本篇介紹專業全自動HMDS真空烤箱,首先簡單介紹一下HMDS 預處理系統的必要性:在半導體生產工藝中,光刻是集成電路圖形轉移重要的一個工藝環節,涂膠質量直接影響到光刻的質量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親 水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導致光刻圖形轉移的失敗,同時濕法腐蝕容易發生側向腐蝕。 增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變為疏水,其疏水基可很好地與光刻膠結合,起著偶聯劑的作用。合肥真萍告訴您氣氛爐如何去使用呢?江蘇生產氣氛爐
下面為大家介紹一下全自動HMDS真空烤箱的整機尺寸、真空腔體尺寸。1.內膽尺寸:650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.載物托架:2塊3.室溫+10℃-250℃控溫范圍:溫度分辨率:0.1℃溫度波動度:±0.5℃4.真空泵:油泵或無油真空泵。真空度:133pa,5.加熱方式:腔體下部及兩側加溫。加熱器為外置加熱板(防止一側加熱使的HMDS液進入箱體內不能完本轉成氣態)6.可放2寸晶圓片或4寸晶圓片;6寸晶圓片;8寸晶圓片等。7.開箱溫度可以由user自行設定來降低process時間(正常工藝在50分鐘-120分鐘(按產品所需而定烘烤時間),為正常工作周期不含降溫時間(因降溫時間為常規降溫)?;幢睔夥諣t型號如何選擇合肥真萍科技為您提供氣氛爐相關專業解答。
真空干燥箱是將干燥物料處于負壓條件下進行干燥的一種箱體式干燥設備。它是利用真空泵進行抽氣抽濕,使工作室內形成真空狀態,降低水的沸點,加快干燥的速度。下面為大家介紹一下真萍科技真空干燥箱的特點。1.長方體工作室,增加有效容積,微電腦溫度控制器,精確控溫。2.雙層玻璃視窗觀察工作室內物體,一目了然。3.箱體閉合松緊能調節,整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內高真空度。4.工作室采用不銹鋼板(或拉絲板)制成,確保產品經久耐用。5.儲存、加熱、試驗和干燥都是在沒有氧氣或者充滿惰性氣體環境里進行,所以不會氧化。6.真空程序分段控制,該型號機型,抽真空過程可提供程序化編程,根據客戶要求編輯設定真空值,保壓時間值??蓪崿F多段抽真空和保壓編程。
中溫氣氛箱式爐主要用于磷酸鐵鋰正極材料等類似產品的高溫燒結、熱處理,下面為大家介紹一下中溫氣氛箱式爐的系統配置。一、熱工系統1.額定溫度800℃2.較高溫度850℃3.加熱元件陶瓷外絲加熱管4.加熱功率18kw5.空爐保溫功率約9kw6.溫區個數1個7.控溫點數2點8.熱偶K分度9.控溫穩定度±1℃(恒溫平臺)10.爐膛溫度均勻度±6℃(恒溫800℃,1h)二、冷卻系統1.冷卻結構無2.產品降溫隨爐降溫3.安全保護4.報警指示超溫、斷偶、停水、停氣等聲光報警保護5.設備安全升溫速率≤5℃/min氣氛爐的運作原理是什么?
使用高溫鐘罩爐有特定的操作方法,需按照標準操作規范進行,下面是真萍科技的鐘罩爐的使用注意事項。在使用高溫鐘罩爐時,其升溫要緩慢地用逐漸進步電壓的方法進行。留意不要超過安全溫度,避免焚毀電熱絲。將物料放入爐膛時,切勿碰及熱電偶,因伸入爐膛內的熱電偶熱端在高溫下易于折斷。將金屬以及其它礦藏放入高溫鐘罩爐爐內加熱時,有必要置于耐高溫的瓷坍渦或瓷皿中,或墊以耐火泥板或石棉板,避免與爐膛粘連在一起。不要讓高溫鐘罩爐受潮,以防漏電。氣氛爐廠家直銷定制,價格從優。福州哪里有氣氛爐
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電熱鼓風烤箱適用于各種產品或材料及電氣、儀表、元器件、電子、電工及汽車、航空、通訊塑膠、機械、食品、化工、化學品、五金工具在恒溫環境條件下作干燥和各種恒溫適應性試驗。下面為大家介紹一下真萍科技電熱鼓風烤箱的控制系統。一、控制系統1.采用數顯微電腦溫度控制器,控制精確可靠。2.具有定時功能、控溫保護功能,設有風機停轉開關。二、電氣控制系統1.電氣控制元件均采用國內有名品牌。2.電氣線路設計新穎,合理布線,安全性可靠。3.箱體頂部為電器控制柜,方便于集中檢查維修。江蘇生產氣氛爐