下面為大家介紹一下石墨盤真空烤盤爐的用途和設(shè)計。一、產(chǎn)品介紹真空烤盤爐是與MOCVD設(shè)備配套使用的爐體,爐內(nèi)抽真空,被處理工件放置在爐膛內(nèi),采用清洗氣體加熱反應(yīng)方式進行干式清洗(清洗氣體:N2,H2)。主要用于有效清洗除MOCVD承受器(SiC涂層石墨盤或石英盤)上的氮化鎵和氮化鋁等,可達到有效清潔處理,提高制品質(zhì)量的目的。二、設(shè)計特點1.后門設(shè)計熱風電機2.降溫時風機開啟,同時兩端降溫封頭開啟,爐膛內(nèi)產(chǎn)生如圖所示的氣體流向3.通過氣體介質(zhì)將隔熱層內(nèi)與水冷壁之間進行熱交換,達到快速降溫的目的上海哪家的網(wǎng)帶爐比較好?宿遷干燥網(wǎng)帶爐價格多少
隧道爐適用于五金模具、航天航空、納米材料、精密陶瓷、粉末治金、鐵氟龍噴涂、五金、鋰電池、化工、運動器材、汽車零配件、電機、化工、工業(yè)之烘烤、干燥、預(yù)熱回火、退火、老化等用途。作為隧道爐的優(yōu)良供應(yīng)商原產(chǎn)廠家,小編下面就為大家介紹一下真萍科技隧道爐的產(chǎn)品材質(zhì)的構(gòu)成。1.外箱構(gòu)成。外箱采用1.5mm厚Q235冷軋鋼板/內(nèi)箱采用1.5mm厚SUS304#不銹鋼2.系統(tǒng)裝置保護裝置定時報警斷電裝置、超溫斷電、漏電保護斷路器、電機過載保護。嘉興固化網(wǎng)帶爐專賣合肥真萍科技的網(wǎng)帶爐怎么樣?實地考察下真萍就知道了。
本篇介紹專業(yè)全自動HMDS真空烤箱,首先簡單介紹一下HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性:在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。
中溫氣氛箱式爐主要用于磷酸鐵鋰正極材料等類似產(chǎn)品的高溫燒結(jié)、熱處理,下面為大家介紹一下中溫氣氛箱式爐的系統(tǒng)配置。一、冷卻系統(tǒng)1.冷卻結(jié)構(gòu)無2.產(chǎn)品降溫隨爐降溫3.安全保護4.報警指示超溫、斷偶、停水、停氣等聲光報警保護5.設(shè)備安全升溫速率≤5℃/min二、溫度控制系統(tǒng)1.溫度測量采用K分度熱偶測量2.控制儀表采用進口智能調(diào)節(jié)儀控制。具有PID參數(shù)自整定、高溫3.上限報警、熱電偶失效指示等多項報警保護功能4.控制方式固態(tài)繼電器過零控制5.超溫處理⑴.當測量溫度超過設(shè)定的安全值時,斷加熱,并報警。⑵.當測量溫度超過目標溫度達到安全偏差值時,報警。合肥真萍告訴您如何正確使用網(wǎng)帶爐?
三綜合試驗是指綜合溫度、濕度、振動三個環(huán)境應(yīng)力的試驗,具有極寬大的溫濕度控制范圍,可滿足用戶的各種需要采用獨特的平衡調(diào)溫調(diào)濕方式,可獲得安全、精確的溫濕度環(huán)境。同時可在三綜合試驗箱內(nèi)將電振動應(yīng)力按規(guī)定的周期施加到試品上,供用戶對整機(或部件)、電器、儀器、材料等作溫濕度、振動綜合應(yīng)力篩選試驗,以便考核試品的適應(yīng)性或?qū)υ嚻返男袨樽鞒鲈u價。下面為大家介紹一下真萍科技的溫濕度振動三綜合試驗箱特點。1.試驗室與制冷系統(tǒng)整體組合式結(jié)構(gòu),緊湊美觀,便于操作制冷壓縮機組及主要配件均為口。2.進口LCD彩色液晶觸摸屏,溫、濕度程序自動控制,配有RS232通訊接口3.可根據(jù)用戶要求選配不同制造商不同型號的振動臺,振動臺接口接口可有多種形式選用,保證冷、熱、汽密封的同時,振動臺具有良好的力學傳遞性。4.可根據(jù)用戶要求設(shè)計、制造不同規(guī)格。上海網(wǎng)帶爐的發(fā)展趨勢。馬鞍山燒結(jié)網(wǎng)帶爐
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下面為大家介紹一下全自動HMDS真空烤箱的技術(shù)指標。1.機外殼采用冷扎鋼板噴塑處理,內(nèi)膽為不銹鋼316L材料制成;加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周,內(nèi)膽內(nèi)無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體一目了然。2.箱門閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內(nèi)高真空度。3.微電腦智能控溫儀,具有設(shè)定,測定溫度雙數(shù)字顯示和PID自整定功能,控溫精確,可靠。4.智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套日本三菱PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序,溫度,真空度及每一程序時間。5.HMDS氣體密閉式自動吸取添加設(shè)計,真空箱密封性能佳,確保HMDS氣體無外漏顧慮。整個系統(tǒng)采用優(yōu)良材料制造,無發(fā)塵材料,適用100級光刻間凈化環(huán)境。宿遷干燥網(wǎng)帶爐價格多少