潔凈室要達到潔凈等級,必須有綜合措施,其中包括工藝布置、建筑平面、建筑構造、建筑裝修、人員和物料凈化、空氣潔凈措施、維護管理等。其中空氣潔凈措施是實現潔凈等級的根本保證。就空氣潔凈而言,主要有以下幾項具體措施[1]:(1)對潔凈室的送風必須是有很高潔凈度的空氣。因此,必須選用高效或亞高效過濾器(潔凈級別低時)作為終端過濾器,對進入潔凈室的空氣,進行***一級過濾。為保護終端過濾器和延長其壽命,必須使空氣先經中效過濾器進行過濾。(2)根據潔凈室的等級,合理選擇潔凈室的氣流分布流型,在工作區應避免渦流區;盡量使送入房間的潔凈度高的空氣直接到達工作區;氣流的流動有利于潔凈室內的微粒從回風口排走。(3)有足夠的風量,既為了稀釋空氣的含塵濃度,又保證有穩定的氣流流型。(4)不同等級的潔凈室、潔凈室與非潔凈室或潔凈室與室外之間均應保持一定的正壓值。 潔凈室用于哪些?找上海中沃。北京潔凈室廠家價格
按氣流的流動狀態分根據氣流的流動狀態分,主要有以下三種氣流分布的潔凈室[1]:(1)非單向流潔凈室:以前常稱為亂流型潔凈室,室內的氣流并不都按單一方向流動。非單向流潔凈室有幾個共同的特點:終端過濾器(高效或亞高效)盡量接近潔凈室,它可以就是送風口或直接連送風口,也可以接到房間的送風靜壓箱上;回風口均設在潔凈室的下部,目的是避免出現“揚灰”現象。非單向流潔凈室中都有渦流存在,不適宜用于高潔凈度的潔凈室中,宜用于6~9級的潔凈室中。(2)單向流潔凈室:單向流潔凈室氣流的特征是流線平行,以單一方向流動,并且在斷截面上風速一致,有垂直單向潔凈室,準垂直單向流,水平單向流潔凈室等。(3)矢量潔凈室:在房間的側上角送風,采用扇形高效過濾器,也可以用普通高效過濾器配扇形送風口,在另一側的下部設回風口,房間的高長比一般在。這種潔凈室也可以達到5級(100級)潔凈度。潔凈室的流型基本上是上述三種類型,但是實際應用時可演變出很多形式。潔凈室可以是單向流和非單向流組合在一起的混合流型,以在局部區域(單向流部分)實現高級別的潔凈室。例如,在潔凈室中設水平單向流的“隧道”(一側敞開),潔凈室的其余部分是渦流的單向流流型。 南京潔凈室廠家潔凈室工程常用材料有哪些,歡迎致電上海中沃。
潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100um的硅片,溫度上升1度,就引起了,所以必須有±,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間不宜超過25度。濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結露,如果發生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以***。相對濕度越高,粘附的難去掉,但當相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導體器件容易發生擊穿。對于硅片生產比較好溫度范圍為35—45%。氣壓規定對于大部分潔凈空間,為了防止外界污染侵入,需要保持內部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。
潔凈室設計對生產工藝的要求編輯(1)潔凈環境是為生產工藝服務的,潔凈室設計必須滿足生產工藝的環境要求,這是理所當然的。因此,在潔凈室設計時生產工藝對環境參數的要求應該實事求是,其面積、層高,溫度、濕度,潔凈度等應該該高則高,該低則低,并非越高越好。在不影響生產工藝正常運行的前提下盡可能地降低參數要求,控制凈化面積,縮小高凈化級別潔凈區的范圍,嚴格控制100級和更高級別單向流潔凈區的面積。[3](2)在生產工藝平面區劃時盡可能把相同級別的潔凈房間布置在一起,把潔凈度要求高的工序設置在上風側,把產生粉灰、有毒、有害、易燃、易爆廢氣的工藝設備、容器盡可能放在潔凈區外,若必須放在潔凈區內時應盡量采取密閉措施以減少粉塵和廢氣的排放量。 三十萬級潔凈室廠家?上海中沃提供定制服務。
潔凈室氣流組織考慮原則編輯(1)當產品要求潔凈度為100級時,選用層流流型;當產品要求潔凈度為1000~100000級時,選用亂流流型。(2)減少渦流,避免把工作區以外的污染物帶入工作區。(3)為了防止灰塵的二次飛揚,氣流速度不能過大。亂流潔凈室的回風口不應設在工作區的上部。宜在地板上或側墻下部均勻布置回風口。(4)工作區的氣流應均勻,流速必須滿足工藝和衛生的要求;潔凈氣流應盡可能把工作部位圍罩起來,使污染物在擴散之前便流向回風口。(5)工作設備布置時要留有一定的間隔,為送、回風口的布置和氣流的通暢創造條件:氣流組織設計時要考慮高大設備對氣流組織的影響。(6)潔凈工作臺不宜布置在層流潔凈室內。當布置在亂流潔凈室時,宜將其置于工作區氣流的上風側,以提高室內的空氣潔凈度。(7)潔凈室內有通風柜時,宜置于工作區氣流的下風側,以減少對室內的污染。 百萬級潔凈室哪家好?找上海中沃。北京潔凈室廠家價格
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單向流潔凈室:單向流潔凈室氣流的特征是流線平行,以單一方向流動,并且在斷截面上風速一致,有垂直單向潔凈室,準垂直單向流,水平單向流潔凈室等。(3)矢量潔凈室:在房間的側上角送風,采用扇形高效過濾器,也可以用普通高效過濾器配扇形送風口,在另一側的下部設回風口,房間的高長比一般在。這種潔凈室也可以達到5級(100級)潔凈度。潔凈室的流型基本上是上述三種類型,但是實際應用時可演變出很多形式。潔凈室可以是單向流和非單向流組合在一起的混合流型,以在局部區域(單向流部分)實現高級別的潔凈室。例如,在潔凈室中設水平單向流的“隧道”(一側敞開),潔凈室的其余部分是渦流的單向流流型,從而實現“隧道”部分達到5級以上潔凈度,工作臺就設在“隧道內”。潔凈室按受控粒子的性質劃分。 北京潔凈室廠家價格
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