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來源: 發布時間:2024-08-20

真萍科技潔凈烘箱是參照GB/T11158-1989,GB2423,2-1989干燥箱技術條件及中國相關標準研究制造,廣泛應用于電子液晶顯示,LCD,CMOS,IC,醫藥實驗室等生產及科研部門。下面為大家介紹一下潔凈烘箱的技術指標。1.無塵等級:Class100:(符合FED-STD209E標準:0.3um≤300個0.5≤100個)2.溫度范圍:+60℃~+250℃(極限溫度350℃)3.溫度均勻性:±2℃(空箱測試)4.溫度精確度:±1℃(空箱測試)5.設備型號規格:450*450*450;450*600*450;600*800*600;600*700*600;700*900*700;700*1000*700;800*1000*800;800*1200*800;1000*1200*1000;1000*1300*1000;1000*1400*1000;合肥真萍與您分享網帶爐發揮的重要作用。浙江大型網帶爐專賣

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光刻涂膠工藝中絕大多數光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導致光刻圖形轉移的失敗,同時濕法腐蝕容易發生側向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變為疏水,其疏水基可很好地與光刻膠結合,起著偶聯劑的作用。安徽烘銀網帶爐批發選擇網帶爐應該注意什么?合肥真萍科技告訴您。

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真萍科技潔凈烘箱是參照GB/T11158-1989,GB2423,2-1989干燥箱技術條件及中國相關標準研究制造,廣泛應用于電子液晶顯示,LCD,CMOS,IC,醫藥實驗室等生產及科研部門。下面為大家介紹一下潔凈烘箱的箱體結構。1.烘箱總體由箱體部分,電氣控制柜部分,電加熱部分,風道部分,塵埃物過濾部分,N2進氣排氣及風冷部分等組裝而成,結構合理,功能實用。2.外箱材料:外箱采用SS41#中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆可防止微塵。3.內膽材料:采進口SUS304#2mm不銹鋼板全周氬焊,并經堿性蘇打水清潔有效的防止了機臺本身灰塵的產生。4.保溫材料:采用正廠玻璃纖維公司出品的100K級高密度保溫板填充,有效的防止了熱能浪費。5.電熱部分:采用進口覆套式電熱器(SHEATHEDHEATER)無塵無氧化電熱發生器。6.風道部分:整體結構采用了水平送風的方式由左向右送風后經美國進口H.E.P.A,(特殊風道設計)過濾效果可達99.99%,Class100。

一、熱工系統1.額定溫度800℃2.較高溫度850℃3.加熱元件陶瓷外絲加熱管4.加熱功率18kw5.空爐保溫功率約9kw6.溫區個數1個7.控溫點數2點8.熱偶K分度9.控溫穩定度±1℃(恒溫平臺)10.爐膛溫度均勻度±6℃(恒溫800℃,1h)二、冷卻系統1.冷卻結構無2.產品降溫隨爐降溫3.安全保護4.報警指示超溫、斷偶、停水、停氣等聲光報警保護5.設備安全升溫速率≤5℃/min,在半導體生產工藝中,光刻是集成電路圖形轉移重要的一個工藝環節,涂膠質量直接影響到光刻的質量,涂膠工藝也顯得尤為重要。合肥真萍科技的網帶爐,值得推薦。

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下面為大家介紹一下全自動HMDS真空烤箱的技術指標。1.HMDS管路加熱功能,使HMDS液體進入箱體的前端管路加熱,使轉為HMDS氣態時更易。2.低液報警裝置,采用紅外液體感測器,能及時靈敏給出指令(當HMDS液過低時發出報警及及時切斷工作起動功能)3.溫度與PLC聯動保護功能(當PLC沒有啟動程序時,加溫功能啟動不了,相反加溫功能啟動時,PLC程序不按正常走時也及時切斷工作功能,發出警報)4.整個箱體及HMDS氣體管路采用SUS316不銹鋼材料,整體使用無縫焊接(避免拼接導致HMDS液體腐蝕外泄對人體的傷害)網帶爐哪家好,推薦合肥真萍科技。浙江大型網帶爐專賣

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下面為大家介紹一下全自動HMDS真空烤箱的整機尺寸、真空腔體尺寸。1.內膽尺寸:650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.載物托架:2塊3.室溫+10℃-250℃控溫范圍:溫度分辨率:0.1℃溫度波動度:0.5℃4.真空泵:油泵或無油真空泵。真空度:133pa,5.加熱方式:腔體下部及兩側加溫。加熱器為外置加熱板(防止一側加熱使的HMDS液進入箱體內不能完本轉成氣態)6.可放2寸晶圓片或4寸晶圓片;6寸晶圓片;8寸晶圓片等。7.開箱溫度可以由user自行設定來降低process時間(正常工藝在50分鐘-120分鐘(按產品所需而定烘烤時間),為正常工作周期不含降溫時間(因降溫時間為常規降溫)。浙江大型網帶爐專賣