自所述電路基板的法線方向觀察時，隔著所述第1電力電路所包含的電子元器件的配置位置在所述第1通孔的相反側存在所述控制電路所包含的電子元器件的配置位置。由此，能夠使自第1電力電路到達電動馬達的電流路徑遠離控制電路。作為理想的技術方案，所述第2線圈布線的所述第2部位自比所述第2電力電路所包含的電子元器件靠近所述電路基板的外周的位置連接于所述第2電力電路。由此，能夠使第2線圈布線遠離磁傳感器，能夠抑制因電流在第2線圈布線中流動而產生的磁場對磁傳感器造成的影響。作為理想的技術方案，所述電路基板具有與所述第2線圈布線的所述第2部位相連接的第2通孔，自所述電路基板的法線方向觀察時，在所述檢測電路的配置位置與所述第2通孔之間存在所述第2電力電路所包含的電子元器件的配置位置。由此，能夠使自第2電力電路到達電動馬達的電流路徑遠離磁傳感器。隔著所述第2電力電路所包含的電子元器件的配置位置在所述第2通孔的相反側存在所述控制電路所包含的電子元器件的配置位置。由此，能夠使自第2電力電路到達電動馬達的電流路徑遠離控制電路。作為理想的技術方案，還具有配置于所述電路基板的電容器，自所述電路基板的法線方向觀察時。江寧區象鼻子氣動懸臂吊推薦廠家！秦淮區粉塵氣動懸臂吊供應

    機械手停止作業，避免意外的傷害。e）設備配套安全控制系統，在操作時，系統不會因為誤動作，而突然改變負載或空載壓力，因此機械手不會因此快速上升或下降而對人身、設備和產品造成傷害。助力機械手發展趨勢世界工業機械手均有高精化，高速化，多軸化，輕量化的發展趨勢。定位精度可以滿足微米及亞微米級要求，將機械手、柔性制造系統和柔性制造單元相結合，從而根本改變機械制造系統的人工操作狀態。隨著機械手的小型化和微型化，其應用領域將會突破傳統的機槭領域，而向著電子信息、生物技術、生命科學及航空航天等行業發展[3]。助力機械手助力機械手分類助力機械手分為：硬臂式助力機械手、軟索式助力機械手、折臂吊、電動平衡吊、氣動平衡吊、懸臂吊、墻壁吊。秦淮區粉塵氣動懸臂吊供應浦口區米袋氣動懸臂吊推薦廠家！

    蝸桿旋轉的同時通過與兩個支撐板的配合可將蝸桿底端安裝的安裝板進行提升，進而可對板材進行提升，操作完畢后，只需分別將第1電機與第二電機反轉，即可重復作業，除此之外立柱的底部安裝的滑輪可配合滑軌等移動裝置對機械手進行移動，以增加機械手對板材的移動范圍。本發明結構簡單易于實現，通過各個部件間的相互配合可對板材進行穩固的夾取并提升，節約了人力勞動提高了效率，除此之外機械手還可在惡劣的環境中進行操作，以保護人身安全。附圖說明圖1為本發明提出的一種板材搬運自動化設備的機械手的整體結構示意圖；圖2為本發明提出的一種板材搬運自動化設備的機械手的橫板與移動夾板的連接示意圖；圖3為本發明提出的一種板材搬運自動化設備的機械手的三角形傳動件的結構示意圖。圖中：1立柱、2第1電機、3第二電機、4橫板、5固定夾板、6移動夾板、7安裝板、8斜齒輪、9蝸桿、10支撐板、11第1轉盤、12第二轉盤、13轉軸、14三角形傳動件、15固定板、16螺紋套管、17轉桿、18限位板、19滑槽板、20滑桿、21防滑齒。具體實施方式下面將結合本發明實施例中的附圖，對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例只只是本發明一部分實施例。

    本發明涉及一種半導體制造技術，尤其是一種用于晶圓搬運的機械手。背景技術：在半導體加工設備中，經常需要將晶圓在各個工位之間進行傳送，在傳送的過程中，傳送精度越高，設備工藝一致性就越好，速度越快，單臺設備的產能就越大。隨著半導體工藝的發展，設備處理的工藝越來越復雜，對設備自動化程度、柔性化程度要求也越來越高，這就需要一種定位精度高，速度快的多自由度的機械手。技術實現要素：本發明針對現有技術中的不足，提供了一種晶圓搬運機械手，本發明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復定位精度。本發明結構合理性能穩定，維護方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設備要求，適用于各種半導體設備。為了解決上述技術問題，本發明通過下述技術方案得以解決：一種晶圓搬運機械手，包括升降軸、旋轉軸和伸展軸，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機、一級伸展臂、二級伸展臂和手指固定座，所述的一級伸展臂與所述伸展電機之間設置有一級關節，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設置有二級關節，所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設置有三級關節。江寧區室內深加工氣動懸臂吊推薦廠家！

    能夠將第1電力電路和第2電力電路配置于靠近電路基板的外周的位置，能夠增大第1電力電路以及第2電力電路與磁傳感器之間的間隔距離。由此，由第1電力電路和第2電力電路產生的熱不易向磁傳感器傳遞，因此，能夠抑制磁傳感器的溫度上升。作為理想的技術方案，所述第1線圈布線和所述第2線圈布線相鄰地配置。由此，能夠將第1電力電路和第2電力電路相鄰地配置。作為理想的技術方案，所述第1線圈布線的所述第2部位自比所述第1電力電路所包含的電子元器件靠近所述電路基板的外周的位置連接于所述第1電力電路。由此，能夠使第1線圈布線遠離磁傳感器，能夠抑制因電流在第1線圈布線中流動而產生的磁場對磁傳感器造成的影響。作為理想的技術方案，所述電路基板具有與所述第1線圈布線的所述第2部位相連接的第1通孔，自所述電路基板的法線方向觀察時，在所述檢測電路的配置位置與所述第1通孔之間存在所述第1電力電路所包含的電子元器件的配置位置。由此，能夠使自第1電力電路到達電動馬達的電流路徑遠離磁傳感器。作為理想的技術方案，自所述電路基板的法線方向觀察時。棲霞區常見氣動懸臂吊推薦廠家！秦淮區粉塵氣動懸臂吊供應

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    譬如增設可調節高度的支撐腿等滑道的固定方式也是可行的，這里不做詳細介紹。利用第1滑道200和第二滑道300的鉸接關系，可對兩個滑道的傾角進行調整，并較終通過絞索600來固定滑道位置。從而讓輸送滑道滿足輸送不同規格產品時，摩擦系數變化所帶來的影響。此外，對于長距離滑道運輸的場景，還可在上述實施例的基礎上增設前段滑道400和支撐腿500。前段滑道400底端搭接于第1滑道200的頂端，而其頂端對接于前段設備，在本實施例中，因為前段設備為一輸送皮帶，在前段滑道400的頂端增設有u字形缺口，貼合皮帶端頭的外形，同時為防止物料卡包，對u字形缺口的邊緣進行卷邊處理。為了對前段滑道400進行必要的支撐，至少要有一支撐腿500對滑道進行固定。如圖3所示，為了快捷的調整絞索600的拉線長度，增設一種絞索固定件，其包括一個滑輪121、旋鈕122和卡塊123。滑輪121轉軸固定在塔架100上。卡塊100為金屬件，在本實施例中具體選用316l，其帶有第1通道123a和第二通道123b，二者相互平行。并且卡塊123上端延伸出有兩個連接筋124，分別鉸接于滑輪121轉軸的兩側。絞索600穿過第1通道123a后繞過滑輪121，然后穿過第二通道123b。旋鈕122垂直從卡塊123側壁插入，并接通第二通道123b。秦淮區粉塵氣動懸臂吊供應

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