所述的手指固定座33上設(shè)置有插槽41，所述的插槽41內(nèi)可拆卸安裝晶圓固定裝置4。所述的晶圓固定裝置4包括真空吸盤、氣缸機械手等。所述的手指固定座33上還設(shè)置有掃描傳感器42，掃描傳感器42包括光纖放大器以及濾光片等光信號探測設(shè)備。使用時，升降軸1進行機械手的豎直上升下降工作，旋轉(zhuǎn)軸2進行機械手的水平旋轉(zhuǎn)工作，伸展軸3進行機械手的伸展拿取工作。相比現(xiàn)有的晶圓搬運機械手，本申請中伸展軸3中的一級伸展臂31、二級伸展臂32和手指固定座33聯(lián)動，一級伸展臂31、二級伸展臂32和手指固定座33之間分別具有傳動機構(gòu)，通過一級關(guān)節(jié)5、二級關(guān)節(jié)6和三級關(guān)節(jié)7之間的一級同步帶52和二級同步帶64在一級伸展臂31轉(zhuǎn)動的同時，帶動二級伸展臂32和手指固定座33不同速率的轉(zhuǎn)動，在升降軸1、旋轉(zhuǎn)軸2和伸展軸3三軸聯(lián)動的同時讓手指固定座33始終保證直線運動，且角度不會發(fā)生改變。這種方式不僅簡化了整個伸展軸3傳動結(jié)構(gòu)，共用一個傳動系后不僅提高了運行精度、重復(fù)定位精度，又提高了機械手整體剛度和承重能力。本發(fā)明的機械手可以通過設(shè)定在機械手后方的掃描傳感器42，自動掃描片盒中晶片的狀態(tài)（包括：有，無，重片，斜片），通過數(shù)據(jù)分析后把結(jié)果傳送給上位設(shè)備控制系統(tǒng)。棲霞區(qū)糖袋氣動懸臂吊推薦廠家！黃浦區(qū)粉塵氣動懸臂吊推薦廠家

    其將所述第1線圈組和所述電路基板連接起來；以及第2線圈布線，其將所述第2線圈組和所述電路基板連接起來，所述電路基板具有：檢測電路，其包含對所述磁體的旋轉(zhuǎn)進行檢測的磁傳感器；第1電力電路，其包含向所述第1線圈組供給電流的多個電子元器件；第2電力電路，其包含向所述第2線圈組供給電流的多個電子元器件；以及控制電路，其包含對所述第1電力電路和所述第2電力電路中的至少一者所供給的電流進行控制的電子元器件，所述第1線圈布線和所述第2線圈布線均具有：第1部位，其在與所述軸的軸向交叉的方向上突出到所述殼體的外側(cè)；以及第2部位，其在所述外側(cè)自所述第1部位朝向所述電路基板突出，所述蓋體具有：蓋體主體；以及所述連接器的外裝部，其與所述蓋體主體形成為一體。由此，能夠?qū)⒌?電力電路和第2電力電路配置在靠近電路基板的外周的位置，能夠增大第1電力電路以及第2電力電路與磁傳感器之間的間隔距離。由此，由第1電力電路和第2電力電路產(chǎn)生的熱不易向磁傳感器傳遞能夠抑制磁傳感器的溫度上升。另外，通過使蓋體主體和連接器的外裝部形成為一體，能夠有助于減少電動驅(qū)動裝置的零件個數(shù)。作為理想的技術(shù)方案，所述蓋體具有：第1面，其與所述電路基板相面對。溧水區(qū)米袋氣動懸臂吊原理六合區(qū)粉塵氣動懸臂吊推薦廠家！

    該多個肋將所述壁部的外周面和所述第1面連結(jié)起來。由此，能夠提高壁部與散熱器之間的連結(jié)強度。作為理想的技術(shù)方案，所述多個肋沿著所述壁部的周圍以等間隔配置。由此，在壁部的周圍，能夠確保壁部與散熱器之間的連結(jié)強度不產(chǎn)生偏差。作為理想的技術(shù)方案，還具備帽，該帽安裝于所述壁部的靠所述電路基板側(cè)的端部，所述帽具有與所述磁體相對的頂板部和對所述頂板部的外周進行支承的緣部，所述頂板部的材料是樹脂。由此，從磁體發(fā)出的磁通能夠透過帽的頂板部，磁傳感器能夠檢測該磁通。不必為了使磁通透過而從壁部的端部拆下帽。因此，在電動驅(qū)動裝置的組裝工序中，不需要拆下帽的工序，能夠抑制工序數(shù)量的增大。另外，在電路基板安裝于散熱器而完成了電動驅(qū)動裝置之后，也能維持帽安裝于壁部的端部的狀態(tài)。由此，能夠持續(xù)性地抑制異物附著于磁體。作為理想的技術(shù)方案，所述壁部具有在所述外周面設(shè)置的槽部，所述緣部具有在與所述槽部重疊的位置設(shè)置的突起部，所述突起部能卡合于所述槽部。由此，能將帽固定于壁部。作為理想的技術(shù)方案，所述壁部與散熱器形成為一體。由此，在壁部與散熱器之間不存在接合的邊界，因此，能夠提高壁部與散熱器之間的連結(jié)強度。

絞索600通過上述螺栓旋緊的方式兩端分別連接于塔架100和滑道，當(dāng)然因為絞索600的拉力要克服滑道的重力，絞索600與塔架100的連接點應(yīng)高于絞索600與滑道的連接點。鉸接組件130包括：鉸軸133、第1接頭部131和第二接頭部132，第1接頭部131和第二接頭部132同軸鉸接于鉸軸133。第1滑道200的底端和第二滑道300的頂端分別安裝于第1接頭部131和第二接頭部132，借助第1接頭部131與第二接頭部132的鉸接關(guān)系，可帶動第1滑道200和第二滑道300進行傾角的調(diào)整。并且所屬領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)注意，因為滑道的角度調(diào)整問題，在設(shè)計第1滑道200和第二滑道300對接點時，應(yīng)當(dāng)考慮滑道的側(cè)壁不能因滑道的角度調(diào)整而出現(xiàn)縫隙，也不能阻礙滑道的角度調(diào)整。對此，本實施例采用一種結(jié)構(gòu)簡單的對接方法，使第二滑道300的內(nèi)徑略微大于第1滑道200的內(nèi)徑，讓第1滑道200的下端頭搭接于第二滑道300上端頭內(nèi)。此外為了滿足食品安全要求，對第1滑道200和第二滑道300以及塔架100的材料采用316l，同時對鉸接組件130采用滿足食品衛(wèi)生標準的潤滑油。通過鉸接組件130對第1滑道200和第二滑道300進行連接，采用絞索600的拉力固定滑道的位置，可控制絞索的長度110進而控制滑道的傾角。雨花臺區(qū)米袋氣動懸臂吊推薦廠家！

    本發(fā)明能夠有效解決現(xiàn)有技術(shù)中機械手運行速度低，定位精度差的問題。本機械手包含3個軸，分別為升降軸、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸，其中伸展軸又包含3個關(guān)節(jié)，三個關(guān)節(jié)分別為一級關(guān)節(jié)、二級關(guān)節(jié)和三級關(guān)節(jié)，三個關(guān)節(jié)之間的傳動比為1:2:1，伸展電機通過諧波減速機驅(qū)動一級伸展臂轉(zhuǎn)動，通過一級關(guān)節(jié)、二級關(guān)節(jié)和三級關(guān)節(jié)之間設(shè)置有傳動結(jié)構(gòu)，同時帶動二級伸展臂和手指固定座的移動，間接將第1級關(guān)節(jié)遠端的一級同步帶輪變?yōu)橹鲃虞啠ㄟ^這種結(jié)構(gòu)，可以在一級伸展臂和二級伸展臂移動時，保持手指固定座的始終直線運動，既晶圓中心始終保持直線運動，晶圓的角度也保持不變。這種結(jié)構(gòu)還提高了機械手整體強度，達到高速度運行和重復(fù)定位精度高的雙重目的。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發(fā)生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。附圖說明圖1是本發(fā)明示意圖。圖2是本發(fā)明伸展軸示意圖。圖3是本發(fā)明伸展軸內(nèi)部俯視示意圖。具體實施方式下面結(jié)合附圖與具體實施方式對本發(fā)明作進一步詳細描述。實施例1。溧水區(qū)常見氣動懸臂吊推薦廠家！浦口區(qū)象鼻子氣動懸臂吊供應(yīng)

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    本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造技術(shù)，尤其是一種用于晶圓搬運的機械手。背景技術(shù)：在半導(dǎo)體加工設(shè)備中，經(jīng)常需要將晶圓在各個工位之間進行傳送，在傳送的過程中，傳送精度越高，設(shè)備工藝一致性就越好，速度越快，單臺設(shè)備的產(chǎn)能就越大。隨著半導(dǎo)體工藝的發(fā)展，設(shè)備處理的工藝越來越復(fù)雜，對設(shè)備自動化程度、柔性化程度要求也越來越高，這就需要一種定位精度高，速度快的多自由度的機械手。技術(shù)實現(xiàn)要素：本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運機械手，本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發(fā)生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明通過下述技術(shù)方案得以解決：一種晶圓搬運機械手，包括升降軸、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機、一級伸展臂、二級伸展臂和手指固定座，所述的一級伸展臂與所述伸展電機之間設(shè)置有一級關(guān)節(jié)，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設(shè)置有二級關(guān)節(jié)，所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設(shè)置有三級關(guān)節(jié)。黃浦區(qū)粉塵氣動懸臂吊推薦廠家

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