下面為大家介紹一下石墨盤真空烤盤爐的技術指標。1.使用溫度:1450℃;比較高溫度:1500℃;2.絕熱材料:石墨纖維毯、石墨紙;3.加熱元件:石墨加熱棒;4.冷卻方式:氣冷+循環風冷降溫;5.控溫穩定度:±2℃,具有PID參數自整定功能;6.爐膛溫度均勻度:±5℃(恒溫1500℃);7.氣氛:可向爐膛內通入干燥、潔凈、無油的高純度氮氣,純度≥99.999%;8.極限真空:10-3torr級;9.抽氣速率:空載下,30min達到10-2torr10.升溫功率:170kW;11.升溫速率:15℃/min(空載);12.降溫速率:1450℃至80℃,240分鐘13.腔體尺寸:1000*1000*1000mm(寬*深*高)氣氛爐如何選擇?合肥真萍科技告訴您。鎮江氣氛爐參考價格
本篇介紹專業全自動HMDS真空烤箱,首先簡單介紹一下HMDS預處理系統的必要性:在半導體生產工藝中,光刻是集成電路圖形轉移重要的一個工藝環節,涂膠質量直接影響到光刻的質量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導致光刻圖形轉移的失敗,同時濕法腐蝕容易發生側向腐蝕。 增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變為疏水,其疏水基可很好地與光刻膠結合,起著偶聯劑的作用。生產氣氛爐代理公司氣氛爐的功能具體介紹。
各種氣氛爐的密封性要求高,裝,出料 操作過程復雜,要求一臺爐子多用,大批量生產時,多組成大型聯合熱處理 或者兩用以上的機組,因而要求有較高的機械化,自動化程度,為了保證氣氛的穩定性,氣氛爐可分為馬弗爐和無馬弗爐兩種,馬弗爐的火焰在馬弗外,工件在馬弗內進行間接加熱;無馬弗爐采用各種火焰輻射管或者電輻射管,將火焰或者電熱體與爐氣隔開,以免破環爐內氣氛的穩定。還原氣體和空氣混合達到一定混合比,在一定溫度下易引起 ,故對爐子的前,后室,淬火室 以及緩冷室等均設有防爆裝置,爐子供氣和排氣的控制系統也要有防爆措施。
下面為大家介紹一下全自動HMDS真空烤箱的技術指標。1.機外殼采用冷扎鋼板噴塑處理,內膽為不銹鋼316L材料制成;加熱器均勻分布在內膽外壁四周,內膽內無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀察工作室內物體一目了然。2.箱門閉合松緊能調節,整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內高真空度。3.微電腦智能控溫儀,具有設定,測定溫度雙數字顯示和PID自整定功能,控溫精確,可靠。4.智能化觸摸屏控制系統配套日本三菱PLC模塊可供用戶根據不同制程條件改變程序,溫度,真空度及每一程序時間。5.HMDS氣體密閉式自動吸取添加設計,真空箱密封性能佳,確保HMDS氣體無外漏顧慮。整個系統采用優良材料制造,無發塵材料,適用100級光刻間凈化環境。選用定制氣氛爐有哪些好處呢?合肥真萍科技為您介紹。
連續爐即是連續作業爐,是指連續地或間歇地裝料,工件在爐內不斷移動,完成加熱、保溫,有時包括冷卻在內全過程的熱處理爐。連續作業爐可借助某些機械機構連續地或間歇地進行裝料和出料,連續順序地通過按零件處理工藝要求的不同溫度區完成加熱過程。使用連續作業爐可提高產品質量,提高勞動生產率和改善勞動條件。下面為大家介紹一下連續爐的產品材質和產品特點。一、產品材質1.外箱采用1.5mm厚Q235冷軋鋼板/內箱采用1.5mm厚SUS304#不銹鋼;2.保護裝置定時報警斷電裝置、超溫斷電、漏電保護斷路器、電機過載保護。二、產品特點1.雙邊配有鏈條傳動,解決傳送過程中跑偏的現象;2.烘箱分段式加熱,單獨電箱控制,方便操作,結構主要由輸送機系統與烘干爐兩大部分組成,多段單獨;3.PID溫度控制,爐內溫度均勻;4.輸送速度變頻調速,調節自如,運行平穩,產能高;5.每段單獨箱體設置廢氣排放接口,可外接到車間外面,避免車間廢氣污染。合肥真萍科技的氣氛爐,值得推薦。生產氣氛爐代理公司
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真空烘箱是一種將干燥物料處于負壓條件下進行干燥的箱體式干燥設備。它利用真空泵進行抽氣抽濕,使工作室內形成真空狀態,從而降低水的沸點,加快干燥的速度。下面為大家介紹一下真萍科技真空烘箱的特點。一、真空程序分段控制該型號機型,抽真空過程可提供程序化編程,只需根據客戶要求編輯設定真空值,保壓時間值。相當大可實現18段抽真空和保壓編程。二、操作步驟1.接通電源;2.產品送入腔體,關門;3.打開電源;4.工作溫度設定好,啟動加熱,設備進入自動恒溫狀態;5.真空值和時間設定好后,啟動真空泵,開始進入自動抽真空階段;6.到達時間值后,真空泵自動關閉。鎮江氣氛爐參考價格