而不是全部的實施例。在本發明的描述中，需要理解的是，術語“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“頂”、“底”、“內”、“外”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，只是為了便于描述本發明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本發明的限制。如圖1-3所示，本發明的一種板材搬運自動化設備的機械手，包括立柱1，立柱1的底部安裝有滑輪，滑輪可配合滑軌等移動裝置以使得機械手的移動范圍更廣，立柱1的頂壁上安裝有第1電機2，第1電機2的驅動端安裝有斜齒輪8，立柱1的一側的側壁上安裝有兩個支撐板10，兩個支撐板10之間共同安裝有蝸桿9，兩個支撐板10上均開設有斜螺紋孔，且斜螺紋孔與蝸桿9相互嚙合，蝸桿9與斜齒輪8相互嚙合，蝸桿9的底端轉動連接有安裝板7，安裝板7靠近立柱1一側的側壁上安裝有滑塊，立柱1的側壁上開設有與滑塊相互配合的豎向滑槽，安裝板7通過滑塊與豎向滑槽的配合可沿著立柱1進行上下滑動，安裝板7的頂壁上開設有轉槽，轉槽內設有限位板18，蝸桿9的底端貫穿安裝板7的頂壁并延伸至轉槽內，蝸桿9的底端安裝在限位板18的頂壁上。本發明中。棲霞區常見氣動懸臂吊推薦廠家！鼓樓區室內深加工氣動懸臂吊哪家有

    設置在所述弧形槽上用于鎖緊所述球頭和所述弧形槽的鎖緊件，以及設置在所述弧形槽內用于增大摩擦力以控制所述球頭在所述弧形槽內的位置的阻尼件。根據本發明的一個方面，所述鎖緊件包括與所述弧形槽上的開孔螺紋連接的鎖緊手柄，以及與所述鎖緊手柄固定連接并且位于所述弧形槽內與所述球頭的外表面形狀配合的弧形壓板。根據本發明的一個方面，所述固定夾持機構包括與所述弧形槽連接的防滑手柄，與所述防滑手柄的連接的支架，與所述支架連接的夾持件，以及與所述夾持件的端部連接用于鎖緊所述夾持件的鎖定板。根據本發明的一個方面，所述夾持件包括與所述支架固定連接的固定夾，位于所述固定夾的一側與所述支架轉動連接的轉動夾，以及設置所述轉動夾與所述支架之間用于轉動夾轉動后復位的壓簧；所述鎖定板與所述固定夾的端部轉動連接，通過轉動可將所述固定夾和所述轉動夾鎖緊在一起。根據本發明的一個方面，所述長度調整機構包括與所述球頭固定連接的內調節桿，套置在所述內調節桿外與所述內調節桿可以相對往復移動的外調節桿，設置在所述外調節桿上用于鎖定或者解鎖所述內調節桿和所述外調節桿之間的相對位置的開關結構。根據本發明的一個方面。鼓樓區室內深加工氣動懸臂吊哪家有雨花臺區粉塵氣動懸臂吊推薦廠家！

    本發明涉及一種半導體制造技術，尤其是一種用于晶圓搬運的機械手。背景技術：在半導體加工設備中，經常需要將晶圓在各個工位之間進行傳送，在傳送的過程中，傳送精度越高，設備工藝一致性就越好，速度越快，單臺設備的產能就越大。隨著半導體工藝的發展，設備處理的工藝越來越復雜，對設備自動化程度、柔性化程度要求也越來越高，這就需要一種定位精度高，速度快的多自由度的機械手。技術實現要素：本發明針對現有技術中的不足，提供了一種晶圓搬運機械手，本發明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復定位精度。本發明結構合理性能穩定，維護方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設備要求，適用于各種半導體設備。為了解決上述技術問題，本發明通過下述技術方案得以解決：一種晶圓搬運機械手，包括升降軸、旋轉軸和伸展軸，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機、一級伸展臂、二級伸展臂和手指固定座，所述的一級伸展臂與所述伸展電機之間設置有一級關節，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設置有二級關節，所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設置有三級關節。

    蝸桿旋轉的同時通過與兩個支撐板的配合可將蝸桿底端安裝的安裝板進行提升，進而可對板材進行提升，操作完畢后，只需分別將第1電機與第二電機反轉，即可重復作業，除此之外立柱的底部安裝的滑輪可配合滑軌等移動裝置對機械手進行移動，以增加機械手對板材的移動范圍。本發明結構簡單易于實現，通過各個部件間的相互配合可對板材進行穩固的夾取并提升，節約了人力勞動提高了效率，除此之外機械手還可在惡劣的環境中進行操作，以保護人身安全。附圖說明圖1為本發明提出的一種板材搬運自動化設備的機械手的整體結構示意圖；圖2為本發明提出的一種板材搬運自動化設備的機械手的橫板與移動夾板的連接示意圖；圖3為本發明提出的一種板材搬運自動化設備的機械手的三角形傳動件的結構示意圖。圖中：1立柱、2第1電機、3第二電機、4橫板、5固定夾板、6移動夾板、7安裝板、8斜齒輪、9蝸桿、10支撐板、11第1轉盤、12第二轉盤、13轉軸、14三角形傳動件、15固定板、16螺紋套管、17轉桿、18限位板、19滑槽板、20滑桿、21防滑齒。具體實施方式下面將結合本發明實施例中的附圖，對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例只只是本發明一部分實施例。六合區包裝袋氣動懸臂吊推薦廠家！

    從而使夾持件103呈打開狀態。固定夾1031與轉動夾1032遠離支架102的一端均為弧形壁板。這兩個弧形壁板相面對的一側在夾持件103閉合狀態時形成一個容納艙壁助力扶手a的空間。該空間有四個沿圓周方向等間隔排列的圓弧形凹槽組成，這樣的設計適應于目前艙壁助力扶手a的橫截面均為如圖3所示的長圓形截面的特點。而轉動夾1032用于構成容納艙壁助力扶手a的空間的弧形壁板為兩段結構。如圖4所示，當艙壁助力扶手a垂直于支架102置于固定夾1031與轉動夾1032之間的空間中時，扶手a的兩端卡在空間的上下兩個圓弧形凹槽中。如圖5所示，當艙壁助力扶手a平行于支架102置于固定夾1031與轉動夾1032之間的空間中時，艙壁助力扶手a的兩端卡在該空間的左右兩個圓弧形凹槽中。鎖定板104分為兩部分結構，一部分較薄，便于航天員轉動；另一部分較厚且空心，并在圖3中上側設置多個相間排列的槽。鎖定板104較厚的一部分鉸接在固定夾1031遠離支架102的一端。而由圖2可知，轉動夾1032遠離支架102的一端為扁的齒型結構(圖中未示出)，齒的尺寸和數量恰好與鎖定板104較厚部分的槽對應。結合圖4和圖5，在鎖定時，航天員向上撥動鎖定板104較薄的部分使其順時針轉動，當轉動90°時。六合區工業氣動懸臂吊推薦廠家！天寧區室內深加工氣動懸臂吊原理

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    可將被抓取部位的形狀分成圓柱形、正方柱形、板形、球形和圓錐形等5種典型表面。各種手指在抓取這5種典型表面時的接觸狀態是各不相同的，根據這時的接觸狀態，即可對不同形狀和數量的手指及其抓取機能進行分析和比較，以便從中選出合理的指形和手指個數[2]。手指抓取機能與手指、被抓取物件的關系助力機械手控制系統a）設置有元件保護盒，以保護主要精密氣動元器件，避免操作時意外撞擊及灰塵沉積。氣路排布完全按豐田AMS標準執行，方便維修。b）系統配備二聯件、單向閥和儲氣罐，為系統提供持續穩定的壓縮空氣，當主供氣源意外斷氣時，可提供一定時間的安全保障，并使系統有足夠的動力完成本次操作或將工件卸載。助力機械手助力機械手系統安全a）配備有負載顯示器，指示負載狀態，告知操作者：此時物料是否可被提起或被卸載。當系統處于負載狀態時，顯示器呈紅）配備有負載壓力表，指示壓縮空氣工作狀況。c）配備有安全誤操作保護裝置，防止誤動作對人身或設備造成傷害；在操作者未對安裝狀況進行確認前，即工件未安裝到位前，如果工人誤操作松開按鈕，工件不能被卸載（限于動力夾具）。d）系統配備了失氣保護裝置，當主供氣源意外斷氣時，主機臂桿不能動作。鼓樓區室內深加工氣動懸臂吊哪家有

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