轉，第1電機通過驅動端安裝的斜齒輪可將蝸桿進行旋轉。江寧區多功能氣動懸臂吊品牌溧水區米袋氣動懸臂吊推薦廠家！

    所述的手指固定座33上設置有插槽41，所述的插槽41內可拆卸安裝晶圓固定裝置4。所述的晶圓固定裝置4包括真空吸盤、氣缸機械手等。所述的手指固定座33上還設置有掃描傳感器42，掃描傳感器42包括光纖放大器以及濾光片等光信號探測設備。使用時，升降軸1進行機械手的豎直上升下降工作，旋轉軸2進行機械手的水平旋轉工作，伸展軸3進行機械手的伸展拿取工作。相比現有的晶圓搬運機械手，本申請中伸展軸3中的一級伸展臂31、二級伸展臂32和手指固定座33聯動，一級伸展臂31、二級伸展臂32和手指固定座33之間分別具有傳動機構，通過一級關節5、二級關節6和三級關節7之間的一級同步帶52和二級同步帶64在一級伸展臂31轉動的同時，帶動二級伸展臂32和手指固定座33不同速率的轉動，在升降軸1、旋轉軸2和伸展軸3三軸聯動的同時讓手指固定座33始終保證直線運動，且角度不會發生改變。這種方式不僅簡化了整個伸展軸3傳動結構，共用一個傳動系后不僅提高了運行精度、重復定位精度，又提高了機械手整體剛度和承重能力。本發明的機械手可以通過設定在機械手后方的掃描傳感器42，自動掃描片盒中晶片的狀態（包括：有，無，重片，斜片），通過數據分析后把結果傳送給上位設備控制系統。

    本發明涉及一種半導體制造技術，尤其是一種用于晶圓搬運的機械手。背景技術：在半導體加工設備中，經常需要將晶圓在各個工位之間進行傳送，在傳送的過程中，傳送精度越高，設備工藝一致性就越好，速度越快，單臺設備的產能就越大。隨著半導體工藝的發展，設備處理的工藝越來越復雜，對設備自動化程度、柔性化程度要求也越來越高，這就需要一種定位精度高，速度快的多自由度的機械手。技術實現要素：本發明針對現有技術中的不足，提供了一種晶圓搬運機械手，本發明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復定位精度。本發明結構合理性能穩定，維護方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設備要求，適用于各種半導體設備。為了解決上述技術問題，本發明通過下述技術方案得以解決：一種晶圓搬運機械手，包括升降軸、旋轉軸和伸展軸，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機、一級伸展臂、二級伸展臂和手指固定座，所述的一級伸展臂與所述伸展電機之間設置有一級關節，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設置有二級關節，所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設置有三級關節。江寧區米袋氣動懸臂吊推薦廠家！

    如圖1至圖3所示，一種晶圓搬運機械手，包括升降軸1、旋轉軸2和伸展軸3，所述的伸展軸3包括伸展電機34、一級伸展臂31、二級伸展臂32和手指固定座33，所述的一級伸展臂31與所述伸展電機34之間設置有一級關節5，所述的一級伸展臂31與所述的二級伸展臂32之間設置有二級關節6，所述的二級伸展臂32和所述的手指固定座33之間設置有三級關節7。所述的伸展電機34通過諧波減速機35驅動所述一級伸展臂31轉動。所述的伸展電機34、所述的一級關節5、所述的二級關節6和所述的三級關節7依次傳動，所述的一級關節5、所述的二級關節6和所述的三級關節7的傳動比為1:2:1，根據本機械手的運動原理，所述的手指固定座34始終保持直線運動。所述的一級關節5上設置有一級同步輪51，所述的二級關節6上設置有二級同步輪61，所述的一級同步輪51和所述的二級同步輪61通過一級同步帶52傳動連接，所述的一級伸展臂31內還設置有與所述一級同步帶52相配合的一級張緊輪53。所述的二級關,6上設置有三級同步輪62，所述的三級關節7上設置有四級同步輪71，所述的三級同步輪63和所述的四級同步輪71通過二級同步帶64傳動連接，所述的二級伸展,32內還設置有與所述二級同步帶64相配合的二級張緊輪63。高淳區室內深加工氣動懸臂吊推薦廠家！鼓樓區包裝袋氣動懸臂吊哪里可以買到

浦口區多功能氣動懸臂吊推薦廠家！鼓樓區包裝袋氣動懸臂吊哪里可以買到

私營獨資企業企業具有極強的投錢品屬性，作為下游制造及服務業的設備提供者，私營獨資企業企業的景氣取決于下游制造服務業客戶的投錢規模和增速；而影響其投錢規模和意愿的**主要因素便是這些企業的景氣度以及發展潛力！利用電子技術、微電子技術、傳感器、電液伺服改進傳統的機械產品，采用計算機輔助設計、輔助制造及各種模型分析，IT網絡技術進行機械的設計和運營，如今的工業自動化設備，真空設備及配件，起重設備及配件，傳動設備及配件。氣動液壓設備，液壓元件及工具，包裝機械設備， 包裝耗材，機電設備，儀器儀表，金屬材料，電子產品，化工原料及產品，五金交電，建材，橡膠制品，通訊器材，電線電纜銷售，機電設備安裝維修，商務信息咨詢。不斷向信息化、智能化、人性化方向發展以適應未來市場的發展。在一定程度上，裝備的智能化解決了用工不足的問題，提高了中國銷售的競爭力。但在發展智能化的過程中，也確實還存在一定的問題，值得行業思考和探討。作為我國國民經濟的主導產業，機械及行業設備業仍然是我國經濟增長的主要支撐；作為經濟社會發展的重要依托，機械及行業設備業是我國城鎮就業的主要渠道和國際競爭力的集中體現。鼓樓區包裝袋氣動懸臂吊哪里可以買到

上海勁容自動化設備有限公司專注技術創新和產品研發，發展規模團隊不斷壯大。目前我公司在職員工以90后為主，是一個有活力有能力有創新精神的團隊。公司以誠信為本，業務領域涵蓋氣管吸吊機，助力機械手，真空吊具，軌道交通，我們本著對客戶負責，對員工負責，更是對公司發展負責的態度，爭取做到讓每位客戶滿意。公司力求給客戶提供全數良好服務，我們相信誠實正直、開拓進取地為公司發展做正確的事情，將為公司和個人帶來共同的利益和進步。經過幾年的發展，已成為氣管吸吊機，助力機械手，真空吊具，軌道交通行業出名企業。