而后依靠絞索固定滑道位置。從而讓輸送滑道不同產品時，通過改變傾角來適應摩擦系數的變化。符合同一生產線生產多規格產品的需要。附圖說明圖1是本實用新型實施例的結構示意圖；圖2是本實用新型實施例的鉸接組件結構示意圖；圖3是本實用新型實施例的絞索固定件的結構示意圖。具體實施方式為了使本實用新型的目的、技術方案及優點更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例只只用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。如圖1至圖2所示，本實用新型提供了一種輸送滑道，包括塔架100、第1滑道200和第二滑道300。因為塔架100要對鉸接組件130提供穩定的支撐力，又要承受絞索600的拉力，因此為了提高輸送滑道的穩定性，因此對塔架100采用如下設計塔架四根豎直放置的立柱，立柱間有多根水平拉桿，水平拉桿和立柱間有多根對角拉桿。同時為了固定絞索600，塔架100上帶有連接板120，連接板一端焊接在塔架100上，另一端開孔。并且第1滑道200和第二滑道300兩側外壁均延伸出有連接耳210，連接耳上210帶有通孔。上述通孔中裝配有螺栓，絞索600端頭分別環繞過螺栓后通過旋緊螺栓固定絞索600。溧水區常見氣動懸臂吊推薦廠家！徐州牛皮袋氣動懸臂吊原理

    機械手主機是實現物料（或工件）在空中無重力化浮動狀態的主體裝置。機械手則是實現工件抓取，并完成用戶相應搬運和裝配要求的裝置。安裝結構則是根據用戶服務區域及現場狀況要求以支撐整套設備的機構。助力機械手產品系列為實現物料移載的省力操作，國內機械手的專業廠商已推出豐富的平衡吊機型，滿足不同行業中不同物料不同工藝要求的搬運需要。按工作原理不一樣，有臂桿式和軟索式。其中臂桿式平衡吊又因工作曲線差異，有PBF、PBC等；軟索式則因主體執行元件不同，分卷筒式（IRB）和直線氣缸式（PBB）、鋼絲繩式和鏈條式等。根據動力源不同，有氣動式和電動式（EBC）等。另外，按系統所采用基座不同，有落地固定式、落地移動式、懸掛固定式、懸掛移動式、附墻式等[1]。助力機械手助力機械手系統特點硬臂式助力機械手系統組成主要包括四部分：1）軌道行走系統；2）機械手主機；3）夾具部分；4）執行部分；5）氣路控制系統。助力機械手助力機械手軌道系統本方案采用雙排C型鋁合金軌道與移動平臺小車配合，平臺小車下法蘭連接硬臂式機械手。使整個設備在軌道行程內平穩行走。C型軌道采用進口材料，強度、精度高。非金屬滾輪采用度耐磨尼龍材料加工而成，使用壽命長。寶山區常見氣動懸臂吊江寧區糖袋氣動懸臂吊推薦廠家！

    其包含軸、與所述軸連動的馬達轉子、具有使所述馬達轉子旋轉的定子芯的馬達定子、每3相至少分成第1線圈組和第2線圈組這兩個系統且用3相交流電對所述定子芯進行勵磁的多個線圈組、以及在內側收納所述馬達轉子、所述馬達定子和所述多個線圈組的筒狀的殼體；電子控制裝置，其是為了對所述電動馬達進行驅動控制而設置的，包含設于所述軸的靠負載相反側的端部的磁體、以及位于所述軸的負載相反側且配置在所述軸的軸向的延長線上的電路基板；第1線圈布線，其將所述第1線圈組和所述電路基板連接起來；以及第2線圈布線，其將所述第2線圈組和所述電路基板連接起來，所述電路基板具有：檢測電路，其包含對所述磁體的旋轉進行檢測的磁傳感器；第1電力電路，其包含向所述第1線圈組供給電流的多個電子元器件；第2電力電路，其包含向所述第2線圈組供給電流的多個電子元器件；以及控制電路，其包含對所述第1電力電路和所述第2電力電路中的至少一者所供給的電流進行控制的電子元器件，所述第1線圈布線和所述第2線圈布線均具有：第1部位，其在與所述軸的軸向交叉的方向上突出到所述殼體的外側；以及第2部位，其在所述外側自所述第1部位朝向所述電路基板突出。

    本發明涉及一種半導體制造技術，尤其是一種用于晶圓搬運的機械手。背景技術：在半導體加工設備中，經常需要將晶圓在各個工位之間進行傳送，在傳送的過程中，傳送精度越高，設備工藝一致性就越好，速度越快，單臺設備的產能就越大。隨著半導體工藝的發展，設備處理的工藝越來越復雜，對設備自動化程度、柔性化程度要求也越來越高，這就需要一種定位精度高，速度快的多自由度的機械手。技術實現要素：本發明針對現有技術中的不足，提供了一種晶圓搬運機械手，本發明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復定位精度。本發明結構合理性能穩定，維護方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設備要求，適用于各種半導體設備。為了解決上述技術問題，本發明通過下述技術方案得以解決：一種晶圓搬運機械手，包括升降軸、旋轉軸和伸展軸，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機、一級伸展臂、二級伸展臂和手指固定座，所述的一級伸展臂與所述伸展電機之間設置有一級關節，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設置有二級關節，所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設置有三級關節。江寧區包裝袋氣動懸臂吊推薦廠家！

    譬如增設可調節高度的支撐腿等滑道的固定方式也是可行的，這里不做詳細介紹。利用第1滑道200和第二滑道300的鉸接關系，可對兩個滑道的傾角進行調整，并較終通過絞索600來固定滑道位置。從而讓輸送滑道滿足輸送不同規格產品時，摩擦系數變化所帶來的影響。此外，對于長距離滑道運輸的場景，還可在上述實施例的基礎上增設前段滑道400和支撐腿500。前段滑道400底端搭接于第1滑道200的頂端，而其頂端對接于前段設備，在本實施例中，因為前段設備為一輸送皮帶，在前段滑道400的頂端增設有u字形缺口，貼合皮帶端頭的外形，同時為防止物料卡包，對u字形缺口的邊緣進行卷邊處理。為了對前段滑道400進行必要的支撐，至少要有一支撐腿500對滑道進行固定。如圖3所示，為了快捷的調整絞索600的拉線長度，增設一種絞索固定件，其包括一個滑輪121、旋鈕122和卡塊123。滑輪121轉軸固定在塔架100上。卡塊100為金屬件，在本實施例中具體選用316l，其帶有第1通道123a和第二通道123b，二者相互平行。并且卡塊123上端延伸出有兩個連接筋124，分別鉸接于滑輪121轉軸的兩側。絞索600穿過第1通道123a后繞過滑輪121，然后穿過第二通道123b。旋鈕122垂直從卡塊123側壁插入，并接通第二通道123b。溧水區工業氣動懸臂吊推薦廠家！寶山區常見氣動懸臂吊

六合區糖袋氣動懸臂吊推薦廠家！徐州牛皮袋氣動懸臂吊原理

    轉動夾1032遠離支架102的一端的齒型結構插入至鎖定板104較厚部分的槽中，從而壓住轉動夾1032，達到鎖定夾持件103的目的。圖6是示意性表示根據本發明第1種實施方式的長度調整機構的立體圖。如圖6所示，長度調整機構2包括內調節桿201、外調節桿202和開關結構203。內調節桿201為空心矩形桿，其相對的兩個側壁設有等間隔直線排列的多個固定孔2011，每兩個相對的固定孔2011為一個長度調節檔位。外調節桿202也為空心矩形桿，其內孔為與內調節桿201外形矩形輪廓相同的矩形孔。外調節桿202一端開口，而內調節桿201從此開口處插入外調節桿202的內孔中。并且外調節桿202能套在內調節桿201外做直線往復移動，完成換擋。而為了使航天員更清晰的判斷檔位，可如圖6所示，在內調節桿201外壁上位于兩個同一側壁的固定孔2011之間的位置設置軸向環繞內調節桿201外壁的環形凹槽。此外，外調節桿202外壁的中部位置還設有扶手204。扶手204為不封閉的矩形框架結構，包括兩個短邊梁和一個長邊梁。兩個短邊梁遠離長邊梁的一端連接在外調節桿202的一個側壁上，形成一個封閉的矩形。在調整長度時，航天員握住扶手204向外拉或向里推從而使外調節桿202做遠離或靠近艙壁助力扶手a的運動。徐州牛皮袋氣動懸臂吊原理

上海勁容自動化設備有限公司是一家有著雄厚實力背景、信譽可靠、勵精圖治、展望未來、有夢想有目標，有組織有體系的公司，堅持于帶領員工在未來的道路上大放光明，攜手共畫藍圖，在上海市等地區的機械及行業設備行業中積累了大批忠誠的客戶粉絲源，也收獲了良好的用戶口碑，為公司的發展奠定的良好的行業基礎，也希望未來公司能成為*****，努力為行業領域的發展奉獻出自己的一份力量，我們相信精益求精的工作態度和不斷的完善創新理念以及自強不息，斗志昂揚的的企業精神將**上海勁容自動化設備供應和您一起攜手步入輝煌，共創佳績，一直以來，公司貫徹執行科學管理、創新發展、誠實守信的方針，員工精誠努力，協同奮取，以品質、服務來贏得市場，我們一直在路上！