本發明涉及搬運系統以及搬運方法。背景技術：在半導體制造工廠等制造工廠中，為了將收容半導體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進行搬運，提出有使用沿著鋪設于頂棚的軌道行駛的高架搬運車、和沿著與高架搬運車的軌道地鋪設于地板面的軌道行駛的起重機的結構(例如，參照文獻1)。文獻1:日本第5880693號公報文獻1中記載的高架搬運車和起重機均能夠訪問裝載端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的軌道行駛，因此需要與高架搬運車和起重機對應地，分別設置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此，存在不僅對軌道的設置花費成本，需要用于鋪設各軌道的空間，而且需要使處理裝置或者保管部等的設置位置與兩個軌道對應，因此對處理裝置等的布局產生限制的問題。技術實現要素：本發明的目的在于提供能夠通過將供高架搬運車和起重機行駛的軌道共用化而減少軌道的設置成本，并且分擔高架搬運車與起重機的作用，由此高效地搬運物品的搬運系統以及搬運方法。本發明所涉及的搬運系統具備：第1區段內頂棚軌道，其從第1處理裝置的裝載端口的正上方錯開并且沿著第1處理裝置的裝載端口設置；第二區段內頂棚軌道。浦口區工業真空搬運機推薦廠家！黃浦區糖袋真空搬運機生產廠家

    第1、第二起重機40a、40b在下層的第1、第二保管部20a、20b與上層的第1、第二保管部20a、20b之間搬運物品2。高架搬運車50沿著頂棚軌道10(第1區段內頂棚軌道11、第二區段內頂棚軌道12、第1區段間頂棚軌道13、以及第二區段間頂棚軌道14)移動，在第1、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp、第1、第二保管部20a、20b、以及第1、第二交接端口30a、30b之間進行物品2的交接。圖5是表示高架搬運車50的一個例子的圖。如圖5所示，高架搬運車50具有行駛部51和主體部52。行駛部51與第1、第二行駛部41a、41b相同地，具備未圖示的行駛驅動部和多個車輪71a(參照圖6)，并沿著頂棚軌道10行駛。行駛驅動部例如可以是設置于行駛部51且驅動車輪71a的電動馬達，也可以是使用頂棚軌道10設置的線性馬達。主體部52經由安裝部52a安裝于行駛部51的下部。主體部52具有：保持部53，其保持物品2；升降驅動部54，其懸掛保持部53且使其升降；以及橫向伸出機構55，其使升降驅動部54移動。保持部53通過把持物品2的凸緣部2a而懸掛保持物品2。保持部53例如是具有能夠沿水平方向移動的爪部53a的卡盤，使爪部53a侵入至物品2的凸緣部的下方，使保持部53上升，由此保持物品2。新北區糖袋真空搬運機供應六合區包裝袋真空搬運機推薦廠家！

    但本發明并不限定于上述的說明，在不脫離本發明的主旨的范圍內能夠進行各種變更。例如，在上述的搬運系統100中，也可以在高架搬運車50的移動路徑中配置儲料機(自動倉庫)等。儲料機例如可以設置于第1區段間頂棚軌道13和第二區段間頂棚軌道14中的任一方或者雙方。高架搬運車50可以能夠針對該儲料機的交接端口進行物品2的交接，例如，能夠在儲料機與第1、第二交接端口30a、30b之間搬運物品2。另外，在法律法規允許的范圍內，引用作為日本申請的日本特愿2017-128570、和在本說明書中引用的全部文獻的內容作為本文記載的一部分。附圖標記說明sa1…第1保管區域；sa2…第二保管區域；ta1…第1裝置區域；ta2…第二裝置區域；lp…裝載端口；tl1…第1處理裝置；tl2…第二處理裝置；2…物品；2a…凸緣部；10…頂棚軌道；11…第1區段內頂棚軌道；12…第二區段內頂棚軌道；13…第1區段間頂棚軌道；14…第二區段間頂棚軌道；15…第1連接軌道；16…第二連接軌道；20a…第1保管部；20b…第二保管部；30a…第1交接端口；30b…第二交接端口；40a…第1起重機；40b…第二起重機；41a…第1行駛部；41b…第二行駛部；42a…第1桅桿；42b…第二桅桿；43a…第1升降臺；43b…第二升降臺。

    發明內容本實用新型的目的在于克服以上不足，提供一種新型真空搬運機械手，利用真空原理，吸附物體，進而平衡物體的重力，使操作人員在基本感覺不到物體重力的情況下，輕松完成物體的搬運、翻轉、裝配等工序，操作簡單、運作省力、高效安全。本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是含有萬向輪、移動小車、拉桿、立柱、主升降氣缸、主旋轉座、主旋轉軸、主關節鎖死裝置、大側板、擺動主臂、擺動副臂、副關節鎖死裝置、連接板、橫臂旋轉座、旋轉臂主軸、旋轉臂、垂臂旋轉座、副旋轉軸、下垂臂、扶手、真空吸盤，移動小車截面呈長方形，其底部四角各設有一萬向輪，移動小車頂端中部設有立柱，左側設有拉桿，立柱頂端設有主旋轉座，可旋轉360°，主旋轉座通過主旋轉軸與大側板相連接，大側板內設有氣壓控制閥，氣壓控制閥與主升降氣缸相連接，大側板左側下端設有主升降氣缸，大側板上設有內側板，主旋轉座和大側板之間設有主關節鎖死裝置，擺動主臂和擺動副臂一端分別與大側板相連接，另一端分別與連接板相連接，擺動主臂位于擺動副臂下側并與擺動副臂相平行，橫臂旋轉座通過旋轉臂主軸與旋轉臂相連接，旋轉臂可旋轉300°，旋轉臂和橫臂旋轉座之間設有副關節鎖死裝置。溧水區多功能真空搬運機推薦廠家！

    并在與作為搬運目的地的第二交接端口30b對應的位置停止。接著，高架搬運車50使橫向伸出機構55向+x方向或者-x方向突出，驅動升降驅動部54并通過保持部53將物品2載置于第二交接端口30b。通過以上的動作，能夠將物品2從第1保管區域sa1搬運至第二保管區域sa2。此外，在上述的實施方式中，示出將物品2在第1保管區域sa1與第二保管區域sa2之間進行搬運的例子，但通過與上述相同的動作能夠將物品2也在第1保管區域sa1與其他保管區域之間、或者在第二保管區域sa2與其他保管區域之間進行搬運。另外，載置于其他保管區域的交接端口的物品2被存在于該保管區域的起重機搬運至保管部或者處理裝置的裝載端口這點如上所述。如上所述，根據本實施方式所涉及的搬運系統100，第1、第二起重機40a、40b能夠邊行駛邊使第1、第二升降臺43a、43b升降，因此與必須在停止后使保持部53升降的高架搬運車50相比，物品2的移送所需要的時間更短，能夠使區段內(第1、第二保管區域sa1、sa2內)的物品2的搬運效率提高。并且，通過第1、第二起重機40a、40b進行區段內的物品2的搬運，從而能夠使物品2的保管數量增加。另外，高架搬運車50不具有第1、第二起重機40a、40b的第1、第二桅桿42a、42b那樣的垂下的部件。雨花臺區常見真空搬運機推薦廠家！黃浦區糖袋真空搬運機生產廠家

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    活動架驅動塊71裝設有活動架驅動軸72，活動架驅動軸72伸入至固定安裝豎板11的活動槽111內且活動架驅動軸72裝設有嵌插于活動槽111內的軸承73；固定安裝豎板11的后表面裝設有機械手驅動電機8，機械手驅動電機8的動力輸出軸裝設有位于活動槽111旁側且用于撥動活動架驅動軸72動作的驅動軸撥動塊9。需進一步指出，水平導軌副4包括有螺裝于固定安裝豎板11且沿著左右方向水平延伸的水平導軌41、螺裝于中間活動板2的水平滑塊42，水平導軌41與水平滑塊42相配合。另外，豎向導軌副5包括有設置于前端活動架3且呈豎向布置的豎向導軌51、螺裝于中間活動板2的豎向滑塊52，豎向導軌51與豎向滑塊52相配合。在本實用新型產品移送動作的過程中，機械手驅動電機8驅動驅動軸撥動塊9擺動，擺動的驅動軸撥動塊9驅動活動架驅動軸72擺動，在此過程中，軸承73與活動槽111相配合并實現對活動架驅動軸72導向，以使得活動架驅動軸72沿著活動槽111移動，且活動架驅動軸72帶動前端活動架3同步移動，并實現上升、下降動作。其中，本實用新型通過真空吸盤62吸附抓取產品。需強調的是，本實用新型只通過一電機即可實現真空吸盤62上升、下降動作，結構簡單。綜合上述情況可知，通過上述結構設計。黃浦區糖袋真空搬運機生產廠家

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