轉(zhuǎn)動(dòng)夾1032遠(yuǎn)離支架102的一端的齒型結(jié)構(gòu)插入至鎖定板104較厚部分的槽中，從而壓住轉(zhuǎn)動(dòng)夾1032，達(dá)到鎖定夾持件103的目的。圖6是示意性表示根據(jù)本發(fā)明第1種實(shí)施方式的長(zhǎng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)的立體圖。如圖6所示，長(zhǎng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)2包括內(nèi)調(diào)節(jié)桿201、外調(diào)節(jié)桿202和開(kāi)關(guān)結(jié)構(gòu)203。內(nèi)調(diào)節(jié)桿201為空心矩形桿，其相對(duì)的兩個(gè)側(cè)壁設(shè)有等間隔直線排列的多個(gè)固定孔2011，每?jī)蓚€(gè)相對(duì)的固定孔2011為一個(gè)長(zhǎng)度調(diào)節(jié)檔位。外調(diào)節(jié)桿202也為空心矩形桿，其內(nèi)孔為與內(nèi)調(diào)節(jié)桿201外形矩形輪廓相同的矩形孔。外調(diào)節(jié)桿202一端開(kāi)口，而內(nèi)調(diào)節(jié)桿201從此開(kāi)口處插入外調(diào)節(jié)桿202的內(nèi)孔中。并且外調(diào)節(jié)桿202能套在內(nèi)調(diào)節(jié)桿201外做直線往復(fù)移動(dòng)，完成換擋。而為了使航天員更清晰的判斷檔位，可如圖6所示，在內(nèi)調(diào)節(jié)桿201外壁上位于兩個(gè)同一側(cè)壁的固定孔2011之間的位置設(shè)置軸向環(huán)繞內(nèi)調(diào)節(jié)桿201外壁的環(huán)形凹槽。此外，外調(diào)節(jié)桿202外壁的中部位置還設(shè)有扶手204。扶手204為不封閉的矩形框架結(jié)構(gòu)，包括兩個(gè)短邊梁和一個(gè)長(zhǎng)邊梁。兩個(gè)短邊梁遠(yuǎn)離長(zhǎng)邊梁的一端連接在外調(diào)節(jié)桿202的一個(gè)側(cè)壁上，形成一個(gè)封閉的矩形。在調(diào)整長(zhǎng)度時(shí)，航天員握住扶手204向外拉或向里推從而使外調(diào)節(jié)桿202做遠(yuǎn)離或靠近艙壁助力扶手a的運(yùn)動(dòng)。六合區(qū)包裝袋氣動(dòng)懸臂吊推薦廠家！秦淮區(qū)象鼻子氣動(dòng)懸臂吊品牌

    而后依靠絞索固定滑道位置。從而讓輸送滑道不同產(chǎn)品時(shí)，通過(guò)改變傾角來(lái)適應(yīng)摩擦系數(shù)的變化。符合同一生產(chǎn)線生產(chǎn)多規(guī)格產(chǎn)品的需要。附圖說(shuō)明圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例的鉸接組件結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例的絞索固定件的結(jié)構(gòu)示意圖。具體實(shí)施方式為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例只只用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。如圖1至圖2所示，本實(shí)用新型提供了一種輸送滑道，包括塔架100、第1滑道200和第二滑道300。因?yàn)樗?00要對(duì)鉸接組件130提供穩(wěn)定的支撐力，又要承受絞索600的拉力，因此為了提高輸送滑道的穩(wěn)定性，因此對(duì)塔架100采用如下設(shè)計(jì)塔架四根豎直放置的立柱，立柱間有多根水平拉桿，水平拉桿和立柱間有多根對(duì)角拉桿。同時(shí)為了固定絞索600，塔架100上帶有連接板120，連接板一端焊接在塔架100上，另一端開(kāi)孔。并且第1滑道200和第二滑道300兩側(cè)外壁均延伸出有連接耳210，連接耳上210帶有通孔。上述通孔中裝配有螺栓，絞索600端頭分別環(huán)繞過(guò)螺栓后通過(guò)旋緊螺栓固定絞索600。秦淮區(qū)象鼻子氣動(dòng)懸臂吊品牌浦口區(qū)室內(nèi)深加工氣動(dòng)懸臂吊推薦廠家！

    助力機(jī)械手主機(jī)a）可實(shí)現(xiàn)不同重量物料的重力平衡狀態(tài)，適用于物料的精確移載操作。b）空載、滿(mǎn)載及處理不同工件時(shí)，系統(tǒng)可感知其重量變化，并實(shí)現(xiàn)載荷在三維空間中的浮動(dòng)狀態(tài)，便于精確定位。c）全程平衡、運(yùn)動(dòng)順滑等特點(diǎn)，使得操作者可以很便捷地實(shí)現(xiàn)工件的搬運(yùn)、定位、裝配等操作。d）剛性手臂可使機(jī)械手帶工件越過(guò)障礙；水平臂可滿(mǎn)足物料在相關(guān)場(chǎng)所進(jìn)行橫向放入、橫向取出等動(dòng)作要求。e）系統(tǒng)可始終保持機(jī)械手頭部的水平，發(fā)揮高作業(yè)性。f）關(guān)節(jié)剎車(chē)裝置，具有多個(gè)回轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)，以實(shí)現(xiàn)廣域范圍內(nèi)的物料取置；配備有剎車(chē)裝置，操作者可在操作過(guò)程中隨時(shí)中斷機(jī)械手的運(yùn)動(dòng)。助力機(jī)械手氣動(dòng)夾具主機(jī)控制與夾具（機(jī)械手）集成為一體，方便操作者雙手控制工件。主機(jī)操作按鈕都集成于夾具控制面板上，控制部分及指示燈、指示器等按人體工學(xué)原理布置，便于操作及緊急情況的處理。助力機(jī)械手執(zhí)行執(zhí)行部分是機(jī)械手上承擔(dān)抓（或吸）取物件的機(jī)構(gòu)，由手指、傳力（或增力）機(jī)構(gòu)和動(dòng)力裝置等組成。手指是手部中直接承擔(dān)抓（或吸）取物件的元件。1、手指的抓取機(jī)能助力機(jī)械手的手指的抓取機(jī)能是由被抓取物件和手指決定的。被抓取物件的大小、形狀、重量、材質(zhì)和受外力的約束程度及運(yùn)動(dòng)。

    本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造技術(shù)，尤其是一種用于晶圓搬運(yùn)的機(jī)械手。背景技術(shù)：在半導(dǎo)體加工設(shè)備中，經(jīng)常需要將晶圓在各個(gè)工位之間進(jìn)行傳送，在傳送的過(guò)程中，傳送精度越高，設(shè)備工藝一致性就越好，速度越快，單臺(tái)設(shè)備的產(chǎn)能就越大。隨著半導(dǎo)體工藝的發(fā)展，設(shè)備處理的工藝越來(lái)越復(fù)雜，對(duì)設(shè)備自動(dòng)化程度、柔性化程度要求也越來(lái)越高，這就需要一種定位精度高，速度快的多自由度的機(jī)械手。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過(guò)程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動(dòng)，且角度不會(huì)發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力，同時(shí)提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護(hù)方便，多功能集一身，可滿(mǎn)足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明通過(guò)下述技術(shù)方案得以解決：一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，包括升降軸、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機(jī)、一級(jí)伸展臂、二級(jí)伸展臂和手指固定座，所述的一級(jí)伸展臂與所述伸展電機(jī)之間設(shè)置有一級(jí)關(guān)節(jié)，所述的一級(jí)伸展臂與所述的二級(jí)伸展臂之間設(shè)置有二級(jí)關(guān)節(jié)，所述的二級(jí)伸展臂和所述的手指固定座之間設(shè)置有三級(jí)關(guān)節(jié)。棲霞區(qū)米袋氣動(dòng)懸臂吊推薦廠家！

    本發(fā)明涉及自動(dòng)化設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種板材搬運(yùn)自動(dòng)化設(shè)備的機(jī)械手。背景技術(shù)：板材是做成標(biāo)準(zhǔn)大小的扁平矩形建筑材料板，應(yīng)用于建筑行業(yè)，用來(lái)作墻壁、天花板或地板的構(gòu)件。也多指鍛造、軋制或鑄造而成的金屬板。板材可劃分為薄板、中板、厚板、特厚板、通常做成標(biāo)準(zhǔn)大小的扁平矩形建筑材料板?，F(xiàn)有技術(shù)中在板材的生產(chǎn)與搬運(yùn)過(guò)程中依然存在著依靠人力勞動(dòng)進(jìn)行對(duì)板材的搬運(yùn)，人力作業(yè)方式效率低下同時(shí)對(duì)于一些體積大質(zhì)量比較重的板材搬運(yùn)時(shí)往往無(wú)法進(jìn)行操作，費(fèi)時(shí)費(fèi)力，除此之外對(duì)與在惡劣的環(huán)境中依靠人力便會(huì)對(duì)人體造成危害，因此針對(duì)此類(lèi)問(wèn)題需要進(jìn)行改進(jìn)。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的人力搬運(yùn)板材費(fèi)時(shí)費(fèi)力、無(wú)法操作體積大質(zhì)量重的板材同時(shí)無(wú)法適用惡劣環(huán)境的缺點(diǎn)，而提出的一種板材搬運(yùn)自動(dòng)化設(shè)備的機(jī)械手。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用了如下技術(shù)方案：本發(fā)明的一種板材搬運(yùn)自動(dòng)化設(shè)備的機(jī)械手，包括立柱，所述立柱的頂壁上安裝有第1電機(jī)，所述第1電機(jī)的驅(qū)動(dòng)端安裝有斜齒輪，所述立柱的一側(cè)的側(cè)壁上安裝有兩個(gè)支撐板，兩個(gè)所述支撐板之間共同安裝有蝸桿，兩個(gè)所述支撐板上均開(kāi)設(shè)有斜螺紋孔，且斜螺紋孔與蝸桿相互嚙合。棲霞區(qū)象鼻子氣動(dòng)懸臂吊推薦廠家！秦淮區(qū)象鼻子氣動(dòng)懸臂吊品牌

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    移動(dòng)夾板6的側(cè)壁上對(duì)稱(chēng)貫穿開(kāi)設(shè)有兩個(gè)螺紋孔，兩個(gè)轉(zhuǎn)桿17分別與兩個(gè)螺紋孔相互嚙合，固定夾板5的頂壁上同樣開(kāi)設(shè)有轉(zhuǎn)槽，轉(zhuǎn)槽內(nèi)同樣設(shè)有限位板18，兩個(gè)轉(zhuǎn)桿17遠(yuǎn)離移動(dòng)夾板6的一端貫穿固定夾板5的頂壁并延伸至轉(zhuǎn)槽內(nèi)，兩個(gè)轉(zhuǎn)桿17遠(yuǎn)離移動(dòng)夾板6的一端分別安裝在限位板18的頂壁上，轉(zhuǎn)桿17轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)通過(guò)與移動(dòng)夾板6的嚙合可將移動(dòng)夾板6向固定夾板5處移動(dòng)，移動(dòng)夾板6與固定夾板的相互配合可將板材進(jìn)行夾取，固定夾板5與移動(dòng)夾板6相對(duì)一側(cè)的側(cè)壁上均安裝有防滑齒21，防滑齒21可將板材更穩(wěn)定的進(jìn)行夾取。本發(fā)明中，本發(fā)明中，分別將第1電機(jī)2和第二電機(jī)3接通電源，先將第二電機(jī)3進(jìn)行正轉(zhuǎn)，第二電機(jī)3轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)帶動(dòng)第1轉(zhuǎn)盤(pán)11轉(zhuǎn)動(dòng)，第1轉(zhuǎn)盤(pán)11通過(guò)三角形傳動(dòng)件14可將兩個(gè)第二轉(zhuǎn)盤(pán)12進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)兩個(gè)第二轉(zhuǎn)盤(pán)12上均安裝的轉(zhuǎn)桿17可與移動(dòng)夾板6進(jìn)行嚙合，因此轉(zhuǎn)桿17轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)可迫使移動(dòng)夾板6向固定夾板5進(jìn)行移動(dòng)，進(jìn)而在固定夾板5與移動(dòng)夾板6的相互配合下可對(duì)板材進(jìn)行夾緊，固定夾板5與移動(dòng)夾板6上安裝的防滑齒21可防止板材滑落，增加穩(wěn)定性，將板材夾緊后，打開(kāi)第1電機(jī)2并將第1電機(jī)2進(jìn)行正轉(zhuǎn)，第1電機(jī)2通過(guò)驅(qū)動(dòng)端安裝的斜齒輪8可將蝸桿9進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。秦淮區(qū)象鼻子氣動(dòng)懸臂吊品牌

上海勁容自動(dòng)化設(shè)備有限公司致力于機(jī)械及行業(yè)設(shè)備，是一家生產(chǎn)型的公司。公司自成立以來(lái)，以質(zhì)量為發(fā)展，讓匠心彌散在每個(gè)細(xì)節(jié)，公司旗下氣管吸吊機(jī)，助力機(jī)械手，真空吊具，軌道交通深受客戶(hù)的喜愛(ài)。公司從事機(jī)械及行業(yè)設(shè)備多年，有著創(chuàng)新的設(shè)計(jì)、強(qiáng)大的技術(shù)，還有一批專(zhuān)業(yè)化的隊(duì)伍，確保為客戶(hù)提供良好的產(chǎn)品及服務(wù)。在社會(huì)各界的鼎力支持下，持續(xù)創(chuàng)新，不斷鑄造***服務(wù)體驗(yàn)，為客戶(hù)成功提供堅(jiān)實(shí)有力的支持。