其包含軸、與所述軸連動的馬達轉子、具有使所述馬達轉子旋轉的定子芯的馬達定子、每3相至少分成第1線圈組和第2線圈組這兩個系統且用3相交流電對所述定子芯進行勵磁的多個線圈組、以及在內側收納所述馬達轉子、所述馬達定子和所述多個線圈組的筒狀的殼體；電子控制裝置，其是為了對所述電動馬達進行驅動控制而設置的，包含設于所述軸的靠負載相反側的端部的磁體、以及位于所述軸的負載相反側且配置在所述軸的軸向的延長線上的電路基板；第1線圈布線，其將所述第1線圈組和所述電路基板連接起來；以及第2線圈布線，其將所述第2線圈組和所述電路基板連接起來，所述電路基板具有：檢測電路，其包含對所述磁體的旋轉進行檢測的磁傳感器；第1電力電路，其包含向所述第1線圈組供給電流的多個電子元器件；第2電力電路，其包含向所述第2線圈組供給電流的多個電子元器件；以及控制電路，其包含對所述第1電力電路和所述第2電力電路中的至少一者所供給的電流進行控制的電子元器件，所述第1線圈布線和所述第2線圈布線均具有：第1部位，其在與所述軸的軸向交叉的方向上突出到所述殼體的外側；以及第2部位，其在所述外側自所述第1部位朝向所述電路基板突出。棲霞區象鼻子氣動懸臂吊推薦廠家！賈汪區糖袋氣動懸臂吊推薦廠家
而不是全部的實施例。在本發明的描述中，需要理解的是，術語“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“頂”、“底”、“內”、“外”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，只是為了便于描述本發明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本發明的限制。如圖1-3所示，本發明的一種板材搬運自動化設備的機械手，包括立柱1，立柱1的底部安裝有滑輪，滑輪可配合滑軌等移動裝置以使得機械手的移動范圍更廣，立柱1的頂壁上安裝有第1電機2，第1電機2的驅動端安裝有斜齒輪8，立柱1的一側的側壁上安裝有兩個支撐板10，兩個支撐板10之間共同安裝有蝸桿9，兩個支撐板10上均開設有斜螺紋孔，且斜螺紋孔與蝸桿9相互嚙合，蝸桿9與斜齒輪8相互嚙合，蝸桿9的底端轉動連接有安裝板7，安裝板7靠近立柱1一側的側壁上安裝有滑塊，立柱1的側壁上開設有與滑塊相互配合的豎向滑槽，安裝板7通過滑塊與豎向滑槽的配合可沿著立柱1進行上下滑動，安裝板7的頂壁上開設有轉槽，轉槽內設有限位板18，蝸桿9的底端貫穿安裝板7的頂壁并延伸至轉槽內，蝸桿9的底端安裝在限位板18的頂壁上。本發明中。賈汪區糖袋氣動懸臂吊推薦廠家浦口區包裝袋氣動懸臂吊推薦廠家！
起到防滑作用。固定夾和轉動夾閉合后形成一個由四個沿圓周方向等間隔排列的圓弧形凹槽組成的空間，使得夾持件可以從兩個垂直的角度夾持艙壁助力扶手。根據本發明的一個方案，固定夾持機構與長度調整機構之間通過萬向球頭接頭結構連接。萬向球頭接頭結構中的球頭位于弧形槽中，并可在其中自由轉動。使得長度調整機構也可自由轉動，而航天員可通過鎖緊件來壓緊球頭，從而鎖定長度調整機構使其不再轉動。而位于弧形槽中的阻尼件則可在長度調整機構轉動到位后依靠其與球頭之間的摩擦力使轉動自動停止。根據本發明的一個方案，外調節桿可往復移動地套設在內調節桿上，內調節桿上設有多個固定孔。而外調節桿上設有開關結構。航天員可通過撥動開關結構中的凸輪手柄使與其鉸接的鎖定銷做往復直線運動，從而在位于固定孔中和脫離固定孔兩個狀態之間切換，完成調整長度并鎖定。根據本發明的一個方案，長度調整機構和末端助力機構之間通過萬向接頭機構連接，萬向接頭機構與萬向球頭接頭機構相似，同樣為類似關節的機構。使得末端主力機構也可做自由轉動。而連桿可旋轉地連接在末端扶手上，使得末端扶手可繞連桿軸線旋轉。配合萬向球頭接頭機構構成的關節結構。
本發明涉及一種半導體制造技術，尤其是一種用于晶圓搬運的機械手。背景技術：在半導體加工設備中，經常需要將晶圓在各個工位之間進行傳送，在傳送的過程中，傳送精度越高，設備工藝一致性就越好，速度越快，單臺設備的產能就越大。隨著半導體工藝的發展，設備處理的工藝越來越復雜，對設備自動化程度、柔性化程度要求也越來越高，這就需要一種定位精度高，速度快的多自由度的機械手。技術實現要素：本發明針對現有技術中的不足，提供了一種晶圓搬運機械手，本發明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復定位精度。本發明結構合理性能穩定，維護方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設備要求，適用于各種半導體設備。為了解決上述技術問題，本發明通過下述技術方案得以解決：一種晶圓搬運機械手，包括升降軸、旋轉軸和伸展軸，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機、一級伸展臂、二級伸展臂和手指固定座，所述的一級伸展臂與所述伸展電機之間設置有一級關節，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設置有二級關節，所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設置有三級關節。高淳區包裝袋氣動懸臂吊推薦廠家！
所述蝸桿的底端貫穿安裝板的頂壁并延伸至轉槽內，所述蝸桿的底端安裝在限位板的頂壁上。地，所述固定夾板的頂壁上同樣開設有轉槽，所述轉槽內同樣設有限位板，兩個所述轉桿遠離移動夾板的一端貫穿固定夾板的頂壁并延伸至轉槽內，兩個所述轉桿遠離移動夾板的一端分別安裝在限位板的頂壁上。地，所述固定夾板與移動夾板相對一側的側壁上均安裝有防滑齒。地，所述橫板上開設有與三角形傳動件相匹配的矩形槽。地，所述安裝板靠近立柱一側的側壁上安裝有滑塊，所述立柱的側壁上開設有與滑塊相互配合的豎向滑槽。地，所述立柱的底部安裝有滑輪。本發明中，分別將第1電機和第二電機接通電源，先將第二電機進行正轉，第二電機轉動時帶動第1轉盤轉動，第1轉盤通過三角形傳動件可將兩個第二轉盤進行轉動，同時兩個第二轉盤上均安裝的轉桿可與移動夾板進行嚙合，因此轉桿轉動時可迫使移動夾板向固定夾板進行移動，進而在固定夾板與移動夾板的相互配合下可對板材進行夾緊，固定夾板與移動夾板上安裝的防滑齒可防止板材滑落，增加穩定性，將板材夾緊后，打開第1電機并將第1電機進行正轉，第1電機通過驅動端安裝的斜齒輪可將蝸桿進行旋轉。浦口區象鼻子氣動懸臂吊推薦廠家！南京糖袋氣動懸臂吊
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其配置在所述第1面與所述電路基板之間；以及彈性體，其配置在所述壁部與所述電路基板之間，所述電路基板具有：檢測電路，其包含對所述磁體的旋轉進行檢測的磁傳感器；第1電力電路，其包含向所述第1線圈組供給電流的多個電子元器件；第2電力電路，其包含向所述第2線圈組供給電流的多個電子元器件；以及控制電路，其包含對所述第1電力電路和所述第2電力電路中的至少一者所供給的電流進行控制的電子元器件，所述第1線圈布線和所述第2線圈布線均具有：第1部位，其在與所述軸的軸向交叉的方向上突出到所述殼體的外側；以及第2部位，其在所述外側自所述第1部位朝向所述電路基板突出，所述散熱器具有通孔，該通孔設置在所述第1面與所述第2面之間且供所述軸穿過，在自所述軸的軸向俯視時，所述通孔位于所述壁部的環的內側。由此，能夠將第1電力電路和第2電力電路配置在靠近電路基板的外周的位置，能夠增大第1電力電路以及第2電力電路與磁傳感器之間的間隔距離。由此，由第1電力電路和第2電力電路產生的熱不易向磁傳感器傳遞，因此，能夠抑制磁傳感器的溫度上升。另外，在壁部與電路基板之間配置有彈性體。通過使彈性體分別貼緊于壁部和電路基板，能夠抑制電路基板的振動。賈汪區糖袋氣動懸臂吊推薦廠家