氦質譜檢漏儀的靈敏度，通常指儀器的可檢漏率。記為qL.min，即在儀器處于較佳工作條件下，以一個大氣壓的純氦氣為示漏氣體，進行動態檢漏時所能檢測出的漏孔漏率。所謂“較佳工作條件”是指儀器參數調整到穩定值，被檢件出氣少且沒有大漏孔等條件。所謂“動態檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統仍在正常抽氣。儀器的反應時間不大于3s。所謂“可檢率”是指檢漏訊號為儀器本底噪聲的兩倍時，才能認定有漏氣訊號輸出。所謂“漏孔漏率”是指一個大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側的漏氣速率。儀器本底噪聲，一般指在2min內輸出儀表的較大的波動量，能較方便地估計檢漏效果。氦質譜檢漏儀的可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s。池州妤林氦檢儀技術指導

氦質譜檢漏儀原理：氦質譜檢漏儀是基于質譜法原理，以氦氣作為檢漏的儀器。質譜儀由離子源、分析儀、收集器、冷陰極電離計、氣體萃取系統和電氣部分組成。質譜法室中燈絲發射的電子在室內來回振蕩，與室內氣體碰撞，氦氣泄漏進入室內，電離成正離子，正離子在加速電場的作用下進入人體磁場，當洛倫茲力效應偏轉時，電弧形成，加速電壓的變化使不同質量的離子通過磁場和接收槽到達接收極而被探測到。氦氣噴射法和氦氣吸收法是電阻爐氦質譜檢漏儀常用的兩種檢漏方法。氦質譜檢漏儀正朝著高靈敏度、便攜式、自動化、寬量程、無油系統等先進方向發展。氦檢機特點氨質譜檢漏儀在許多領域里得到普遍的應用。

氦質譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調整到只對氦氣反應的工作狀態)的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。氦質譜檢漏儀可以對具有內腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質量數小重量輕并且有滲透能力強的優點，達到了細檢漏的目的。

氦質譜檢漏儀性能試驗方法：1、反應時間、消除時間及其測定，反應時間是指儀器節流閥完全開啟，本底訊號為零(或補償到零)時，由恒定的氦流量使輸儀表訊號上升到值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的時間，記為τR。消除時間是指輸出儀表訊號穩定到固定值后，停止送氦，其訊號下降到值的e-1倍(即O.37)所需要的時間，記為τC。2、工作真空、極限真空及入口處抽速，質譜室極限真空，尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數。利用氦質譜檢漏儀的真空規可以測定儀器的極限真空和工作真空。利用流量計可測定儀器入口處抽速。氦質譜檢漏儀定期保養該怎么做？

氦質譜檢漏儀的主要性能指標：1、可檢漏率：即氦質譜檢漏儀所能檢出的漏孔的漏率。2、響應(消除)時間：指一定流量的探索氣體進入氦質譜檢漏儀后，電子和真空系統需要一定的響應時間，漏率指示才能達到固定值；反之，停止供氣后，漏率指示不能立即回零，需要一定時間的下降過程，通常由于氦氣的吸附和脫附作用，消除時間稍長于響應時間。3、啟動時間：指氦質譜檢漏儀自接通電源到能進行檢漏的時間。氦質譜檢漏儀以其高靈敏度和準確性而通常應用于整體防漏等級較高的壓力容器上。影響氦質譜檢漏儀靈敏度的因素包括實際檢測條件、輔助真空系統以及操作人員的技術等多方面。影響氦質譜檢漏儀檢測精度的原因是什么？真空氦氣檢測機廠家推薦

氦質譜檢漏儀應按照說明書的要求定期進行保養。池州妤林氦檢儀技術指導

氦質譜檢漏儀是根據質譜儀學原理，用氦氣作為搜索氣體制成的氣密性檢測儀器。氦質譜檢漏儀電源電壓220V頻率50HZ額定功率2000W。儀器應安裝在符合儀器使用的環境要求的場所，特別是儀器的電源插座，應符合要求，要有良好的地線，左右要留有30CM的通風間距。放置好氦質譜檢漏儀，以避免儀器有傾斜或傾倒的危險。氦質譜檢漏儀的底部有安裝孔，可以將其固定在桌子或支架上。在儀器運行前要確保真空泵中的機械泵油是否足夠，機械泵油必須用特定的針對機械泵型號的油。池州妤林氦檢儀技術指導

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